一种晶圆传输系统的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆传输系统，其特征在于，包括具有搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元；所述机器人位于搬运腔室的中央，所述晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元分布在所述机器人的周围；所述晶圆载具上料站能够兼容m种尺寸的晶圆载具；所述机器人、预对准单元和缓存冷却单元能够分别对不同尺寸的晶圆进行搬运、预对准和缓存冷却；m为大于2的整数。2.根据权利要求1所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述晶圆载具上料站包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、发射端传感器、2m-1个接收端传感器和m个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，用于固定晶圆载具的前方位置，所述载具前挡板包含m个卡槽；所述发射端传感器包括基准发射端传感器和侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧；所述载具安装板的上方固定接收端传感器，所述接收端传感器与发射端传感器在连线方向上一一对应；所述m个后基准块位于所述载具安装板的正后方，分别用于固定对应晶圆载具的后方位置，且m个后基准块距离载具前挡板的距离均不相同。3.根据权利要求2所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述载具前挡板包括左侧前挡板和右侧前挡板，且左侧前挡板和右侧前挡板中均包含m个与不同尺寸的晶圆载具一一对应的卡槽。4.根据权利要求2所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述晶圆载具上料站还包括m个在位检测传感器，所述m个在位检测传感器按照前后顺序固定在载具安装板上，并与m个晶圆载具的末端位置一一对应。5.根据权利要求2所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述m个晶圆载具中晶圆的前端位置在竖直方向上齐平；距离基准发射端传感器相同距离的两个侧边发射端传感器形成一个突出检测对，每个突出检测针对一个晶圆载具中的晶圆进行突出检测；假设每个突出检测对中两个侧边发射端传感器的连线方向为第一方向，第二方向垂直于第一方向且位于在该突出检测对所在的平面内；所述每个突出检测对中的两个侧边发射端传感器在第二方向上距离对应晶圆的距离小于距离阈值。6.根据权利要求5所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，当m个晶圆载具中晶圆的校准标识均是notch时，通过基准发射端传感器以及成对使用的接收端传感器实现对应晶圆载具中晶圆的突出检测功能；当最小的晶圆载具中晶圆的校准标识均是notch时，通过基准发射端传感器以及成对使用的接收端传感器能够实现晶圆突出检测的功能；当其他晶圆载具的校准标识均是flat时，通过位于基准发射端传感器两侧与所述晶圆载具对应的侧边发射端传感器以及成对使用的接收端传感器来实现晶圆突出检测的功能。7.根据权利要求1所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述缓存冷却单元包括安装板、积水盘、冷却水管和至少一个缓存盘；所述积水盘固定在所述搬运腔室中，所述冷却水管和安装板固定在所述积水盘中，所述缓存盘固定在所述安装板上方；所述冷却水管分布
在所述安装板底部和/或周围，用于对缓存盘中晶圆进行冷却。8.根据权利要求7所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述缓存冷却单元还包括漏液检测传感器，所述漏液检测传感器位于所述积水盘中，用于检测冷却水管是否漏液。9.根据权利要求1所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，所述机器人包括机器人本体，以及位于机器人本体上端的两个末端手指和两个检测传感器。10.根据权利要求1所述的一种晶圆传输系统，其特征在于，还包括静电消除单元、过滤器单元、人机交互单元、防震地脚单元、脚轮运输单元中的至少一个。

技术总结
本发明公开了一种晶圆传输系统，包括具有搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元；所述机器人位于搬运腔室的中央，所述晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元分布在所述机器人的周围；所述晶圆载具上料站能够兼容M种尺寸的晶圆载具；所述机器人、预对准单元和缓存冷却单元能够分别对不同尺寸的晶圆进行搬运、预对准和缓存冷却。本发明提供的一种晶圆搬运系统，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题；同时还能兼容多种规格晶圆的搬运、预对准和冷却缓存，用于提高晶圆的传输效率。用于提高晶圆的传输效率。用于提高晶圆的传输效率。


技术研发人员：刘恩龙 杨琦 张贤龙 中岛隆志 川辺哲也 张加峰 曹洁 张菊 董怀宝 马刚 董阳 李莹莹 乐佳浩
受保护的技术使用者：上海广川科技有限公司
技术研发日：2021.10.26
技术公布日：2022/1/25