激光装置的制作方法

1.本发明涉及一种激光装置。


背景技术：

2.随着多媒体的发展，显示装置的重要性正在增加。响应于此，正在使用诸如液晶显示装置、有机发光显示装置等的多个种类的显示装置。
3.在显示装置的制造工艺中，为了将相应的显示装置切割成所需的规格和形状，可以使用激光束。激光束可以在对象基板上沿与切割线相同的方向反复进行以预定距离顺行及逆行的摇摆而移动。


技术实现要素：

4.本发明所要解决的技术问题是提供一种能够按对象基板的切割线的每个区域均匀地照射激光束的激光装置。
5.本发明的技术问题并不局限于以上所提及的技术问题，未提及的其他技术技术问题可以通过以下内容被本领域技术人员明确地理解。
6.根据用于解决上述技术问题的一实施例的激光装置包括：平台；激光提供部，布置于所述平台上部并且提供激光束；扫描仪，调节光路径而使所述激光束照射到形成于所述平台上部的照射线；以及控制部，控制所述扫描仪的驱动，其中，所述扫描仪包括：遮板，布置于从所述激光提供部发出的所述激光束的光路径上，并且执行开闭操作。
7.所述控制部可以计算被所述激光束照射的加工区域及不被所述激光束照射的非加工区域。
8.若在所述激光束的目标瞄准点的位置位于所述加工区域时，所述控制部可以以如下方式进行控制：若所述激光束的所述目标瞄准点的移动速度为基准速度以上，则开放所述遮板，若所述激光束的所述目标瞄准点的移动速度小于所述基准速度，则关闭所述遮板。
9.若所述激光束的所述目标瞄准点的位置位于所述非加工区域，则所述控制部可以关闭所述遮板。
10.所述扫描仪可以包括摆动所述激光束的镜部，所述激光束的目标瞄准点可以通过利用所述镜部的所述激光束的摆动而反复进行沿移动方向移动的顺行及沿与所述移动方向相反的方向移动的逆行来移动。
11.所述激光束的所述目标瞄准点的所述顺行的距离可以大于进行所述逆行的距离。
12.根据用于解决上述技术问题的另一实施例的激光装置包括：激光提供部，在第一时间段及第二时间段期间发出激光束；光路径调节部，调节所述激光束的行进角度；以及遮板，布置于所述激光束的行进路径上，其中，所述遮板在所述第一时间段期间被开放而使发出的所述激光束行进，并且在所述第二时间段期间被关闭而阻挡发出的所述激光束的行进。
13.所述第一时间段及所述第二时间段可以不间断地连续。
14.所述激光装置还可以包括：控制部，控制所述光路径调节部及所述遮板的操作，其中，所述控制部可以计算被所述激光束照射的加工区域及不被所述激光束照射的非加工区域。
15.在所述第一时间段期间，所述激光束的目标瞄准点可以位于所述加工区域内，并且可以以基准速度以上的速度移动。
16.其他实施例的具体事项包括于详细的说明以及附图。
17.根据一实施例的激光装置，可以按对象基板的切割线的每个区域均匀地照射激光束。
18.根据实施例的效果并不局限于以上举例示出的内容，更加多样的效果包括在本说明书内。
附图说明
19.图1是根据一实施例的显示装置的平面图。
20.图2是根据一实施例的显示装置的示意性的局部剖视图。
21.图3是根据一实施例的激光装置的立体图。
22.图4是根据一实施例的扫描仪的示意图。
23.图5是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
24.图6是具体示出沿计算出的照射图案在对象基板上照射激光束的步骤的流程图。
25.图7是示出根据图5的显示装置的制造方法照射到激光束的对象基板的平面图。
26.图8是示出根据一实施例的镜部的驱动过程的图。
27.图9是示出根据一实施例的激光束的目标瞄准点的移动的图。
28.图10是示出在基于根据一实施例的显示装置的制造方法照射激光束时的根据时间的激光束的目标瞄准点的位置的图表。
29.图11是图10的a区域的放大图。
30.图12是示出在基于根据一实施例的显示装置的制造方法来照射的激光束摇摆时，根据位置的激光束的目标瞄准点的移动速度的图表。
31.附图标记说明：
32.1：激光装置
33.10：对象基板
34.20：平台
35.30：平台移送部
36.40：激光提供部
37.50：扫描仪
38.51：镜部
39.52：镜驱动部
40.53：遮板
41.54：遮板驱动部
42.60：扫描仪移送部
43.70：冷却部
44.80：控制部
45.90：平台编码器
具体实施方式
46.参照与附图一起详细后述的实施例，可以明确本发明的优点和特征以及达成这些的方法。然而本发明可以呈现为互不相同的多种形态，并不局限于以下公开的实施例，本实施例仅用于使本发明的公开完整并为了向本发明所属技术领域中具有普通知识的人完整地告知发明的范围而提供，本发明仅由权利要求的范围来定义。
47.提及元件(elements)或者层在其他元件或者层“上(on)”的情形包括在其他元件的紧邻的上方的情形或者在中间夹设有其他层或者其他元件的情形。贯穿整个说明书，相同的附图标记指代相同的构成要素。用于说明实施例的附图中所公开的形状、尺寸、比率、角度、数量等是示例性的，因此本发明并不局限于图示的事项。
48.虽然第一、第二等术语用于叙述多种构成要素，但这些构成要素显然不受限于这些术语。这些术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分。因此，以下提及的第一构成要素在本发明的技术思想内，显然也可以是第二构成要素。
49.以下，参照附图针对具体实施例进行说明。
50.图1是根据一实施例的显示装置的平面图。图2是根据一实施例的显示装置的示意性的局部剖视图。
