半导体轨道装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体检测装置技术领域，具体涉及半导体轨道装置。


背景技术：

2.半导体产业是当今相当重要、占比也高的产业类别，为了提高制程质量，在产线中每一个环节的检测流程则扮演关键性的角色，以半导体基板为例，常需要压平基板之后以相机等设备进行检测，有利于尽早过滤不良品，进而提高良率，但此类压平机构结构较为复杂且兼容性差，需不断调节相机位置，需要改进。


技术实现要素：

3.为解决上述至少一个技术缺陷，本实用新型提供了如下技术方案：
4.本申请文件公开半导体轨道装置，包括支撑架，皮带输送机构，所述支撑架上设置皮带输送机构、定位板及顶升机构，所述顶升机构包括板体、升降单元，其中升降单元固定在支撑架上且其伸缩端与上方的板体固定，所述支撑架上、板体正上方的位置处固定定位板，皮带输送机构包括皮带及张紧机构，皮带自板体与定位板之间经过。
5.本半导体轨道式运输装置以皮带运输半导体基板，移动至定位板下方时，以升降单元向上移动板体同步使皮带上基板上升至抵接定位板，之后以外设的检测设备检测即可，以调节基板位置的方式替代常规相机高度调节的结构，通用性强。
6.进一步，所述板体上设置多个导向滑块且导向滑块与支撑架上固定的导轨滑动配合，以导向滑块与导轨配合提高移动精确性。
7.进一步，所述板体前后端部正面位置固定限位板，且限位板端部自板体的顶面凸出，以限位板凸出的部分配合支撑架限制皮带或其上的基板脱落。
8.进一步，所述定位板前后端对应的支撑架上、皮带上方的位置处设置导向板，且所述板体前后端对应的支撑架上、皮带下方的位置处设置托板，以导向板与托板配合提高皮带移动的稳定性。
9.进一步，所述皮带输送机构还包括主动轮、从动轮，位于下方的皮带部分对应的支撑架上设置主动轮、多个从动轮及张紧机构，其中主动轮上方间隔设置从动轮一、从动轮二，皮带依次绕行从动轮一、主动轮、从动轮二，张紧机构上方位置处间隔设置从动轮三、从动轮四，皮带绕经从动轮二后依次自从动轮三、张紧机构中带轮、从动轮四绕行，所述板体位于皮带围成的空间内中部位置，增加张紧机构以调节皮带的张力，并使皮带留有活动余量，有助升降单元稳定举升皮带以及促使皮带稳定运输基板。
10.进一步，所述张紧机构还包括导向轴、套筒、安装架及弹簧，套筒套在导向轴上且导向轴的顶端、底端分别固定端帽、底板，套筒上方导向轴上套弹簧，套筒与安装架固定，安装架上设置带轮，在弹簧的弹力作用下促使带轮下移，以调节皮带张力。
11.进一步，所述升降单元为气压缸或液压缸，简单实用，成本低。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
13.1、本实用新型重新设计半导体轨道装置，可适用多种尺寸的基板，通用性强。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1是实施例1中本半导体轨道装置的正视结构图；
16.图2是本半导体轨道装置的整体结构图；
17.图3是张紧机构结构图；
18.其中，附图标记为：
19.1、支撑架；2、顶升机构；3、皮带输送机构；4、张紧机构；11、托板；12、导向板；13、槽；21、升降单元；22、板体；23、导轨；24、导向滑块；25、定位板；26、连接件；27、l型板；31、皮带；32、主动轮；33、从动轮；34、从动轮一；35、从动轮二；36、从动轮三；37、从动轮四；41、导向轴；42、端帽；43、弹簧；44、套筒；45、带轮；46、底板；47、安装架。
具体实施方式
20.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。
21.实施例1
22.如图1所示，本半导体轨道装置包括板状支撑架1，皮带输送机构3，支撑架的正面安装皮带输送机构、定位板及顶升机构2，其中顶升机构2包括矩形板体22、升降单元21，其中升降单元选用气缸或液压缸，并固定在支撑架1上，且伸缩端与上方的板体固定。支撑架上、板体正上方的位置处固定定位板25，板体正面底部两端位置相对安装两个导向滑块24，支撑架上对应所开的槽13内固定导轨23，导向滑块与导轨滑动配合。板体正面顶部两端位置相对固定限位板，限位板顶端自板体顶面凸出，以与板体背面对应的支撑架限制皮带脱落。
