一种异型玻璃表面匀胶治具的制作方法

1.本实用新型涉及玻璃涂胶领域，特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。


背景技术：

2.对玻璃进行匀胶是一种普遍的玻璃处理方式，特别是针对半导体硅片，在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。匀胶保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。但是目前的匀胶器具主要是针对圆形的玻璃硅片设计的，针对异型玻璃硅片匀胶机构存在以下问题：
3.（1）无剩胶清洗剂流道，匀胶后多余的胶水没有流道可以排走，使剩胶容易堆集在玻璃边缘，不易清理，严重影响匀胶效果；
4.（2）无玻璃手动取放孔，用夹子取放玻璃，容易对产品造成损伤。


技术实现要素：

5.本实用新型提供一种异型玻璃表面匀胶治具，旨在解决现有匀胶机构剩胶堆集，取放容易对产品造成损伤的问题。
6.本实用新型提供一种异型玻璃表面匀胶治具，包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台，所述治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽，所述匀胶凸台连接在治具第二面板上，所述治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道，所述液体流道设置于匀胶凸台的边沿，所述治具第一面板和治具第二面板连接，所述匀胶凸台位于匀胶槽内，所述匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述治具第一面板包括排液通孔，所述排液通孔与匀胶槽连通，所述排液通孔位于液体流道上方并连通液体流道。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述治具第一面板包括手动取放孔，所述手动取放孔位于匀胶槽边沿并连通匀胶槽。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述匀胶凸台内贯通设有真空流道，所述匀胶凸台通过真空流道外接抽真空装置。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述匀胶凸台的外轮廓与异型玻璃形状轮廓匹配，所述治具第一面板和治具第二面板连接后，所述匀胶凸台的外轮廓边沿与匀胶槽的内壁间隔有缝隙。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述液体流道包括主流道和支流道，所述支流道包围在匀胶凸台的外轮廓边沿，所述主流道一端连通支流道、其另一端连通治具第二面板的外壁并外接储液容器。
12.本实用新型的有益效果是：剩胶由内部液体流道流入外接的清洗盆，玻璃边缘不易堆集剩胶，易于清洗，提高了产品质量；增加了手动取放的孔位， 避免使用夹子损坏产品，提高产品合格率。
附图说明
13.图1是本实用新型一种异型玻璃表面匀胶治具的整体结构图；
14.图2是本实用新型一种异型玻璃表面匀胶治具的结构俯视图；
15.图3是本实用新型一种异型玻璃表面匀胶治具的结构仰视图。
具体实施方式
16.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。
17.如图1至图3所示，本实用新型的一种异型玻璃表面匀胶治具，包括治具第一面板1、治具第二面板2、匀胶凸台3，治具第一面板1上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽4，匀胶凸台3连接在治具第二面板2上，治具第二面板2上设有用于排走剩胶的液体流道5，液体流道5设置于匀胶凸台3的边沿，治具第一面板1和治具第二面板2连接，匀胶凸台3位于匀胶槽4内，匀胶凸台3的上平面高度低于治具第一面板1的上平面高度。
18.匀胶凸台3的外轮廓与异型玻璃形状轮廓匹配，治具第一面板1和治具第二面板2连接后，匀胶凸台3的外轮廓边沿与匀胶槽4的内壁间隔有缝隙。
19.匀胶槽4和匀胶凸台3根据所需放置异型玻璃晶圆的形状来设计，匀胶槽4刚好可以配合异型玻璃的结构，均价凸台3跟匀胶槽4的形状相同，但尺寸比匀胶槽4小一圈，使治具第一面板1和治具第二面板2贴合后，匀胶凸台3可以位于匀胶槽4内且其之间的间距位置刚好位于液体流道5的上方，便于匀胶过程中剩胶可以往液体流道5的方向流动，达到及时排除剩胶的效果。匀胶平台3和治具第一面板1之间的高度差给异型玻璃的放置提供了空间，异型玻璃放置在匀胶凸台3后，其上表面可以刚好与治具第一面板1的上平面平齐，或略高、或略低于治具第一面板1的上表面。