51.参照图1及图2，显示装置dd作为显示动态影像或静止影像的装置，显示装置dd不仅可以被使用为诸如移动电话、智能电话、平板pc、智能手表、手表电话、移动通信终端、电子记事本、电子书、pmp、导航仪、umpc等的便携式电子设备的显示画面，而且也可以被使用为诸如电视、笔记本电脑、监视器、广告板、物联网产品等的各种产品的显示画面。作为显示装置dd的例可以是有机发光显示装置、液晶显示装置、等离子体显示装置、场发射显示装置、电泳显示装置、电润湿显示装置、量子点发光显示装置、微型led显示装置等。以下，以有机发光显示装置作为例而对显示装置dd进行说明，然而并不局限于此。
52.显示装置dd可以包括显示面板dp。显示面板dp可以包括包含诸如聚酰亚胺等的柔性高分子物质的柔性基板。据此，显示面板dp可以被弯曲、弯折、折叠或卷曲。然而，并不局限于此，显示面板dp可以包括利用玻璃类材质制成的玻璃基板。
53.显示面板dp可以包括主区域mr和连接于主区域mr的第一方向dr1上的一侧的弯曲区域bd。显示面板dp还可以包括连接于弯曲区域bd并沿厚度方向与主区域mr重叠的子区域sr。弯曲区域bd及子区域sr可以具有从主区域mr沿第一方向dr1突出的形状。
54.在显示面板dp中，显示画面的部分可以被定义为显示区域da，并且不显示画面的部分可以被定义为非显示区域nda。显示面板dp的显示区域da可以布置于主区域mr内。在显示面板dp中除了显示区域da之外的剩余部分可以是非显示区域nda，并且在主区域mr中的显示区域da的周边边缘部分、弯曲区域bd的整体及子区域sr的整体可以是非显示区域nda。然而，并不局限于此，弯曲区域bd和/或子区域sr也可以包括显示区域da。
55.主区域mr可以具有与显示装置dd的平面上的外形大致上相似的形状。主区域mr可以是位于一平面的平坦区域。然而并不局限于此，在主区域mr中，除了与弯曲区域bd连接的边缘之外的剩余边缘中的至少一个边缘也可以弯曲而构成曲面或者沿垂直方向弯折。
56.显示面板dp的显示区域da可以布置于主区域mr的中央部。显示区域da可以包括多个像素。显示区域da可以具有矩形形状或拐角圆润的矩形形状。然而，并不局限于此，显示区域da可以具有正方形或者其他多边形或者诸如圆形、椭圆形等的多种形状。
57.在主区域mr中，非显示区域nda可以位于显示区域da的周边。主区域mr的非显示区域nda可以置于从显示区域da的外侧边界到显示面板dp的边缘之间的区域。用于向显示区域da施加信号的信号布线或驱动电路可以布置于主区域mr的非显示区域nda。
58.在弯曲区域bd，显示面板dp可以朝厚度方向上的下侧方向具有曲率而弯曲，换言之，可以朝显示面的相反方向具有曲率而弯曲。弯曲区域bd可以具有恒定的曲率半径，然而并不局限于此，也可以按每个区间而具有不同的曲率半径。随着显示面板dp在弯曲区域bd被弯曲，显示面板dp的面可以翻转。即，显示面板dp的朝向上部的一面可以以先通过弯曲区域bd朝向外侧再朝向下部的方式改变。
59.子区域sr可以从弯曲区域bd延伸。子区域sr可以在结束弯曲之后沿与主区域mr平行的方向延伸。子区域sr可以沿显示面板dp的厚度方向与主区域mr重叠。子区域sr可以与主区域mr的边缘的非显示区域nda重叠，进而还可以与主区域mr的显示区域da重叠。子区域sr的宽度可以与弯曲区域bd的宽度相同，然而并不局限于此。
60.显示面板dp可以包括：第一短边ss1，布置于主区域mr的第一方向dr1上的另一侧，并且沿第二方向dr2延伸；第一长边ls1，布置于主区域mr的第二方向dr2上的一侧，并且沿第一方向dr1延伸；第二长边ls2，布置于主区域mr的第二方向dr2上的另一侧，并且沿第一方向dr1延伸；以及第二短边ss2，布置于主区域mr的第一方向dr1上的一侧，并且沿第二方向dr2延伸。
61.第一短边ss1与第一长边ls1及第二长边ls2分别相遇的拐角可以构成直角。第二短边ss2与第一长边ls1及第二长边ls2分别相遇的拐角可以构成直角。然而并不局限于此，每个拐角可以形成为锐角或钝角，或者可以包括曲线部。
62.显示面板dp还可以包括：第一突出边缘ps1，位于弯曲区域bd及子区域sr的第二方向dr2上的一侧，并沿第一方向dr1延伸；第二突出边缘ps2，位于弯曲区域bd及子区域sr的第二方向dr2上的另一侧，并沿第一方向dr1延伸；以及第三突出边缘ps3，位于子区域sr的第一方向dr1上的一侧，并沿第二方向dr2延伸。
63.第一突出边缘ps1与第二短边ss2相遇的拐角及第二突出边缘ps2与第二短边ss2相遇的拐角可以构成直角，然而并不局限于此，可以包括锐角、钝角或曲线部。第一突出边缘ps1与第三突出边缘ps3相遇的拐角及第二突出边缘ps2与第三突出边缘ps3相遇的拐角可以构成直角，然而并不局限于此，可以包括锐角、钝角或曲线部。
64.显示面板dp的子区域sr上可以布置有驱动芯片ic。驱动芯片ic可以包括驱动显示面板dp的集成电路。在一实施例中，所述集成电路可以是生成数据信号并提供的数据驱动集成电路，然而并不局限于此。驱动芯片ic可以通过各向异性导电膜贴附于显示面板dp上，或者可以通过超声波粘合贴附于显示面板dp上。
65.在显示面板dp的子区域sr的端部可以配备有垫部，并且在垫部上可以连接有印刷电路基板fpcb。印刷电路基板fpcb可以是柔性印刷电路基板或者膜。
66.上述的显示面板dp的第一短边ss1、第二短边ss2、第一长边ls1、第二长边ls2、第一突出边缘ps1、第二突出边缘ps2及第三突出边缘ps3可以是当形成显示面板dp时的进行
