单轴气缸压片组合装置的制作方法

1.本实用新型涉及料件压合技术领域，具体的是一种单轴气缸压片组合装置。


背景技术：

2.本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息，而不构成现有技术。
3.晶元是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其在生产加工工艺中，通常需要在其表面进行滴蜡工序、在蜡凝固后对晶元表面需要进行压合工序，以使得蜡体表面相对晶元表面相对平整，且具有预设厚度。
4.现有技术中，通常采用大型压合板统一对多个晶元进行同步下压。由于每个晶元表面蜡体厚度不一，这样大型压合板在下压过程中会部分晶元先被挤压，这样造成应力集中现象较为明显，另外由于支撑晶元的支撑板的安装误差，大型压合板的安装及运动误差等因素的存在，均会对上述的相对平整和预设厚度造成影响。
5.应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。


技术实现要素：

6.为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种单轴气缸压片组合装置，其利用多个下压单元能够对单个料件独立下压，且利用调节部能够补偿误差因素，进而保证每个料件的均具有较好的平整度和预设厚度。
7.本技术实施例公开了：一种单轴气缸压片组合装置，包括承载单元、多个下压单元，
8.所述承载单元用于承载多个镀蜡的料件；
9.所述下压单元与所述料件一一对应设置，所述下压单元在朝向所述承载单元移动过程中挤压所述料件；
10.所述下压单元包括驱动部、调节部及压头部，所述调节部用于连接驱动部和压头部；
11.所述调节部包括调心球轴承和锁紧件；
12.所述调心球轴承固定设置在所述驱动部的输出端上，所述调心球轴承能够在挤压平面内摆动；
13.所述压头部固定设置在所述调心球轴承上且朝向料件设置；
14.所述锁紧件固定设置在驱动部上，所述锁紧件能够在所述调心球轴承摆动到位时锁紧所述调心球轴承。
15.进一步地，所述调节部还包括压盖件和弹性件，所述压盖件的截面呈u字型，所述压盖件的内侧壁开设有供所述调心球轴承相对两侧嵌设的定位槽，所述压盖件的开口处与所述驱动部的输出轴之间形成有安装间隙，所述弹性件过盈填充在所述安装间隙中。
16.进一步地，所述压盖件包括第一压盖和第二压盖，所述第一压盖和第一压盖可拆卸连接，所述第一压盖能够与所述调心球轴承的第一外圈侧壁抵接设置，所述第二压盖能够与所述调心球轴承的第二外圈侧壁抵接设置。
17.进一步地，包括能够与所述调心球轴承的内圈侧壁抵接的固定件，所述固定件锁紧在所述驱动部的输出轴端面上。
18.进一步地，所述锁紧件包括固定设置在所述驱动部上的本体部、设置在所述本体部上的锁紧部，所述锁紧部的数量设置有多个，多个所述锁紧部独立运行且均能够与压盖件抵接设置。
19.进一步地，多个所述锁紧部绕所述驱动部周向设置。
20.进一步地，所述压头部固定设置在所述压盖件上且朝向料件设置，所述压头部采用弹性材料制成。
21.进一步地，多个所述下压单元均可独立运行。
22.进一步地，所述驱动部包括驱动本体、驱动轴及驱动基座，所述驱动轴上固定设置有导向件，所述导向件沿所述驱动轴的轴线方向延伸且穿过所述驱动基座。
23.进一步地，所述导向件包括固定设置在所述驱动基座上的导向套、穿设在所述导向套内且一端与所述输出轴固定设置的导向杆。
24.借由以上的技术方案，本实用新型的有益效果如下：利用多个下压单元能够对单个料件独立下压，且利用调节部能够补偿误差因素，进而保证每个料件的均具有较好的平整度和预设厚度。
25.为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1是本实用新型实施例中的整体装置结构示意图；
28.图2是本实用新型实施例中的一个下压单元的结构示意图；
29.图3是本实用新型实施例中的一个下压单元的剖视图；
30.图4是图3中a处的结构放大图。
31.以上附图的附图标记：1、承载单元；2、下压单元；3、驱动部；4、调节部；5、压头部；6、导向套；7、导向杆；8、料件；31、驱动本体；32、驱动轴；33、驱动基座；41、调心球轴承；42、锁紧件；43、弹性件；44、第一压盖；45、第二压盖；46、固定件。
具体实施方式
32.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
34.结合图1至图4所示，本实施例中公开了一种单轴气缸压片组合装置，包括承载单元1、多个下压单元2。所述承载单元1用于承载多个镀蜡的料件8，所述下压单元2与所述料件8一一对应设置，所述下压单元2在朝向所述承载单元1移动过程中挤压所述料件8。
35.本实施方式中，所述料件8可以为晶元，所述承载单元1包括位于水平面内的承载板，多个所述晶元放置在所述承载板上。其中为了提高承载效率，多个所述晶元呈环状阵列分布在所述承载板上，该晶元的数量为六个。
