一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造的技术领域，具体涉及一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置。


背景技术：

2.近年来，随着电子信息技术的快速发展，电子产品更新换代的速度也随之加快，智能手机、平板电脑、数码相机，5g技术等产品的销量也在持续增长，这给半导体芯片、半导体显示、pcb、触控等电子元器件的相关行业带来了大份额的市场空间。掩膜版在下游电子元器件制造中起着纽带的作用，是电子制造中的图形转移的母版，是下游产品质量的重要因素。随着消费者对产品的要求逐步提高，对掩膜版的精度也在不断增加；光掩膜基版作为掩膜版的基版，其精度要求会更趋向精细化，高精度的掩膜基版对生产中的环境要求极高。
3.而磁控溅射作为光掩膜基版的主要工艺，其对生产环境有着及其严格的要求，需在高度洁净的车间进行镀膜。镀膜所应用到的镀膜用具一般包括镀膜版架，而镀膜版架则需要无油以及无污染，因此进入到镀膜腔体内才能保证产品的质量及性能。一般而言，掩膜基版在生产过程中采用的是卧式镀膜机，包括上料台、腔体以及下料台，大部分镀膜版版架较重,人工搬运较为吃力，易发生碰撞而造成污染，继而影响产品的品质，且无尘车间空间有限，这就导致了使用人手进行转移的搬运不便利。
4.因此，亟需一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置来解决上述问题。