切割的线。在平面图上的显示面板dp的外观可以由第一短边ss1、第二短边ss2、第一长边ls1、第二长边ls2、第一突出边缘ps1、第二突出边缘ps2及第三突出边缘ps3来定义，并且可以具有闭合曲线形状。
67.例如，显示面板dp可以直接从母基板单位的基板切割来制造。然而并不局限于此，显示面板dp可以在从母基板单位的基板切割之后对单元(cell)单位的所述基板进行精密切割来制造。此时，从母基板单位的基板形成单元单位的基板的切割工艺可以利用比形成显示面板dp的外观的切割工艺相对不精密的激光装置来执行。在从单元单位的基板形成显示面板dp的工艺中，可以在单元单位的基板沿与显示面板dp的第一短边ss1、第二短边ss2、第一长边ls1、第二长边ls2、第一突出边缘ps1、第二突出边缘ps2及第三突出边缘ps3对应的边缘进行切割来形成显示面板dp，然而并不局限于此，还可以仅切割上述边缘中的一部分来形成。例如，可以沿与第二短边ss2、第一突出边缘ps1及第二突出边缘ps2对应的边缘切割来形成显示面板dp。以下，以从母基板单位的基板切割成单元单位的基板之后将上述单元单位的基板精密切割而制造显示面板dp的情形作为示例，然而并不局限于此。
68.显示面板dp可以具有在绝缘基板上层叠有各种有机层及无机层的结构。绝缘基板可以是包括高分子物质的柔性基板，然而并不局限于此，可以是包括玻璃的玻璃基板。显示面板dp可以在切割绝缘基板而形成显示面板dp的外观之后层叠各种有机层及无机层来制造。具体地，作为切割对象的对象基板(图3的“10”)可以是绝缘基板。在此情况下，可以在切割的对象基板上层叠各种有机层(未图示)及无机层(未图示)来制造显示面板dp。然而，并不局限于此，作为切割对象的对象基板可以是层叠有各种有机层及无机层的基板。具体地，还可以在将各种有机层及无机层层叠在绝缘基板上之后进行切割来形成显示面板dp的外观。
69.显示面板dp的切割可以借由激光装置(参照图3的“1”)来执行。对此的详细说明将参照图3及图4而后述。
70.在显示面板dp上贴附驱动芯片ic和印刷电路基板fpcb的工艺及在显示面板dp的弯曲区域bd的弯曲工艺可以在切割工艺之后执行。
71.以下，对激光装置进行说明。后述的激光装置可以用于将从母基板单位的基板分割的单元单位的基板切割来制造显示面板dp。
72.图3是根据一实施例的激光装置的立体图。图4是根据一实施例的扫描仪的示意图。
73.参照图3及图4，根据一实施例的激光装置1可以将激光束lb沿形成于对象基板10上的虚拟的切割线cl绘制(drawing)而以切割线cl为基准将一侧及另一侧分离切割。在切割线cl中，已经加工的线以实线图示，并且将要加工的线以虚线图示。
74.激光装置1可以包括：平台20，安置对象基板10,；平台移送部30，使平台20移动；激光提供部40，生成激光束lb；扫描仪50，改变激光束lb的路径；扫描仪移送部60，移动扫描仪50；冷却部70，冷却对象基板10；控制部80，控制激光装置1的驱动；以及平台编码器90，向控制部80提供平台20的位置信息。
75.平台20可以支撑对象基板10。平台移送部30可以移动平台20。例如，平台移送部30可以沿第一方向dr1移动平台20，然而并不局限于此，可以沿多个方向移动。平台移送部30可以将平台20移动而沿切割线cl移动激光束lb。然而，并不局限于此，还可以不移动平台20
而移动激光提供部40及扫描仪50而沿切割线cl移动激光束lb，或者还可以同时移动平台20、激光提供部40及扫描仪50而沿切割线cl移动激光束lb。
76.激光提供部40可以生成激光束lb而发出。由激光提供部40生成的激光束lb可以是例如co2激光、绿色激光、红外线激光、紫外线激光中的任意一种，然而并不局限于此。
77.扫描仪50可以布置于从激光提供部40发出的激光束lb的光路径上。从激光提供部40发出的激光束lb可以进入扫描仪50的内部。扫描仪50可以调节从激光提供部40发出的激光束lb的光路径。借由扫描仪50而调节完光路径的激光束lb可以沿对象基板10的切割线cl照射。具体地，扫描仪50可以摇摆激光束lb。因此，激光束lb入射到对象基板10的上表面的角度可以在预定的范围内变化。在对象基板10的上表面，激光束lb入射的预定的范围可以是光照射区间lbd。光照射区间lbd可以沿切割线cl而形成。
78.扫描仪50可以包括：镜部51，反射从激光提供部40发出的激光束lb；镜驱动部52，驱动镜部51；遮板53，阻挡激光束lb；以及遮板驱动部54，驱动遮板53。
79.镜部51可以将从激光提供部40发出的激光束lb摆动而使激光束lb的目标瞄准点顺行及逆行。镜部51可以包括沿第一方向dr1摆动激光束lb的第一镜部51a及沿第二方向dr2摆动激光束lb的第二镜部51b。激光束lb可以通过第一镜部51a及第二镜部51b照射至由第一方向dr1及第二方向dr2定义的平面上。
80.镜驱动部52可以驱动镜部51，并且可以选择性地调节镜部51的移动。镜驱动部52可以包括驱动第一镜部51a的第一镜驱动部52a及驱动第二镜部51b的第二镜驱动部52b。
81.遮板53可以阻挡从激光提供部40发出的激光束lb。遮板53可以布置于激光束lb的光路径上。遮板53可以通过开闭操作来调节激光束lb进入扫描仪50内部。例如，若遮板53被开放，则激光束lb可以进入扫描仪50内部，若遮板53被关闭，则激光束lb可以不进入扫描仪50内部。例如，遮板53可以以滑动形式开闭，然而并不局限于此，可以以多种方式开闭。在图4中图示了遮板53布置于后述的扫描仪50的壳体55的一表面上的情形，然而并不局限于此，遮板53也可以位于壳体55的内部或外部。
