技术特征：
1.一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体(1)和外壳(2)，其特征在于：所述外壳(2)的上方设置有接线盒(3)，所述外壳(2)的两侧面分别设置有进口(9)和出口(10)，所述外壳(2)的底部设置有排液口(11)，所述进口(9)和出口(10)均通过流体直通(4)与外壳(2)相连，所述流体直通(4)的一侧设置有流体管道(8)，所述外壳(2)的内部设置有内管道(12)，所述内管道(12)的表面缠绕设置有加热元件(13)，所述流体管道(8)的表面设置有传感器支架(7)，所述传感器支架(7)的顶部设置有流体传感器(6)；所述接线盒(3)的上方依次设置有加热元件接线端(15)、超温传感器接线端(16)、温控传感器接线端(17)、超温熔断器接线端(18)以及接地端(19)，所述加热元件接线端(15)包括延长管(14)和接线直通(5)，所述延长管(14)的内部设置有加热元件导线(20)和加热元件(13)，所述超温传感器接线端(16)包括延长管(14)和超温传感器(21)，所述超温传感器接线端(16)位于加热元件接线端(15)的另一端，所述温控传感器接线端(17)的内部设置有温控传感器(22)，所述超温熔断器接线端(18)的内部设置有超温熔断器(23)，所述接地端(19)包括接地线(25)和接地尖端(24)。2.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于：所述外壳(2)为pfa外壳或者ptfe外壳。3.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于：所述加热元件(13)由惰性塑料包裹金属电热合金制成，所述加热元件(13)的一端与加热元件导线(20)钎焊后并由延长管(14)密封，通过接线直通(5)穿过外壳(2)，插入到整个加热腔体中，所述延长管(14)为惰性塑料制成。4.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于：所述接地端(19)由一根由惰性塑料材质的包裹的接地线(25)插入延长管(14)的内部，并在延长管(14)的底部留有一个接地尖端(24)。5.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于：所述温控传感器(22)与加热器本体(1)的温控器相连接，所述超温熔断器接线端(18)的内部设置有超温熔断器(23)。
技术总结
本实用新型公开了一种在线式超纯流体加热器，涉及半导体技术领域。包括加热器本体和外壳，外壳的上方设置有接线盒，外壳的两侧面分别设置有进口和出口，外壳的底部设置有排液口，进口和出口均通过流体直通与外壳相连，流体直通的一侧设置有流体管道，外壳的内部设置有内管道，内管道的表面缠绕设置有加热元件。该在线式超纯流体加热器，通过设置超温传感器，超温传感器的信号与加热器本体的电源互锁，在检测到加热元件的温度超过设定值时，切断加热元件的电源，保证整个加热器本体的安全，在加热器本体的内部仍具有多组监测加热温度的传感器，也与加热器本体的电源进行互锁，进一步避免加热器本体故障而导致整个制程流体介质被污染。体介质被污染。体介质被污染。
技术研发人员：季斌 郭鑫斌 赵东
受保护的技术使用者：江苏昌耐能源科技有限公司
技术研发日：2021.06.15
技术公布日：2022/1/25
再多了解一些
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