技术实现要素：

5.本项实用新型是针对现在的技术不足，提供一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置。
6.本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：
7.一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置，包括车架以及安装于所述车架顶部的转动辊组件、导向轮和固定装置、所述转动辊组件和所述导向轮各有若干个，若干个所述转动辊组件之间沿所述车架的长度方向呈并排且间隔地布置，相邻的两个所述转动辊组件之间均安装有所述导向轮，所述导向轮呈可转动地安装于所述车架上，所述转动辊组件的转动中轴线沿所述车架的宽度方向布置，所述导向轮的转动中轴线沿所述车架的高度方向布置，所述固定装置安装于所述转动辊组件的前方和/或后方以用于将放置于该车架上的镀膜版架进行锁定或者释锁。
8.作进一步改进，所述车架包括主体框架、定位轮以及万向轮，所述转动辊组件、所述导向轮以及所述固定装置均安装于所述主体框架的顶部，所述定位轮和所述万向轮各有两个，两个所述定位轮呈相对立地安装于所述主体框架的底部之一侧，两个所述万向轮呈相对立地安装于所述主体框架的底部之另一侧。
9.作进一步改进，所述固定装置为定位插销。
10.作进一步改进，所述主体框架的顶部安装面呈矩形，所述固定装置有四个，且所述
固定装置分别位于所述主体框架的四个角落位置处。
11.作进一步改进，所述车架还包括供操作人员推拉所述主体框架用的推拉把手，所述推拉把手安装于所述主体框架上，且所述推拉把手位于所述转动辊组件的前方和/或后方。
12.作进一步改进，所述推拉把手与所述转动辊组件呈相互平行地布置。
13.作进一步改进，所述导向轮包括圆柱部以及锥台部，所述圆柱部的顶面与所述锥台部的底面相接，所述圆柱部的底面呈可转动地安装于所述主体框架上。
14.作进一步改进，所述导向轮沿所述主体框架的宽度方向呈两两相对立地布置。
15.本实用新型的有益效果：本实用新型的可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置，包括车架以及安装于车架顶部的转动辊组件、导向轮和固定装置、转动辊组件和导向轮各有若干个，若干个转动辊组件之间沿车架的长度方向呈并排且间隔地布置，相邻的两个转动辊组件之间均安装有导向轮，导向轮呈可转动地安装于车架上，转动辊组件的转动中轴线沿车架的宽度方向布置，导向轮的转动中轴线沿车架的高度方向布置，固定装置安装于转动辊组件的前方和/或后方以用于将放置于该车架上的镀膜版架进行锁定或者释锁。故本实用新型在实际使用时，可以通过转动辊组件和导向轮便于操作人员将镀膜版架滑动至车架上，极大地便利了对镀膜版架的搬运过程；与此同时，还可以通过固定装置对位于车架上的镀膜版架进行锁定，有效地防止了镀膜版架在搬运过程中相对车架发生移动而从该车架上掉落。
16.下面结合附图与具体实施方式，对本实用新型进一步说明。
附图说明
17.图1为本实用新型的可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置的整体结构示意图；
18.图2为本实用新型的可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置的俯视图；
19.图3为本实用新型的可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置的侧视图。
具体实施方式
20.以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本发明的保护范围。
21.请参考图1至图3，本实用新型的可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置100，包括车架10以及安装于车架10顶部的转动辊组件20、导向轮30和固定装置40、转动辊组件20和导向轮30各有若干个，若干个转动辊组件20之间沿车架10的长度方向呈并排且间隔地布置，相邻的两个转动辊组件20之间均安装有导向轮30，导向轮30呈可转动地安装于车架10上，转动辊组件20的转动中轴线沿车架10的宽度方向布置，导向轮30的转动中轴线沿车架10的高度方向布置，固定装置40安装于转动辊组件20的前方和/或后方以用于将放置于该车架10上的镀膜版架进行锁定或者释锁。举例而言，固定装置40为定位插销；当然，在其它实施例中，固定装置40还可以是本领域的技术人员所熟悉的其它具有锁固作用的装置，例如，可以相对车架10转动并且具有锁定作用的转动杆等，故在此并不赘述。
22.请继续参考图1至图3，车架10包括主体框架11、定位轮12以及万向轮13，转动辊组件20、导向轮30以及固定装置40均安装于主体框架11的顶部，定位轮12和万向轮13各有两
个，两个定位轮12呈相对立地安装于主体框架11的底部之一侧，两个万向轮13呈相对立地安装于主体框架11的底部之另一侧；因此在实际使用时，可以通过定位轮12和万向轮13的相互配合实现对主体框架11的转动、移动以及刹车等的功能。具体地，主体框架11的顶部安装面呈矩形，固定装置40有四个，且固定装置40分别位于主体框架11的四个角落位置处，但不限于此。
23.请继续参考图1至图3，车架10还包括供操作人员推拉主体框架11用的推拉把手14，推拉把手14安装于主体框架11上，且推拉把手14位于转动辊组件20的前方和/或后方。如图2所示，推拉把手14有两个，其中一个推拉把手14位于转动辊组件20的前方，另一个推拉把手14位于转动辊组件20的后方，但不限于此。较优的是，推拉把手14与转动辊组件20呈相互平行地布置。
24.请参考图1和图3，导向轮30包括圆柱部31以及锥台部32，圆柱部31的顶面与锥台部32的底面相接，圆柱部31的底面呈可转动地安装于主体框架11上。值得注意的是，导向轮30沿主体框架11的宽度方向呈两两相对立地布置。即是说，转动辊组件20和导向轮30是呈交错间隔地布置，且在对镀膜版架进行搬运的时候，转动辊组件20是位于镀膜版架的下方，导向轮30位于镀膜版架的两侧，因此通过转动辊组件20和导向轮30可以共同实现对镀膜版架的滑动以及导向。
25.本实用新型的有益效果：本实用新型的可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置100，包括车架10以及安装于车架10顶部的转动辊组件20、导向轮30和固定装置40、转动辊组件20和导向轮30各有若干个，若干个转动辊组件20之间沿车架10的长度方向呈并排且间隔地布置，相邻的两个转动辊组件20之间均安装有导向轮30，导向轮30呈可转动地安装于车架10上，转动辊组件20的转动中轴线沿车架10的宽度方向布置，导向轮30的转动中轴线沿车架10的高度方向布置，固定装置40安装于转动辊组件20的前方和/或后方以用于将放置于该车架10上的镀膜版架进行锁定或者释锁。故本实用新型在实际使用时，可以通过转动辊组件20和导向轮30便于操作人员将镀膜版架滑动至车架10上，极大地便利了对镀膜版架的搬运过程；与此同时，还可以通过固定装置40对位于车架10上的镀膜版架进行锁定，有效地防止了镀膜版架在搬运过程中相对车架10发生移动而从该车架10上掉落。
26.本实用新型并不限于上述实施方式，采用与本实用新型上述实施例相同或近似结构或装置，而得到的其他用于可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置，均在本实用新型的保护范围之内。