82.遮板53的开闭操作可以通过控制部80来控制。具体地，遮板53的开闭与否可以根据在对象基板10内的激光束lb的目标瞄准点的位置来确定。激光束lb的目标瞄准点可以表示在遮板53被开放的情况下激光束lb所到达的地点。如后文将描述的，在对象基板10的遮板53开闭的激光束lb的目标瞄准点的位置可以根据切割线cl的形状、激光束lb的单位顺行距离(参照图10的“d1”)及每个单位区域的激光束lb扫描次数来确定。
83.遮板53可以借由遮板驱动部54而驱动。如上所述，遮板53可以以滑动方式开闭，遮板驱动部54可以驱动遮板53的滑动。遮板驱动部54可以由控制部80控制。具体地，遮板驱动部54可以从控制部80接收控制信号来开闭遮板53。针对借由控制部80的遮板53的开闭操作的内容将后述。
84.扫描仪50还可以包括收纳镜部51和镜驱动部52的壳体55。壳体55可以构成扫描仪50的外形，并且可以提供收纳镜部51及镜驱动部52的空间。壳体55可以包括：光进入口551，为了使从激光提供部40发出的激光束lb进入其内部而朝激光提供部40侧开口；以及光照射口552，为了将激光束lb通过镜部51朝对象基板10侧照射而开口。
85.激光提供部40和扫描仪50可以借由扫描仪移送部60沿第二方向dr2移动。扫描仪移送部60可以形成为门架(gantry)结构。扫描仪移送部60可以包括：水平支撑部61，沿水平
方向延伸；垂直支撑部62，与水平支撑部61连接，并且沿作为垂直方向的第三方向dr3延伸；以及水平移动部63，设置于水平支撑部61上，并且使激光提供部40和扫描仪50沿第二方向dr2移动。水平支撑部61可以具有沿第二方向dr2延伸的形状。垂直支撑部62可以布置于平台20的在第二方向dr2上的一侧及另一侧。在水平移动部63的内部可以布置有激光提供部40及扫描仪50。扫描仪移送部60可以与控制部80连接，并且扫描仪移送部60的移动可以由控制部80控制。
86.冷却部70可以冷却被激光束lb照射的对象基板10。具体地，冷却部70可以以光照射区间lbd的移动方向为基准而冷却光照射区间lbd的尾部。若激光束lb照射到对象基板10，则被激光束lb照射的光照射区间lbd可以瞬间被加热。此时，在光照射区间lbd的对象基板10可以产生由于热的压缩应力。冷却部70可以以光照射区间lbd的移动方向为基准瞬间冷却光照射区间lbd的尾部边缘。此时，在冷却的部位可以产生拉伸应力。如此，若由于急剧的温度变化而引起的热冲击(压缩应力及拉伸应力)施加于对象基板10，则可以产生细微的裂纹，由此对象基板10可以沿着切割线cl被切割。通过冷却部70的对象基板10的冷却程度可以根据对象基板10的材质及激光束lb的种类等进行调节。
87.控制部80可以控制激光装置1的整体操作。具体地，控制部80可以控制平台移送部30、激光提供部40、扫描仪50、扫描仪移送部60及冷却部70。控制部80可利用诸如切割线cl的形状、对象基板10的厚度及材质、平台20的位置等的信息来控制对象基板10的切割工艺。
88.并且，控制部80可以通过遮板驱动部54的控制来调节遮板53的开闭操作。具体地，在激光束lb的目标瞄准点位于非加工区域(图10的“npa”)的情况下，控制部80可以控制为将遮板53关闭。并且，在激光束lb的目标瞄准点位于加工区域(图10的“pa”)的情况下，若激光束lb的目标瞄准点的移动速度为基准速度以上，则可以控制为使遮板53开放，若激光束lb的目标瞄准点的移动速度小于基准速度，则可以控制为将遮板53关闭。为了按切割线cl的区间来均匀地照射激光束lb而设定基准速度，其可以小于或等于当激光束lb照射到对象基板10上时移动的速度。
89.通过激光照射的切割工艺可以包括遮板53被开放的第一时间段及遮板53被关闭的第二时间段。控制部80可以控制遮板驱动部54，使得遮板53在第一时间段内开放，并且使得遮板53在第二时间段关闭。在第一时间段期间，激光束lb的目标瞄准点可以位于加工区域，并且激光束lb的目标瞄准点的移动速度可以是基准速度以上。在第二时间段期间，激光束lb的目标瞄准点可以位于非加工区域，或者可以位于加工区域，并且移动速度可以小于基准速度。
90.针对通过控制部80控制遮板53的更加详细的内容将后述。
91.平台编码器90可以将平台20的位置信息提供至控制部80。具体地，平台编码器90可以感测平台20的位置，并且可以将其转换为电信号而提供至控制部80。
92.在利用激光束lb的对象基板10的切割工艺中，激光束lb可以借由镜部51而摆动，与此同时，扫描仪50可以借由扫描仪移送部60而移动，平台20可以借由平台移送部30而移动。通过上述操作，激光束lb可以反复进行沿光照射区间lbd的移动方向移动的顺行及沿与光照射区间lbd的移动方向相反的方向移动的逆行而移动。激光束lb顺行的距离可以大于逆行的距离。因此，光照射区间lbd可以反复激光束lb的顺行及逆行而移动。例如，在切割工艺中，当光照射区间lbd朝第一方向dr1的一侧移动时，激光束lb朝第一方向dr1的一侧的移
动可以是顺行，激光束lb朝第一方向dr1的另一侧的移动可以是逆行。
93.激光束lb可以沿切割线cl顺行及逆行而向对象基板10的切割线cl提供能量。具体地，瞬间照射激光束lb的点可以沿切割线cl顺行及逆行，并且可以向对象基板10的切割线cl提供能量。在切割线cl内的每个单位区域所被照射的点整体上可以均匀，然而并不局限于此。对象基板10可以借由通过激光束lb提供的能量而沿切割线cl被切割。
