一种冷泵及冷泵系统的制作方法

1.本技术涉及半导体制作领域，具体而言，涉及一种冷泵及冷泵系统。


背景技术：

2.目前在芯片制造工艺中，会使用到蒸发台(例如mark50蒸发台)，其高真空的建立均使用冷泵(一般为16寸)，而冷泵在使用一定的时间后均需更换，维护。由于冷泵重量较重，每次更换一般需要2人托举，1人装卸。且由于安装空间狭小，操作配合困难，工作效率低。从安全角度考虑，易造成人身伤害等安全隐患。


技术实现要素：

3.本技术提供一种冷泵及冷泵系统，能方便用户进行移动、拆卸、维修等操作。
4.第一方面，本技术实施例提供一种冷泵，包括冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；
5.冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；
6.脚轮位于底板远离支撑件的一侧；
7.冷泵本体用于制造真空环境；
8.支撑件和底板用于支撑冷泵本体；
9.脚轮用于移动冷泵本体。
10.在一种可能的实施方式中，支撑件包括第一支撑柱、第二支撑柱和第三支撑柱；
11.第一支撑柱、第二支撑柱和第三支撑柱在底板的投影两两连线后构成三角形。
12.在一种可能的实施方式中，第一支撑柱靠近冷泵本体的一侧包括第一凸块，第一支撑柱靠近底板的一侧包括第一凹槽；
13.冷泵本体靠近第一支撑柱的一侧包括与第一凸块对应的第一安装孔，冷泵本体和第一支撑柱通过第一凸块和第一安装孔连接；
14.底板靠近第一支撑柱的一侧包括与第一凹槽对应的安装柱，底板和第一支撑柱通过第一凹槽和第一安装柱连接。
15.在一种可能的实施方式中，第一凸块和第一安装孔可拆卸连接。
16.在一种可能的实施方式中，底板包括第一支撑区域和第二支撑区域，第一支撑柱位于第一支撑区域，第二支撑柱和第三支撑柱位于第二支撑区域，第一支撑区域小于第二支撑区域。
17.在一种可能的实施方式中，脚轮包括底座、连接件和滑轮；
18.底座靠近底板的一侧包括限位槽，底板靠近底座的一侧包括与限位槽对应的限位件，底座和底板通过限位槽和限位件连接；
19.连接件的一侧与底座远离底板的一侧连接；
20.连接件的另一侧与滑轮可活动连接，以使滑轮能够沿多个方向转动。
21.在一种可能的实施方式中，底座距离地面的距离为预设距离，底座与地面形成的预留空间用于容置千斤顶，千斤顶的高度小于预设距离。
22.在一种可能的实施方式中，底板包括第一导向边和第二导向边，第一导向边和第二导向边分别位于底板相对的两侧，第一导向边和第二导向边构成八字形。
23.在一种可能的实施方式中，限位槽包括内螺纹，限位件包括与内螺纹配合的外螺纹。
24.第二方面，本技术实施例提供一种冷泵系统，包括千斤顶和第一方面至少一种可能的实施方式中的冷泵，千斤顶用于举顶冷泵。
25.相比现有技术，本技术提供的有益效果包括：本技术公开了一种冷泵及冷泵系统，包括：冷泵本体、支撑件、底板和脚轮；冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；脚轮位于底板远离支撑件的一侧；冷泵本体用于制造真空环境；支撑件和底板用于支撑冷泵本体；脚轮用于移动冷泵本体，如此设计，能够方便冷泵的移动和工作，提高了整体作业效率。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
27.图1为本技术实施例提供的冷泵的一种整体结构示意图；
28.图2为本技术实施例提供的底板在一种视角下的局部结构示意图；
29.图3为本技术实施例提供的第一支撑柱的结构示意图；
30.图4为本技术实施例提供的脚轮的结构示意图；
31.图5为本技术实施例提供的冷泵的另一种整体结构示意图。
具体实施方式
32.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