20.治具第一面板1包括排液通孔6，排液通孔6与匀胶槽4连通，排液通孔6位于液体流道5上方并连通液体流道5。匀胶过程中，大部分的剩胶可以顺着排液通孔6流入液体流道5中，给剩胶提供了一个集中排液的途径，避免了剩胶过多地在玻璃表面堆积。
21.治具第一面板1包括手动取放孔7，手动取放孔7位于匀胶槽4边沿并连通匀胶槽4。在异型玻璃放置在匀胶槽4后，手动取放孔7是凸出异型玻璃侧边的孔位，手指可以轻松地伸入手动取放孔7内从侧边将异型玻璃拿起，优选的，在异型玻璃的两端侧边可以个设置一个手动取放孔7，便于通过两根手指从异型玻璃的两侧取起玻璃。
22.匀胶凸台3内贯通设有真空流道8，匀胶凸台3通过真空流道8外接抽真空装置。当异型玻璃放置在匀胶凸台3上后，真空装置通过真空流道8将异型玻璃底部充真空，使异型玻璃可以被吸附在匀胶凸台3上。
23.液体流道5包括主流道51和支流道52，支流道2包围在匀胶凸台3的外轮廓边沿，主流道51一端连通支流道52、其另一端连通治具第二面板2的外壁并外接储液容器。支流道52主要收集匀胶凸台3边沿流下来的剩胶，主流道51主要收集排液通孔6流下来的剩胶，同时支流道52的剩胶也会汇聚到主流道51中，并通过主流道51排除到剩胶收集容器里，例如清洗盆里。
24.此设计用于异型玻璃及非圆形晶圆等表面的匀胶，特别是新型小尺寸不规则玻璃晶圆表面纳米级匀胶治具。该治具通过排液通孔6、液体流道5将剩胶由内部流道流入清洗
盆，玻璃边缘不易堆集，易于清洗，提高产品质量。通过增加手动取放孔7，只需通过接触玻璃两侧即可拿取产品，避免使用夹子损坏产品，提高产品合格率。
25.以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台，所述治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽，所述匀胶凸台连接在治具第二面板上，所述治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道，所述液体流道设置于匀胶凸台的边沿，所述治具第一面板和治具第二面板连接，所述匀胶凸台位于匀胶槽内，所述匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。2.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述治具第一面板包括排液通孔，所述排液通孔与匀胶槽连通，所述排液通孔位于液体流道上方并连通液体流道。3.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述治具第一面板包括手动取放孔，所述手动取放孔位于匀胶槽边沿并连通匀胶槽。4.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述匀胶凸台内贯通设有真空流道，所述匀胶凸台通过真空流道外接抽真空装置。5.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述匀胶凸台的外轮廓与异型玻璃形状轮廓匹配，所述治具第一面板和治具第二面板连接后，所述匀胶凸台的外轮廓边沿与匀胶槽的内壁间隔有缝隙。6.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述液体流道包括主流道和支流道，所述支流道包围在匀胶凸台的外轮廓边沿，所述主流道一端连通支流道、其另一端连通治具第二面板的外壁并外接储液容器。

技术总结
本实用新型涉及玻璃涂胶领域，特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。该治具包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台，治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽，匀胶凸台连接在治具第二面板上，治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道，液体流道设置于匀胶凸台的边沿，治具第一面板和治具第二面板连接，匀胶凸台位于匀胶槽内，匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。本治具中剩胶由内部液体流道流入外接的清洗盆，玻璃边缘不易堆集剩胶，易于清洗，提高了产品质量；增加了手动取放的孔位，避免使用夹子损坏产品，提高产品合格率。品合格率。品合格率。


技术研发人员：黄海荣 谢柏弘 何若飞
受保护的技术使用者：深圳远荣半导体设备有限公司
技术研发日：2021.08.23
技术公布日：2022/1/26