94.以下，针对利用上述的激光装置1的显示装置的制造方法进行说明。后述的显示装置dd的制造方法是通过激光束lb切割对象基板10而形成显示面板dp的方法。
95.图5是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的流程图。图6是具体示出沿计算出的照射图案在对象基板上照射激光束的步骤的流程图。图7是示出根据图5的显示装置的制造方法照射到激光束的对象基板的平面图。图8是示出根据一实施例的镜部的驱动过程的图。图9是示出根据一实施例的激光束的目标瞄准点的移动的图。图10是示出在基于根据一实施例的显示装置的制造方法照射激光束时的根据时间的激光束的目标瞄准点的位置的图表。图11是图10的a区域的放大图。图12是示出在基于根据一实施例的显示装置的制造方法来照射的激光束摇摆时，根据位置的激光束的目标瞄准点的移动速度的图表。
96.参照图5至图12，根据一实施例的显示装置的制造方法可以包括如下步骤：准备激光装置(s10)；向控制部提供切割线的形状、激光束的单位顺行距离及按每个单位区域的激光束lb的扫描次数(s20)；向控制部提供从平台编码器收集的平台的位置信息(s30)；通过控制部计算激光束照射图案(s40)；以及根据计算出的照射图案向对象基板上照射激光束(s50)。
97.在准备激光装置的步骤(s10)中，激光装置是参照图3及图4而在上文中描述的激光装置(参照图3的“1”)。因此，在本步骤中省略对此的追加的说明。
98.在执行准备激光装置的步骤(s10)之后，可以执行向控制部80提供切割线的形状、激光束的单位顺行距离及每个单位区域的激光束的扫描次数的步骤(s20)。
99.如上所述，切割线cl可以是对象基板10被激光束lb照射而切割的线。切割线cl的形状可以与参照图1所述的显示面板dp的形状相同。
100.激光束lb的目标瞄准点可以借由扫描仪(参照图3的“50”)及平台(参照图3的“20”)的操作而大致地沿切割线cl移动。激光束lb的目标瞄准点也可以形成于超出切割线cl的区域，然而对激光束lb的目标瞄准点超出切割线cl的区域而言，遮板53被关闭而可以不被激光束lb照射。
101.例如，激光束lb的目标瞄准点可以从对象基板10上的第一瞄准起始点sp1a经过第一切割起始点sp1b及第一切割结束点ep1b而行进至第一瞄准结束点ep1a。第一切割起始点sp1b与第一切割结束点ep1b之间的区域作为进行激光束lb的照射的加工区域pa，可以位于切割线cl内。第一瞄准起始点sp1a与第一切割起始点sp1b之间的区域及第一切割结束点ep1b与第一瞄准结束点ep1a之间的区域作为激光束lb被遮板53阻挡而不会照射到对象基板10上的非加工区域npa，可以位于切割线cl外侧。非加工区域npa可以是用于在第一切割起始点sp1b与第一切割结束点ep1b之间的区域使每个单位区域的激光束lb扫描次数均匀的区域。对加工区域pa及非加工区域npa的详细说明将后述。
102.如上所述，激光束lb的目标瞄准点可以反复进行顺行及逆行而移动。在激光束lb的目标瞄准点从第一瞄准起始点sp1a行进到第一瞄准结束点ep1a时，可以从激光提供部40
连续地发出激光束lb。
103.由第一切割起始点sp1b及第一切割结束点ep1b而形成的边可以是显示面板dp的第一短边(参照图1的“ss1”)。第一切割起始点sp1b及第一切割结束点ep1b可以位于第一瞄准起始点sp1a与第一瞄准结束点ep1a之间。
104.激光束lb可以从对象基板10上的第一切割起始点sp1b照射至第一切割结束点ep1b。对第一瞄准起始点sp1a与第一切割起始点sp1b之间的区域及第一切割结束点ep1b与第一瞄准结束点ep1a之间的区域而言，当激光束lb的目标瞄准点经过该区域时，遮板53被关闭而可以不被激光束lb照射。然而，在此情况下，也可以从激光提供部40连续地发出激光束lb。然而并不局限于此，对第一瞄准起始点sp1a与第一切割起始点sp1b之间的区域及第一切割结束点ep1b与第一瞄准结束点ep1a之间的区域而言，由于其位于切割线cl外侧，从而当激光束lb的目标瞄准点经过该区域时，遮板53被开放，从而可以被激光束lb照射。
105.并且，激光束lb的目标瞄准点可以从对象基板10上的第二起始点sp2a经过第二切割起始点sp2b及第二切割结束点ep2b而行进至第二结束点ep2a。第二起始点sp2a与第二切割起始点sp2b之间的区域可以位于闭合曲线形状的切割线cl外侧，第二切割结束点ep2b与第二结束点ep2a之间的区域可以位于闭合曲线形状的切割线cl的内侧。如上所述，激光束lb的目标瞄准点可以反复进行顺行及逆行而行进。在激光束lb的目标瞄准点从第二起始点sp2a行进到第二结束点ep2a时，可以从激光提供部40连续地发出激光束lb。
106.由第二切割起始点sp2b及第二切割结束点ep2b而形成的边可以是显示面板dp的第二短边(参照图1的“ss2”)。第二切割起始点sp2b及第二切割结束点ep2b可以位于第二起始点sp2a与第二结束点ep2a之间。
107.第二切割起始点sp2b与第二切割结束点ep2b之间的区域作为加工区域pa，当激光束lb的目标瞄准点经过该区域时，遮板53被开放，从而可以被激光束lb照射。第二起始点sp2a与第二切割起始点sp2b之间的区域及第二切割结束点ep2b与第二结束点ep2a之间的区域作为非加工区域npa，当激光束lb的目标瞄准点经过该区域时，遮板53被关闭而可以不被激光束lb照射。然而，在此情况下，也可以从激光提供部40连续地发出激光束lb。然而并不局限于此，对第二起始点sp2a与第二切割起始点sp2b之间的区域而言，由于其位于切割线cl外侧，从而当激光束lb的目标瞄准点经过该区域时，遮板53被开放，从而也可以被激光束lb照射。在此情况下，同样地，由于第二切割结束点ep2b与第二结束点ep2a之间的区域位于切割线cl内侧，从而当激光束lb的目标瞄准点经过该区域时，遮板53可以必须被关闭。
