一种显影喷嘴对准系统的制作方法

技术特征：
1.一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，包括：显影喷嘴，与显影液供应组件相连，用于喷涂显影液；晶圆载台，设置于所述显影喷嘴的下方；激光发射器，设置于所述显影喷嘴上，用于向所述晶圆载台发送激光，所述激光的波段为可见光波段；对准标记，设置于所述晶圆载台上，所述激光发射器发出的激光照射在所述对准标记上时，所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心。2.如权利要求1所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述激光发射器与所述显影喷嘴之间可拆卸连接。3.如权利要求2所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述显影喷嘴和所述对准标记的数量相同且一一对应，所述激光发射器的数量小于所述显影喷嘴和所述对准标记的数量，所述激光发射器可在所述显影喷嘴上切换，当所述激光发射器设置在每个所述显影喷嘴上时发出的激光均照射至对应的所述对准标记上时，所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心。4.如权利要求1所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述显影喷嘴、所述激光发射器和所述对准标记的数量相同且一一对应，当所述激光发射器发出的激光照射至对应的所述对准标记上时，所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心。5.如权利要求1所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述对准标记的外径小于5mm。6.如权利要求1或5所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述对准标记上涂布有有色涂料。7.如权利要求1所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，还包括：对准板，可拆卸设置于所述晶圆载台上，所述对准标记设置于所述对准板上。8.如权利要求7所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述对准板的材料为透明材料。9.如权利要求7所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述对准板的外径大于所述晶圆载台的外径。10.如权利要求7所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述对准板的厚度为9mm～15mm。11.如权利要求7所述的一种显影喷嘴对准系统，其特征在于，所述对准板底部开设有凹槽，所述晶圆载台卡入所述凹槽内以使所述对准板与所述晶圆载台实现可拆卸连接。

技术总结
本实用新型提供了一种显影喷嘴对准系统，包括：显影喷嘴，与显影液供应组件相连，用于喷涂显影液；晶圆载台，设置于所述显影喷嘴的下方；激光发射器，设置于所述显影喷嘴上，用于向所述晶圆载台发送激光，所述激光的波段为可见光波段；对准标记，设置于所述晶圆载台上，所述激光发射器发出的激光照射在所述对准标记上时，所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心，通过激光发射器所发射的激光对所述显影喷嘴的位置进行校准，保证所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心，从而可以对晶圆进行均匀的喷涂，进而提高晶圆的良率。进而提高晶圆的良率。进而提高晶圆的良率。


技术研发人员：胡陈越
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2022/1/28