一种具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置的制作方法

技术特征：
1.一种具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：包括坩埚，所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内的金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器，所述坩埚顶部通过金属蒸汽管道连有一矩形的布流箱体，所述布流箱体内设有水平向的稳压板，所述布流箱体的顶部设有镀膜喷嘴，所述金属蒸汽管道上设有调压阀；所述布流箱体内还设有垂直向的多孔管，所述多孔管位于所述稳压板下方，所述多孔管的下端与所述金属蒸汽管道相连通，所述多孔管的上端设置为封闭式的抑湍室，所述多孔管的侧壁上开有数个吐出孔；所述布流箱体的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽与所述吐出孔相对应。2.如权利要求1所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述吐出孔朝向所述布流箱体的长度向和/或宽度向设置。3.如权利要求2所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述布流箱体的长度l为100～500mm，所述布流箱体的宽度w为20～100mm，所述金属蒸汽管道的直径d为15～100mm时，所述抑湍室的体积v1、所述缓冲槽的体积v2、朝所述布流箱体宽度向设置的所述吐出孔的面积s
短
、朝所述布流箱体长度向设置的所述吐出孔的面积s
长
、所述吐出孔的总面积s1与所述坩埚顶部和所述金属蒸汽管道连接位置s
入口
的关系如下：当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在50000～100000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(6～10)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(4～6)*s
入口
，s
长
/s
短
＝3～4，所述吐出孔的总面积s1＝(3～4)*s
入口
；当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在10000～50000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(4～6)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(2～4)*s
入口
，s
长
/s
短
＝2～3，所述吐出孔的总面积s1＝(2～3)*s
入口
；当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在1000～10000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(2～4)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(1～2)*s
入口
，s
长
/s
短
＝1～2，所述吐出孔的总面积s1＝(1～2)*s
入口
。4.如权利要求2所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述布流箱体的长度l为500～1000mm，所述布流箱体的宽度w为30～150mm，所述金属蒸汽管道的直径d为30～120mm时，所述抑湍室的体积v1、所述缓冲槽的体积v2、朝所述布流箱体宽度向设置的所述吐出孔的面积s
短
、朝所述布流箱体长度向设置的所述吐出孔的面积s
长
、所述吐出孔的总面积s1与所述坩埚顶部和所述金属蒸汽管道连接位置s
入口
的关系如下：当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在50000～100000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(7～12)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(5～7)*s
入口
，s
长
/s
短
＝4～5，所述吐出孔的总面积s1＝(4～5)*s
入口
；当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在10000～50000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(5～7)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(3～5)*s
入口
，s
长
/s
短
＝4～5，所述吐出孔的总面积s1＝(3～4)*s
入口
；当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在1000～10000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(3～5)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(2～3)*s
入口
，s
长
/s
短
＝3～4，所述吐出孔的总面积s1＝(2～3)*s
入口
。5.如权利要求2所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征
在于：所述布流箱体的长度l为1000～2000mm，所述布流箱体的宽度w为40～160mm，所述金属蒸汽管道的直径d为40～140mm时，所述抑湍室的体积v1、所述缓冲槽的体积v2、朝所述布流箱体宽度向设置的所述吐出孔的面积s
短
、朝所述布流箱体长度向设置的所述吐出孔的面积s
长
、所述吐出孔的总面积s1与所述坩埚顶部和所述金属蒸汽管道连接位置s
入口
的关系如下：当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在50000～100000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(8～14)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(6～8)*s
入口
，s
长
/s
短
＝6～7，所述吐出孔的总面积s1＝(5～6)*s
入口
；当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在10000～50000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(6～8)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(4～6)*s
入口
，s
长
/s
短
＝5～6，所述吐出孔的总面积s1＝(4～5)*s
入口
；当所述金属蒸汽管道内的所述金属蒸汽压力在1000～10000pa时，所述抑湍室的体积v1＝(3～6)*s
入口
，所述缓冲槽的体积v2＝(3～4)*s
入口
，s
长
/s
短
＝4～5，所述吐出孔的总面积s1＝(3～4)*s
入口
。6.如权利要求1所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述稳压板设置为多孔结构，所述稳压板的孔隙总面积s
孔隙总面积
与所述镀膜喷嘴的出口位置面积s
出口
之比大于等于0.1，即：s
孔隙总面积
/s
出口
≥0.1。7.如权利要求6所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述稳压板上的孔型为圆孔、方孔或三角孔。8.如权利要求7所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述稳压板上的孔隙走向为直线或曲线。9.如权利要求1所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜喷嘴的出口设置为狭缝型或多孔型，且所述镀膜喷嘴出口位置面积s
出口
与所述坩埚顶部和所述金属蒸汽管道连接位置s
入口
之比大于等于0.05～5，即：s
出口
/s
入口
≥0.05～5。10.如权利要求9所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜喷嘴设置为狭缝型时，其线形为直线形或曲线形，所述镀膜喷嘴设置为多孔型时，其线形为矩形、圆形或梯形。11.如权利要求1所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述多孔管为矩形管或圆柱形管。12.如权利要求1所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述多孔管与所述金属蒸汽管道之间采用螺纹方式或镶嵌方式连接。13.如权利要求2-5任一项所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述吐出孔的孔型为圆形、方形或三角形。14.如权利要求3-5任一项所述的具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，其特征在于：所述抑湍室设置为矩形或半圆形。

技术总结
本发明公开了一种具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置，包括坩埚，所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内的金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器，所述坩埚顶部通过金属蒸汽管道连有一矩形的布流箱体，所述布流箱体内设有水平向的稳压板，所述布流箱体的顶部设有镀膜喷嘴，所述金属蒸汽管道上设有调压阀；所述布流箱体内还设有垂直向的多孔管，所述多孔管位于所述稳压板下方，所述多孔管的下端与所述金属蒸汽管道相连通，所述多孔管的上端设置为封闭式的抑湍室，所述多孔管的侧壁上开有数个吐出孔；所述布流箱体的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽与所述吐出孔相对应。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。成均匀镀层。成均匀镀层。


技术研发人员：任三兵 李山青 樊俊飞 熊斐 张春伟
受保护的技术使用者：宝山钢铁股份有限公司
技术研发日：2020.07.21
技术公布日：2022/1/21