108.在激光束lb照射工艺中，激光束lb可以借由镜部51而摆动，据此，激光束lb的目标瞄准点可以反复进行顺行及逆行。激光束lb的目标瞄准点可以具有预定的摆动宽度ws而摆动。当激光束lb的目标瞄准点顺行及逆行时，可以伴随以恒定速度移动的匀速运动um和移动速度变化的加减速运动am。
109.当激光束lb的目标瞄准点进行匀速运动um时，遮板53可以被开放而使激光束lb照射到对象基板10上。当激光束lb的目标瞄准点进行加减速运动am时，遮板53可以被关闭而不向对象基板10上照射激光束lb。然而，在此情况下，也可以从激光提供部40连续地发出激光束lb。
110.切割工艺可以在激光束lb摆动的同时使平台20和/或扫描仪50移动而执行。例如，激光束lb的目标瞄准点可以反复进行沿第一方向dr1移动的顺行和沿第二方向dr2移动的
逆行。与此同时，可以伴随平台20的沿第二方向dr2的移动和/或扫描仪50的沿第一方向dr1的移动。
111.当激光束lb摆动一次时，激光束lb的目标瞄准点的单位顺行距离w1可以与激光束lb的目标瞄准点的摆动宽度ws和在激光束lb摆动一次的期间内平台20或扫描仪50移动的距离相加的值相同。当激光束lb摆动一次时，激光束lb的目标瞄准点的单位逆行距离w2可以与从激光束lb的目标瞄准点的摆动宽度ws减去在激光束lb摆动一次的期间内平台20或扫描仪50移动的距离的值相同。激光束lb的目标瞄准点的单位逆行距离w2可以小于激光束lb的目标瞄准点的单位顺行距离w1。
112.在激光束lb摆动的同时，平台20和/或扫描仪50可以移动，从而激光束lb的目标瞄准点在每次顺行和逆行时可以沿顺行方向移动单位移动距离w3。激光束lb的目标瞄准点的单位移动距离w3可以与从激光束lb的目标瞄准点的单位顺行距离w1减去激光束lb的目标瞄准点的单位逆行距离w2的值相同。
113.激光束lb的单位顺行距离d1可以表示在各匀速运动um中激光束lb顺行的距离。激光束lb的单位逆行距离d2可以表示在各匀速运动um中激光束lb逆行的距离。激光束lb的单位顺行距离d1可大于单位逆行距离d2。在激光束lb的单位匀速运动um中，激光束lb的单位顺行距离d1及单位逆行距离d2可以恒定，然而并不局限于此。
114.每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)可以表示激光束lb在切割线cl内的任意地点扫描的次数。每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)可以在整个切割线cl上具有均匀的值。即，在激光束lb照射工艺中，可以向切割线cl整体施加均匀的能量。
115.激光束lb的单位顺行距离d1及每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)可以根据对象基板10而不同地设定。例如，可以根据对象基板10的形状、厚度、材质而不同地设定，然而并不局限于此。
116.若激光束lb的单位顺行距离d1及每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)被确定，则可以借由下述式1来确定激光束lb的单位移动距离d3。
117.[式1]
[0118][0119]
激光束lb的单位移动距离d3可以表示激光束lb每次通过镜部51摆动时的照射在对象基板10上的激光束lb所移动的距离。激光束lb的单位移动距离d3可以与激光束lb的单位顺行距离d1和单位逆行距离d2之差相同。因此，若激光束lb的单位顺行距离d1及每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)被确定，则激光束lb的单位逆行距离d2及单位移动距离d3可以一同被确定。
[0120]
在执行向控制部提供切割线的形状、激光束的单位顺行距离及每个单位区域的激光束扫描次数的步骤(s20)之后，可以执行向控制部提供从平台编码器收集的平台的位置信息的步骤(s30)。如在上文中参照图3及图4所述，平台编码器90可以提供平台20的位置。对象基板10在平台20内安置的位置可以大致恒定。因此，通过提供平台20的位置信息，可以向控制部80提供布置于平台20上的对象基板10的具体位置。
[0121]
向控制部提供从平台编码器收集的平台的位置信息的步骤(s30)也可以在向控制部提供切割线的形状、激光束的单位顺行距离及每个单位区域的激光束扫描次数的步骤
(s20)之前执行。即，向控制部提供从平台编码器收集的平台的位置信息的步骤(s30)和向控制部提供切割线的形状、激光束的单位顺行距离及每个单位区域的激光束扫描次数的步骤(s20)的执行顺序并不受限制。
[0122]