33.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
34.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
35.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
36.此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
38.下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细说明。
39.为了解决前述背景技术中的技术问题，图1为本技术实施例提供的冷泵1的整体结构示意图，下面对该冷泵1进行详细介绍。
40.本技术实施例提供一种冷泵1，包括冷泵本体10、支撑件20、底板30和脚轮40。冷泵本体10位于支撑件20的一侧，支撑件20的另一侧与底板30连接。脚轮40位于底板30远离支撑件20的一侧。冷泵本体10用于制造真空环境。支撑件20和底板30用于支撑冷泵本体10。脚轮40用于移动冷泵本体10。
41.通过上述设置，相较于传统的冷泵1没有任何支撑结构，需要多名用户搬运使用，本技术实施例提供的冷泵1配置了由支撑件20、底板30和脚轮40组成的支撑结构，使得用户在移动、使用冷泵本体10的过程中无需耗费过多的人力，仅需一名用户即可完成移动。同时也能够使得冷泵1在使用过程中的校准、角度调整等也更为轻松。
42.请结合参阅图2，在一种可能的实施方式中，支撑件20包括第一支撑柱201、第二支撑柱202和第三支撑柱203。第一支撑柱201、第二支撑柱202和第三支撑柱203在底板30的投影且两两连线后构成三角形，优选构成等边三角形。
43.在本技术实施例中，冷泵1的重量较重，因此构建的支撑结构需要相对稳定，可以采用第一支撑柱201、第二支撑柱202和第三支撑柱203配合的方式实现对冷泵本体10的支撑，三者在底板30上的投影能够形成等边三角形。如此设计，能够使得第一支撑柱201、第二支撑柱202和第三支撑柱203构成稳定度高的结构。
44.请结合参阅图3，在一种可能的实施方式中，第一支撑柱201靠近冷泵本体10的一侧包括第一凸块2011，第一支撑柱201靠近底板30的一侧包括第一凹槽2012。冷泵本体10靠近第一支撑柱201的一侧包括与第一凸块2011对应的第一安装孔，冷泵本体10和第一支撑柱201通过第一凸块2011和第一安装孔连接。底板30靠近第一支撑柱201的一侧包括与第一凹槽2012对应的安装柱，底板30和第一支撑柱201通过第一凹槽2012和第一安装柱连接。
45.在本技术实施例中，可以在第一支撑柱201的两端分别设置第一凸块2011和第一凹槽2012，相应的，冷泵本体10上可以设置与第一凸块2011配合的第一安装孔，而地板也可以设置与第一凹槽2012配合的安装柱。在本技术实施例中，也可以在第一支撑柱201的两端均设置凸块或者凹槽，而冷泵本体10以及底板30对应设置能够固定的结构即可，在此不做限制。值得说明的是，第二支撑柱202和第三支撑柱203的结构以及与冷泵本体10和底板30的连接方式均可以参考第一支撑柱201，不再赘述。
46.在一种可能的实施方式中，第一凸块2011和第一安装孔可拆卸连接。
47.在用户将冷泵1移动到预设位置后，需要对除冷泵本体10外的其他结构进行移除，以便冷泵本体10的使用。因此第一支撑柱201和冷泵本体10之间为可拆卸连接，即第一凸块
2011和第一安装孔之间为可拆卸连接。第二支撑柱202和第三支撑柱203与第一支撑柱201采用同样的设置，在此不再赘述。
48.在一种可能的实施方式中，底板30包括第一支撑区域和第二支撑区域，第一支撑柱201位于第一支撑区域，第二支撑柱202和第三支撑柱203位于第二支撑区域，第一支撑区域小于第二支撑区域。