23.对于升降单元21的伸缩端与上方的板体22固定方式，如图2示，l型板27的纵端与板体固定，横端边侧开缺口，升降单元的伸缩端端部固定连接件26，连接件中间轴径小于两端以直接卡入缺口中。
24.皮带输送机构包括皮带31、主动轮32、从动轮33及张紧机构4，顶升机构2中板体22的周侧安装从动轮以使皮带围绕板体运行，如图1所示，上方的皮带部分水平运行，皮带自定位板及板体之间经过，位于下方的皮带部分对应的支撑架上安装主动轮32、多个从动轮及张紧机构4，主动轮32由支撑架1上安装的电机驱动，其中主动轮32上方间隔安装从动轮一34、从动轮二35，皮带依次绕行从动轮一34、主动轮32、从动轮二35，张紧机构上方位置处间隔安装从动轮三36、从动轮四37，皮带31绕经从动轮二35后依次自从动轮三36、张紧机构4中带轮45、从动轮四37绕行。张紧机构4包括带轮45、导向轴41、套筒44、安装架47及弹簧43，如图3所示，套筒44套在导向轴上且导向轴的顶端、底端分别固定端帽42、底板46，通过底板固定在支撑架上，套筒上方导向轴41上套弹簧43，套筒44与安装架47固定，安装架上安装带轮45，支撑架1上开槽，导向轴41底部的底板46固定在槽内，槽璧上开腰孔，安装架上柱
体自腰孔伸入与套筒固定，在弹簧的弹力作用下促使带轮下移以调节皮带张力。
25.如图1、图2所示，定位板25前后端对应的支撑架上、皮带上方的位置处固定导向板12，导向板沿皮带移动方向延伸，且板体22前后端对应的支撑架上、皮带下方的位置处固定托板11，托板沿皮带移动方向延伸，以导向板与托板配合提高皮带移动的稳定性。
26.在张紧机构作用下调节皮带的张力，并使皮带留有活动余量，有助升降单元稳定举升皮带。使用时，以皮带运输半导体基板，移动至定位板下方时，以升降单元向上移动板体同步使皮带上基板上升至抵接定位板底面，之后以外设的检测设备检测即可。
27.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.半导体轨道装置，包括支撑架，皮带输送机构，其特征在于，所述支撑架上设置皮带输送机构、定位板及顶升机构，所述顶升机构包括板体、升降单元，其中升降单元固定在支撑架上且其伸缩端与上方的板体固定，所述支撑架上、板体正上方的位置处固定定位板，皮带输送机构包括皮带及张紧机构，皮带自板体与定位板之间经过。2.如权利要求1所述的半导体轨道装置，其特征在于：所述板体上设置多个导向滑块且导向滑块与支撑架上固定的导轨滑动配合。3.如权利要求1所述的半导体轨道装置，其特征在于：所述板体前后端部正面位置固定限位板，且限位板端部自板体的顶面凸出。4.如权利要求1所述的半导体轨道装置，其特征在于：所述定位板前后端对应的支撑架上、皮带上方的位置处设置导向板，且所述板体前后端对应的支撑架上、皮带下方的位置处设置托板。5.如权利要求1所述的半导体轨道装置，其特征在于：所述皮带输送机构还包括主动轮、从动轮，位于下方的皮带部分对应的支撑架上设置主动轮、多个从动轮及张紧机构，其中主动轮上方间隔设置从动轮一、从动轮二，皮带依次绕行从动轮一、主动轮、从动轮二，张紧机构上方位置处间隔设置从动轮三、从动轮四，皮带绕经从动轮二后依次自从动轮三、张紧机构中带轮、从动轮四绕行，所述板体位于皮带围成的空间内中部位置。6.如权利要求5所述的半导体轨道装置，其特征在于：所述张紧机构还包括导向轴、套筒、安装架及弹簧，套筒套在导向轴上且导向轴的顶端、底端分别固定端帽、底板，套筒上方导向轴上套弹簧，套筒与安装架固定，安装架上设置带轮。7.如权利要求1所述的半导体轨道装置，其特征在于：所述升降单元为气压缸或液压缸。

技术总结
本实用新型公开了半导体轨道装置，包括支撑架，皮带输送机构，所述支撑架上设置皮带输送机构、定位板及顶升机构，所述顶升机构包括板体、升降单元，其中升降单元固定在支撑架上且其伸缩端与上方的板体固定，所述支撑架上、板体正上方的位置处固定定位板，皮带输送机构包括皮带及张紧机构，皮带自板体与定位板之间经过，本半导体轨道式运输装置以皮带运输半导体基板，移动至定位板下方时，以升降单元向上移动板体同步使皮带上基板上升至抵接定位板，之后以外设的检测设备检测即可，以调节基板位置的方式替代常规相机高度调节的结构，通用性强。强。强。


技术研发人员：忻超
受保护的技术使用者：宁波轻蜓视觉科技有限公司
技术研发日：2021.09.07
技术公布日：2022/1/11