在执行向控制部提供从平台编码器收集的平台的位置信息的步骤(s30)之后，可以执行通过控制部计算激光束的照射图案的步骤(s40)。激光束lb的照射图案可以通过在之前步骤中接收的切割线cl的形状、激光束lb的单位顺行距离d1、每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)及从平台编码器90收集的平台20的位置等的信息来计算。例如，计算出的激光束lb的照射图案可以包括借由上述式1而计算的激光束lb的单位移动距离d3、通过从平台编码器90接收的平台20的位置信息来确定的第一瞄准起始点sp1a和第一瞄准结束点ep1a、按照位置的遮板53操作与否及激光束转换点等。即，若计算出激光束lb的照射图案，则可以确定照射到对象基板10上的激光束lb的切割线cl、第一瞄准起始点sp1a、第一瞄准结束点ep1a、激光束转换点、激光束lb的单位顺行距离d1、激光束lb的单位移动距离d3及激光束lb的目标瞄准点的移动速度等。
[0123]
在执行通过控制部计算激光束的照射图案的步骤(s40)之后，可以执行根据计算出的照射图案向对象基板上照射激光束的步骤(s50)。激光束lb可以沿切割线cl而以每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)恒定的方式照射。并且，当激光束lb的目标瞄准点沿切割线cl移动时，激光束lb的单位顺行距离d1、激光束lb的单位逆行距离d2及激光束lb的单位移动距离d3可以维持恒定。
[0124]
根据计算出的照射图案向对象基板上照射激光束的步骤(s50)可以包括如下步骤：向扫描仪照射激光束，并且根据计算出的激光束照射图案而对扫描仪及平台中的至少一个进行操作来移动激光束的目标瞄准点(s51)；判断激光束是否照射在加工区域内(s52)；在激光束照射在加工区域内的情况下，判断激光束的移动速度是否为基准速度以上(s53)；以及在激光束未照射在加工区域内的情况下，判断激光束是否照射在从第一切割结束点超出激光束的单位逆行距离以上的区域(s54)。
[0125]
激光提供部40可以向扫描仪50照射激光束lb。激光束lb的目标瞄准点可以借由扫描仪50在光照射区间lbd内进行匀速运动um。与此同时，在光照射区间lbd进行匀速运动um的激光束lb可以移动扫描仪50及平台20中的至少一个而使激光束lb的目标瞄准点沿切割线cl移动。即，光照射区间lbd的目标瞄准点可以沿切割线cl移动。在移动激光束lb的目标瞄准点的同时，可以经过实时的若干判断过程来操作遮板53。若遮板53被开放，则激光束lb可以从激光提供部40进入扫描仪50，若遮板53被关闭，则可以阻挡激光束lb从激光提供部40进入扫描仪50。
[0126]
以下，在根据计算出的照射图案向对象基板上照射激光束的步骤(s50)中，针对在激光束lb的目标瞄准点的移动的同时为了确定遮板53的开闭与否而执行的若干判断步骤进行说明。首先，可以执行判断激光束的目标瞄准点是否形成于加工区域内的步骤(s52)。加工区域pa可以表示借由激光束lb而对对象基板10进行切割的区域。加工区域pa可以表示沿切割线cl形成的第一切割起始点sp1b与第一切割结束点ep1b之间的区域。非加工区域npa可以表示加工区域pa以外的区域。
[0127]
激光束lb可以在目标瞄准点到达第一切割起始点sp1b之前开始从激光提供部40朝扫描仪50照射。即，激光束lb可以从目标瞄准点位于第一切割起始点sp1b之前的非加工
区域npa时开始朝扫描仪50发出。激光束lb可以借由镜部51的摆动而摆动。镜部51可以从静止状态通过摆动速度的加速而改变为匀速摆动的状态。若镜部51匀速摆动，则激光束lb的目标瞄准点可以以具有预定的摆动宽度ws的方式反复进行顺行及逆行。镜部51的加速可以通过平台20及扫描仪50中的至少一个移动来执行，然而并不局限于此，也可以在平台20及扫描仪50处于静止的状态下执行。镜部51开始匀速运动um的地点可以是第一瞄准起始点sp1a。若激光束lb的目标瞄准点到达第一瞄准起始点sp1a，则激光束lb可以从激光提供部40发出。然而并不局限于此，激光束lb也可以在激光束lb的目标瞄准点到达第一瞄准起始点sp1a之前发出。通过确保第一瞄准起始点sp1a与第一切割起始点sp1b之间的区域，从而可以在第一切割起始点sp1b与第一切割结束点ep1b之间的加工区域pa中使每个单位区域的被激光束lb照射的扫描次数相同。
[0128]
并且，即使是在目标瞄准点经过第一切割结束点ep1b之后，激光束lb也可以朝扫描仪50发射，直到激光束lb的目标瞄准点位于第一瞄准结束点ep1a为止。即，当目标瞄准点位于第一切割结束点ep1b与第一瞄准结束点ep1a之间的非加工区域npa时也可以继续发出激光束lb。第一切割结束点ep1b与第一瞄准结束点ep1a之间的距离可以与激光束lb的单位逆行距离d2相同，然而并不局限于此。
[0129]
当在加工区域pa内的任意地点划出平行于时间轴的第一虚拟线il1时，第一虚拟线il1与图表交叉的交叉点的数量可以恒定。因此，在加工区域pa内的任意地点，每个单位区域的激光束lb扫描次数(n)可以均匀。例如，在图10中，在加工区域pa内的任意地点划出的第一虚拟线il1与图表交叉的交叉点的数量可以为5个(n＝5)，第二虚拟线il2与图表交叉的交叉点的数量可以为小于上述数量的3个。
[0130]
在图10的图表中，将在遮板53被关闭的情况下的激光束lb的目标瞄准点利用虚线图示，将在遮板53被开放的情况下的激光束lb的目标瞄准点利用实线图示。在激光束lb的目标瞄准点位于非加工区域npa的情况下，遮板53可以被关闭而阻挡激光束lb照射到对象基板10。并且，可以判断激光束lb的目标瞄准点是否形成于从第一切割结束点ep1b超出激光束lb的单位逆行距离d2以上的区域，在激光束lb的目标瞄准点形成于从第一切割结束点ep1b超出激光束lb的单位逆行距离d2以上的区域的情况下，激光加工可以结束。从第一切割结束点ep1b超出激光束lb的单位逆行距离d2的地点可以是激光加工结束的第一瞄准结束点ep1a。
