图像形成设备的制作方法

技术特征：
1.一种图像形成设备，包括照射系统，能够操作以将辐射束引导到第一平面上；第一支撑结构以及第二支撑结构，第一支撑结构能够操作以支撑所述第一平面中的第一标识，第二支撑结构能够操作以支撑第二平面中的第二标识；投影系统，被布置在所述第一平面与所述第二平面之间，以在第三平面中形成所述第一标识和所述第二标识的组合图像；以及对准系统，能够操作以从所述组合图像提取数据，以确定所述第一标识与所述第二标识之间的对准距离。2.根据权利要求1所述的图像形成系统，其中提取的所述数据取决于所述组合图像的不对称性。3.根据权利要求1或2所述的图像形成系统，其中所述对准系统包括：调制系统，能够操作以从所述组合图像形成调制组合图像；以及检测器，能够操作以从所述调制组合图像提取数据，以确定所述第一标识与所述第二标识之间的对准距离。4.根据权利要求3所述的图像形成设备，其中所述调制系统包括自参考干涉仪和图像扫描机构，所述图像扫描机构被配置为在所述第三平面上扫描所述组合图像。5.根据权利要求3或4所述的图像形成设备，其中所述检测器能够操作以从所述调制组合图像提取相移数据。6.根据权利要求3所述的图像形成设备，其中所述调制系统包括：所述第三平面中的一个或多个检测光栅和图像扫描机构，所述图像扫描机构被配置为在所述第三平面上扫描所述组合图像，使得所述组合图像相对于所述一个或多个检测光栅被扫描。7.根据权利要求3至6中任一项所述的图像形成设备，其中所述调制系统还能够操作以从所述组合图像滤出一个或多个傅里叶分量以形成滤波组合图像，并且从所述滤波组合图像形成所述调制组合图像。8.根据前述权利要求中任一项所述的图像形成设备，其中所述第一标识和所述第二标识包括衍射光栅。9.根据前述权利要求中任一项所述的图像形成设备，其中所述第一标识和所述第二标识具有匹配的衍射光栅周期。10.根据前述权利要求中任一项所述的图像形成设备，其中所述照射系统能够操作以同时照射所述第一平面中的第一标识阵列，并且所述投影系统被配置为将所述第一标识阵列的图像形成到对应的第二标识阵列上以及在所述第三平面中形成每对对应的第一标识和第二标识的多个组合图像。11.根据前述权利要求中任一项所述的图像形成设备，其中所述图像形成设备能够在成像模式和对准模式下操作，并且其中当以所述成像模式或所述对准模式操作时，所述辐射束被引导通过所述投影系统的基本相同的部分。12.一种量测设备，包括前述权利要求中任一项的所述设备。13.一种光刻设备，被布置为将图案从图案形成装置投影到衬底上，所述光刻设备包括前述权利要求中任一项的所述图像形成设备，其中所述第一支撑结构能够操作以在所述第一平面中支撑所述图案形成装置，并且所述第二支撑结构能够操作以在所述第二平面中支
撑所述衬底。14.一种用于测量成像设备的第一平面中的第一标识与第二平面中的第二标识之间的对准距离的方法，所述方法包括：将辐射束引导到所述成像设备的所述第一平面上；形成所述第一标识和所述第二标识的组合图像；将所述组合图像引导到对准系统；从所述组合图像提取数据，以确定所述对准距离。15.根据权利要求14所述的方法，其中提取的所述数据取决于所述组合图像的不对称性。16.根据权利要求14至15中任一项所述的方法，还包括：相对于彼此扫描所述第一标识和所述第二标识，使得所述组合图像相对于第三平面进行扫描。17.根据权利要求16所述的方法，还包括：同时照射所述第一平面中的第一标识阵列，并且将所述第一标识阵列的图像形成到对应的第二标识阵列上，并且在所述第三平面中形成每对对应的第一标识和第二标识的多个组合图像。18.根据权利要求14至17中任一项所述的方法，还包括：使用自参考干涉仪或者一个或多个检测光栅来调制所述组合图像。

技术总结
一种图像形成设备包括：照射系统，可操作以将辐射束引导到第一平面上；第一支撑结构，可操作以支撑第一平面中的第一标识，以及第二支撑结构，可操作以支撑第二平面中的第二标识；投影系统，被布置在第一平面与第二平面之间，以在第三平面中形成第一标识和第二标识的组合图像；以及对准系统，可操作以从组合图像提取数据，以确定第一标识与第二标识之间的对准距离。准距离。准距离。


技术研发人员：O
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2020.04.30
技术公布日：2022/1/21