49.在本技术实施例中，可以将第一支撑柱201设置在第一支撑区域，将第二支撑柱202和第三支撑柱203则设置在相较于第一支撑区域更宽的第二支撑区域，如此设计，能够使得底板30的尺寸有一定程度的减小，而非传统底板30设计为圆形，能够更加适应冷泵1工作的狭小环境。
50.请结合参阅图4，在一种可能的实施方式中，脚轮40包括底座401、连接件402和滑轮403。底座401靠近底板30的一侧包括限位槽，底板30靠近底座401的一侧包括与限位槽对应的限位件，底座401和底板30通过限位槽和限位件连接。连接件402的一侧与底座401远离底板30的一侧连接。连接件402的另一侧与滑轮403可活动连接，以使滑轮403能够沿多个方向转动。
51.在本技术实施例中，滑轮403与连接件402之间为可活动连接，滑轮403可以作为万向轮使用，用户能够推动冷泵本体10朝任意方向移动。
52.请结合参阅图5，在一种可能的实施方式中，底座401距离地面的距离为预设距离，底座401与地面形成的预留空间用于容置千斤顶50，千斤顶50的高度小于预设距离。
53.在冷泵1达到预设位置后，需要利用千斤顶50进一步调整，可以在底座401下预留放置千斤顶50的位置。
54.在一种可能的实施方式中，底板30包括第一导向边和第二导向边，第一导向边和第二导向边分别位于底板30相对的两侧，第一导向边和第二导向边构成八字形。
55.为了进一步满足冷泵1在狭小的环境中的顺利移动，可以在底座401的两侧分别设置第一导向边和第二导向边，以便冷泵1在移动过程中遇到障碍后也能够快速调整方向。
56.在一种可能的实施方式中，限位槽包括内螺纹，限位件包括与内螺纹配合的外螺纹。
57.在本技术实施例中提出的冷泵1，在闲置是也能够利用自身具备的结构稳定放置，无需额外在找工具固定，仅需将滑轮403固定即可。
58.为了能够更加清楚地描述本技术提供的方案，下面示例性的以16寸冷泵1配合mark50蒸发台工作的工作流程为例进行描述。首先，倒置16寸冷泵本体10，安装第一支撑柱201、第二支撑柱202和第三支撑柱203，安装底板30，使用3颗螺丝固定底板30，安装完成。然后，正放16寸冷泵本体10，推动冷泵本体10致冷阱口下方，对准冷阱下方的螺丝孔，液压千斤顶50放置在夹具正下方，提升液压千斤顶50。接着，提升致冷阱口5mm处，安装固定螺丝12个，紧固螺丝。然后，降低液压千斤顶50并拿出，拆卸16寸冷泵本体10装卸的其他结构。值得说明的是，此安装过程只需要2个人，且不需要人力抬，省时省力，以前安装冷泵1需要2小时，现在只需要0.5小时就可以安装完成，大大提升安装效率。
59.本技术实施例提供一种冷泵系统，包括千斤顶50和前述至少一种可能的实施方中的冷泵1，千斤顶50用于举顶冷泵1。
60.综上所述，本技术公开了一种冷泵及冷泵系统，包括：冷泵本体、支撑件、底板和脚
轮；冷泵本体位于支撑件的一侧，支撑件的另一侧与底板连接；脚轮位于底板远离支撑件的一侧；冷泵本体用于制造真空环境；支撑件和底板用于支撑冷泵本体；脚轮用于移动冷泵本体，如此设计，能够方便冷泵的移动和工作，提高了整体作业效率。
61.出于说明目的，前面的描述是参考具体实施例而进行的。但是，上述说明性论述并不打算穷举或将本技术局限于所公开的精确形式。根据上述教导，众多修改和变化都是可行的。选择并描述这些实施例是为了最佳地说明本技术的原理及其实际应用，从而使本领域技术人员最佳地利用本技术，并利用具有不同修改的各种实施例以适于预期的特定应用。出于说明目的，前面的描述是参考具体实施例而进行的。但是，上述说明性论述并不打算穷举或将本技术局限于所公开的精确形式。根据上述教导，众多修改和变化都是可行的。选择并描述这些实施例是为了最佳地说明本技术的原理及其实际应用，从而使本领域技术人员最佳地利用本技术，并利用具有不同修改的各种实施例以适于预期的特定应用。