[0131]
遮板53可以防止对象基板10在加工区域pa以外的区域被加工。即，在激光束lb的目标瞄准点位于第一瞄准起始点sp1a与第一切割起始点sp1b之间的情况以及激光束lb的目标瞄准点位于第一切割结束点ep1b与第一瞄准结束点ep1a之间的情况下，遮板53可以被关闭。
[0132]
在激光束lb的目标瞄准点位于加工区域pa内的情况下，可以执行判断激光束的目标瞄准点的移动速度是否为基准速度以上的步骤(s53)。在激光束lb的目标瞄准点的移动速度为基准速度以上的情况下，遮板53可以被开放而使激光束lb照射到对象基板10上。在激光束lb的目标瞄准点的移动速度小于基准速度的情况下，遮板53可以被关闭而使激光束lb不会照射到对象基板10上。基准速度可以小于或等于激光束lb在进行匀速运动um时的速度。通过此步骤(s53)，当激光束lb的目标瞄准点进行加减速运动am时，遮板53可以被关闭而使激光束lb不会照射到对象基板10上。因此，激光束lb可以在对象基板10上沿切割线cl
以均匀的速度移动而照射。
[0133]
以下，针对当激光束lb的目标瞄准点移动时反复进行的单位顺行及逆行进行说明。激光束lb的目标瞄准点可以从第一瞄准转换点tp1朝第二瞄准转换点tp2顺行之后在第二瞄准转换点tp2改变方向而朝第三瞄准转换点tp3逆行。
[0134]
当激光束lb的目标瞄准点顺行时，第一激光束转换点up1及第二激光束转换点up2可以位于第一瞄准转换点tp1与第二瞄准转换点tp2之间。第一激光束转换点up1及第二激光束转换点up2可以是激光束lb的目标瞄准点以匀速顺行的第一匀速区间um1的一侧与另一侧边界点。在第一激光束转换点up1与第二激光束转换点up2之间的第一匀速区间um1，遮板53可以被开放而使激光束lb照射到对象基板10上。第一匀速区间um1可以是激光束lb的目标瞄准点以基准速度以上的速度进行匀速移动的区间。
[0135]
在第一瞄准转换点tp1与第一激光束转换点up1之间可以形成有第一加减速区间am1，在第一加减速区间am1，遮板53可以被关闭而使激光束lb不会照射到对象基板10上。第一加减速区间am1可以是激光束lb的目标瞄准点的移动速度增加的区间。
[0136]
在第二激光束转换点up2与第二瞄准转换点tp2之间可以形成有第二加减速区间am2，在第二加减速区间am2，遮板53可以被关闭而使激光束lb不会照射到对象基板10上。第二加减速区间am2可以是激光束lb的目标瞄准点的移动速度减小的区间。
[0137]
第三激光束转换点up3及第四激光束转换点up4可以位于第二瞄准转换点tp2与第三瞄准转换点tp3之间。第三激光束转换点up3及第四激光束转换点up4可以是激光束lb的目标瞄准点以匀速逆行的第二匀速区间um2的另一侧与一侧的边界。在第三激光束转换点up3与第四激光束转换点up4之间的第二匀速区间um2，遮板53可以被开放而使激光束lb照射到对象基板10上。第二匀速区间um2可以是激光束lb的目标瞄准点以基准速度以上的速度进行匀速移动的区间。
[0138]
第三激光束转换点up3可以位于与第二激光束转换点up2相同的地点，然而并不局限于此。第四激光束转换点up4可以位于激光束lb的顺行方向上的第一激光束转换点up1的一侧。第一激光束转换点up1与第四激光束转换点up4之间的间距可以与激光束lb的单位移动距离d3相同。
[0139]
在第二瞄准转换点tp2与第三激光束转换点up3之间可以形成有第三加减速区间am3，在第三加减速区间am3，遮板53可以被关闭而使激光束lb不会照射到对象基板10上。第三加减速区间am3可以是激光束lb的目标瞄准点的移动速度减小并且移动速度的绝对值增加的区间。
[0140]
在第四激光束转换点up4与第三瞄准转换点tp3之间可以形成有第四加减速区间am4，在第四加减速区间am4，遮板53可以被关闭而使激光束lb不会照射到对象基板10上。第四加减速区间am4可以是激光束lb的目标瞄准点的移动速度增加并且移动速度的绝对值增加的区间。
[0141]
基于根据一实施例的激光装置1及显示装置dd的制造方法，可以沿切割线cl而按区域提供均匀的能量。具体地，激光束lb可以沿切割线cl进行往复运动而照射。在激光束lb的目标瞄准点位于非加工区域npa的情况下，遮板53可以被关闭。并且，当激光束lb进行往复运动时，在激光束lb的目标瞄准点的加减速区间am1、am2、am3、am4，遮板53可以被关闭，并且仅在匀速区间um1、um2，遮板53可以被开放而使激光束lb在对象基板10上匀速移动并
照射。因此，切割线cl内的每单位区域的激光束lb扫描次数(n)可以均匀，从而可以在切割线cl内按区域提供均匀的能量。
[0142]
并且，对通过激光提供部40本身的打开、关闭的激光束lb的控制而言，由于激光提供部40的驱动所需的时间，可能很难实现激光束lb的实时且及时的控制，然而基于根据一实施例的激光装置1及显示装置dd的制造方法，则在从激光提供部40连续地发出激光束lb的状态下通过遮板53的开闭与否来控制激光束lb，从而能够实时且及时地控制激光束lb的照射与否。
[0143]
以上参照附图说明了本发明的实施例，但在本发明所属技术领域中具有普通知识的人员可以理解的是，可以在不改变本发明的其技术思想或者必要特征的情况下以其他具体形态实施。因此，以上记载的实施例应当理解为在所有方面均为示例性的，而不是限定性的。