一种用于超高真空腔体密封的工装的制作方法

1.本实用新型涉及密封装置技术领域，特别是涉及一种用于超高真空腔体密封的工装。


背景技术：

2.超导磁体是一种内部存有液氦，对保温要求很高，需要对超导磁体抽真空。超导磁体的真空度越好，保温效果相应的变好，磁体的使用寿命越长。
3.在抽真空结束后要对超导磁体抽真空封堵口进行密封，密封时抽杆运动，密封圈密封不好会有空气进入工装内部，严重影响超导磁体真空腔的超高真空度。低真空105～102pa，中真空102～10-1pa，高真空10-1～10-5pa，超高真空＜10-5pa。
4.现有用于超导磁体真空腔密封的都是单密封圈，没有导向套。在进行封堵作业时，抽杆封堵罗盘端，容易偏离磁体真空腔的封堵口，不断抽拉变换角度寻找封堵口，造成抽杆处密封圈密封不严，工装密封圈漏气，严重破坏真空腔体的超高真空。
5.综上所述，如何有效地解决抽杆处密封圈密封不严，破坏真空腔体的超高真空等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的是提供一种用于超高真空腔体密封的工装，该用于超高真空腔体密封的工装在封堵作业抽杆运动时，抽杆处密封圈密封性较好，可以最大的保证真空度不受影响。
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：
8.一种用于超高真空腔体密封的工装，包括活动腔、连接于所述活动腔抽动口内且能够沿抽动口运动的抽杆、与所述活动腔抽空口连接的真空泵，磁体安装于所述活动腔的抽口处，所述抽杆的下端能够可拆卸连接用于封堵磁体封堵口的封堵罗盘，所述抽杆与抽动口之间在轴线方向上设置有至少两道密封圈。
9.优选地，还包括套装于所述抽杆上导向套，所述导向套设置于抽杆与抽动口配合处。
10.优选地，所述密封圈包括上密封圈和下密封圈，分别抵接于导向套的上端面和下端面。
11.优选地，所述导向套的上端面和下端面处均具有开槽，上密封圈和下密封圈设置于开槽内。
12.优选地，所述抽杆的下端具有外螺纹，所述封堵罗盘的上端面具有螺纹孔，所述抽杆和所述封堵罗盘为螺纹连接。
13.优选地，所述活动腔的下端面和磁体的上端面之间设置有密封垫，所述密封垫的中部具有通孔，所述抽杆的下端穿过通孔与封堵罗盘连接。
14.优选地，所述密封垫上具有支架，所述活动腔的下端面和磁体的上端面均具有容
纳支架的凹槽。
15.优选地，所述磁体的封堵口处具有台阶面，封堵罗盘放置于台阶面上，所述磁体的封堵口与封堵罗盘之间具有横向密封圈和竖向密封圈。
16.优选地，所述活动腔上还开设有检测口，所述检测口与真空检测仪连接。
17.优选地，所述活动腔的抽口和磁体之间、所述活动腔的抽空口与真空泵之间均采用快接法兰连接。
18.本实用新型所提供的用于超高真空腔体密封的工装，包括活动腔、抽杆、真空泵，活动腔具有抽动口、抽空口和抽口。抽杆插装于活动腔抽动口内，抽杆能够沿抽动口运动，抽杆的下端能够运动至抽口处。真空泵与活动腔抽空口连接，真空泵提供抽真空动力。磁体安装于活动腔的抽口处，在抽口对磁体进行封堵。抽杆的下端能够与封堵罗盘连接，抽杆的下端与封堵罗盘为可拆卸连接，抽杆能够带动封堵罗盘上下运动封堵磁体的封堵口，也就是抽真空时将封堵罗盘移出封堵口，封堵时将封堵罗盘安装于封堵口内。
19.抽杆与抽动口之间在轴线方向上设置有至少两道密封圈，抽杆与抽动口的连接处有多重密封结构，在封堵时抽杆运动时，有多道密封圈进行抽杆运动的来回密封，可以更好的密封。当真空度达到要求后，进行超导磁体真空层的封堵操作时，实现操作简洁，封堵时间短，不会破坏真空度；并且工装的结构简单，使用寿命较长。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本实用新型中一种具体实施方式所提供的用于超高真空腔体密封的工装的结构示意图。
22.附图中标记如下：
23.抽杆1、螺母2、上密封圈3、下密封圈4、活动腔5、检测口6、抽空口7、导向套8、抽口9、封堵罗盘10、磁体11。
具体实施方式
24.本实用新型的核心是提供一种用于超高真空腔体密封的工装，该用于超高真空腔体密封的工装在封堵作业抽杆运动时，抽杆处密封圈密封性较好，可以最大的保证真空度不受影响。
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参考图1，图1为本实用新型中一种具体实施方式所提供的用于超高真空腔体密封的工装的结构示意图。