36.着重结合图2所示，每个所述下压单元2均包括驱动部3、调节部4及压头部5。所述驱动部3可以为气缸件，该驱动部3包括驱动本体31、驱动轴32及驱动基座33。其中所述驱动轴32沿上下方向延伸，所述驱动轴32的下端固定有连接轴，并且通过所述连接轴固定所述调节部4。所述驱动基座33位于所述驱动本体31的下端面处，以能够将所述驱动本体31进行有效固定。值得注意的是，本实施例中所述下压单元2的数量为六个，每个所述下压单元2均可独立运行。上述的设置方式中，采用多个独立下压的驱动部3替换原先整体下压，完全避免了相互的两个晶元之间产生的应力集中问题，进而保证每个晶元之间下压互不干涉性，提高下压的质量和合格率。
37.结合图3和图4本实施方式中，所述调节部4包括调心球轴承41和锁紧件42。通过该调节部4的设置，主旨是使得所述压头部5与蜡体接触的工作面与所述晶元的表面平行设置。
38.其中，所述调心球轴承41包括内圈、外圈以及钢珠，其中所述内圈固定在所述连接轴的下端处。具体地，所述连接轴的下端处设置有向外凸起的台阶部，所述内圈能够套设在所述连接轴上，且所述内圈的上侧能够与所述台阶部抵接。所述内圈的下侧设置有固定件46，具体地为固定板，所述固定板能够与所述内圈的下侧抵接，且所述固定板在于所述内圈抵接后被锁紧在所述连接轴上。通过上述的设置方式，实现了所述内圈相对所述连接轴固定设置，所述外圈相对水平面摆动设置。值得注意的是，该处所述外圈的摆动量，能够补偿安装误差及运动误差等，实现对晶元表面的蜡体进行精准挤压，以得到晶元表面所要求预设厚度的蜡体。
39.着重参照图4所示，本实施方式中，所述调节部4还包括压盖件和弹性件43。具体地，所述压盖件包括第一压盖44和第二压盖45，所述第一压盖44位于所述第二压盖45的上方。优选地，所述第一压盖44和第二压盖45扣合后能够形成容置所述调心球轴承41的容腔，所述第一压盖44和第二压盖45扣合后被锁紧为一体，整体呈u字型。
40.具体地，所述第一压盖44的下端面上形成有凸起部，该凸起部向下延伸，以能够与所述调心球轴承41的外圈上侧壁抵接。所述第二下盖整体也呈u字形，所述第二压盖45的内侧壁上设置有台阶面，所述调心球轴承41的外圈下侧面能够与该台阶面抵接。通过上述的设置方式，能够使得所述第一压盖44合第二压盖45在扣合锁紧工序后，相对所述调心球轴承41的外圈固定设置。
41.其中值得注意的是，所述第一压盖44套设在所述连接轴上，且所述第一压盖44的
内侧壁与所述连接轴之间形成有安装间隙。上述的弹性件43为橡胶材质制成的密封圈，该密封圈过盈填充在所述安装间隙中。
42.上述的设置方式，由于所述调心球轴承41的外圈能够相对水平面摆动设置，而所述压盖件是固定设置在所述外圈上的，所以该压盖件能够跟随所述外圈相对水平面同步摆动。在保证压盖件微量摆动中不会受到所述连接轴的机械干涉，同时又要保持所述调心球轴承41位于密封空间内，通过上述的密封圈设置则能够有效满足。具体地，在摆动过程中，所述密封圈在所述第一压盖44的挤压下能够被压缩，该被压缩量则能够补偿所述第一压盖44摆动的所需量。
43.本实施方式中，所述压头部5固定设置在所述调心球轴承41上且朝向料件8设置。具体地，为了所述调心球轴承41具有密封的工作环境，以延长使用寿命，又由于所述压盖件与所述调心球轴承41的外圈是固定设置的，因此本实施方式中，所述压头部5被转移至所述第二压盖45上，并被固定在所述第一压盖44的下端面上，以朝向待被挤压的晶元设置。优选地，所述压头部5采用弹性材料制成。
44.本实施方式中，所述锁紧件42固定设置在驱动部3上，所述锁紧件42能够在所述调心球轴承41摆动到位时锁紧所述调心球轴承41，主旨是在对晶元表面的蜡体挤压过程中，能够保证所述压头部5的稳定性。
45.其中一种实施方式中，所述锁紧件42包括固定设置在所述连接轴上的本体部、设置在所述本体部上的锁紧部。具体地，所述本体部可以为位于水平面内的板材。所述锁紧部的数量设置有多个，所述锁紧部可以为调平螺钉。其中值得注意的是，多个所述调平螺钉绕所述连接轴的轴线周向均布设置，每个所述调平螺钉均能够朝上所述第一压盖44移动，且移动的距离可以不同，最终实现每个所述调平螺钉均能够与所述第一压盖44的上表面抵接。
46.上述的设置方式，是在下压动作之前即调好了压头部5的位置。原因是在加工过程中，所述承载板位置信息和安装信息已经固定，也就意味着每个位置承载的晶元信息也是一直的，未知的则是晶元表面蜡体的厚度。调节好的所述压头部5所在的平面是与晶元所在的平面相互平行的，进而能够保证被压后的晶元表面的蜡体处处等高。该种方式操作简便，效率高且成本低。
47.本实施方式中，该装置还包括导向件，所述导向件能够对所述压头部5的向下运动及挤压动作进行导向，以更好地保证对蜡体挤压的精准性。
48.其中一种实施例中，所述导向件包括导向套6和导向杆7。其中所述导向套6固定设置在所述驱动基座33上且沿上下方向延伸。所述导向杆7也沿上下方向延伸。其中所述导向杆7的上端能够穿过所述导向套6，且在所述压头部5上下运动的过程中，所述导向杆7始终与所述导向套6滑动连接。所述导向杆7的下端通过连接件与所述连接轴固定连接，进而有效实现导向性能。
49.本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。