27.在一种具体实施方式中，本实用新型所提供的用于超高真空腔体密封的工装，包
括活动腔5、连接于活动腔5抽动口内且能够沿抽动口运动的抽杆1、与活动腔5抽空口7连接的真空泵，磁体11安装于活动腔5的抽口9处，抽杆1的下端能够可拆卸连接用于封堵磁体11封堵口的封堵罗盘10，抽杆1与抽动口之间在轴线方向上设置有至少两道密封圈。
28.上述结构中，用于超高真空腔体密封的工装包括活动腔5、抽杆1、真空泵，活动腔5具有抽动口、抽空口7和抽口9。
29.抽杆1插装于活动腔5抽动口内，外侧用螺母2进行固定。抽杆1能够沿抽动口运动，抽杆1的下端能够运动至抽口9处。
30.真空泵与活动腔5抽空口7连接，真空泵提供抽真空动力。磁体11安装于活动腔5的抽口9处，在抽口9对磁体11进行封堵。
31.抽杆1的下端能够与封堵罗盘10连接，抽杆1的下端与封堵罗盘10为可拆卸连接，抽杆1能够带动封堵罗盘10上下运动封堵磁体11的封堵口，也就是抽真空时将封堵罗盘10移出封堵口，封堵时将封堵罗盘10安装于封堵口内。
32.抽杆1与抽动口之间在轴线方向上设置有至少两道密封圈，优选地，密封圈为o型圈，密封性较好。抽杆1与抽动口的连接处有多重密封结构，在封堵时抽杆1运动时，有多道密封圈进行抽杆1运动的来回密封，可以更好的密封。当真空度达到要求后，进行超导磁体11真空层的封堵操作时，实现操作简洁，封堵时间短，不会破坏真空度；并且工装的结构简单，使用寿命较长。
33.在上述具体实施例的基础上，还包括套装于抽杆1上导向套8，导向套8设置于抽杆1与抽动口配合处，在抽杆1在上下移动进行封堵作业时，导向套8固定抽杆1的同心度不会偏离，保证其同心，从而抽杆1下端的封堵罗盘10不易偏离磁体11的封，堵口，对超导磁体11真空度影响小，密封效果较好；省去抽杆1抽拉变换角度寻找封堵口，缩短封堵时间。
34.进一步优化上述技术方案，密封圈包括上密封圈3和下密封圈4，分别抵接于导向套8的上端面和下端面，导向套8将上密封圈3和下密封圈4分割开，保证双重密封效果；防止密封圈上下移动，对密封圈具有定位作用。
35.进一步优化上述技术方案，导向套8的上端面和下端面处均具有开槽，上密封圈3和下密封圈4设置于开槽内，密封圈的内侧与抽杆1接触，开槽对密封圈具有定位固定作用，防止密封圈窜动，密封圈安装较为可靠，稳定性较好；同时，密封圈内置于开槽内，结构更加紧凑，缩小抽动口和抽杆1的连接空间。
36.在上述各个具体实施例的基础上，抽杆1的下端具有外螺纹，封堵罗盘10的上端面具有螺纹孔，抽杆1和封堵罗盘10为螺纹连接，抽杆1和封堵罗盘10为可拆卸连接，连接方便，易于拆卸。
37.进一步优化上述技术方案，活动腔5的下端面和磁体11的上端面之间设置有密封垫，密封垫的中部具有通孔，抽杆1的下端穿过通孔与封堵罗盘10连接，通过密封垫对活动腔5的下端面和磁体11的上端面之间进行密封，保证活动腔5的下端面和磁体11的上端面之间密封性。
38.进一步优化上述技术方案，密封垫上具有支架，活动腔5的下端面和磁体11的上端面均具有容纳支架的凹槽，也就是支架的上段和下段分别插入活动腔5的下端面和磁体11的上端面的凹槽内，对密封垫进行定位，防止密封垫移动，保证密封效果。
39.进一步优化上述技术方案，磁体11的封堵口处具有台阶面，封堵罗盘10放置于台
阶面上，台阶面对封堵罗盘10进行支撑，防止封堵罗盘10脱落。磁体11的封堵口与封堵罗盘10之间具有横向密封圈和竖向密封圈，磁体11的封堵口与封堵罗盘10之间进行多重密封，保证密封效果。
40.另一种较为可靠的实施例中，在上述任意一个实施例的基础之上，活动腔5上还开设有检测口6，检测口6与真空检测仪连接，抽真空时可以随时检测真空层的真空度，抽真空更加准确，保证抽真空符合标准。
41.另一种较为可靠的实施例中，在上述任意一个实施例的基础之上，活动腔5的抽口9和磁体11之间、活动腔5的抽空口7与真空泵之间以及活动腔5的检测口6与真空检测仪之间均采用快接法兰连接，安装快速、方便连接。
42.本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
43.以上对本实用新型所提供的用于超高真空腔体密封的工装进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。