一种电镀槽体的连接结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种电镀槽体的连接结构，属于槽体结构技术领域。


背景技术：

2.在半导体产品的制程中，往往需要对产品进行电镀工艺。电镀槽是电镀设备中最基础的设备，主要功能是装置溶液，用于镀锌、镀铜、镀镍、镀金等。 电镀槽的使用方式一般按手工操作的工艺流程生产线直线排列。由于现有的电镀槽体的进出口是独立的不连接的，各自有产品进出口导向装置，但是这些导向进出口容易发生磨损等问题，从而造成半导体产品尤其是qfn产品经常出现package划痕、变色、卡料等不良。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，提供一种减少产品划痕、卡料、变色等不良问题的电镀槽体的连接结构。
4.本实用新型是这样实现的：
5.本实用新型提供了. 一种电镀槽体的结构，其包括若干个一字排开的电镀槽单体、槽体连接件、桥架连接结构，所述相邻的电镀槽单体通过槽体连接件连接，
6.所述前一电镀槽单体的内部后端位置设置左右对称伸出的挡液板ⅰ，形成开口ⅰ，所述后一电镀槽单体的内部前端位置设置左右对称伸出的挡液板ⅱ，形成开口ⅱ，
7.所述桥架连接结构呈h形槽体，平行槽体连接件镶嵌在前一电镀槽单体的开口ⅰ位置和后一电镀槽单体的开口ⅱ位置处，其包括前端的桥墩ⅰ、中间的一字通道、后端的桥墩ⅱ，所述前端的桥墩ⅰ与前一电镀槽单体的挡液板ⅰ卡接或焊接，所述后端的桥墩ⅱ与后一电镀槽单体的挡液板ⅱ卡接或焊接，所述桥架连接结构的深度大于产品的高度且小于电镀槽单体的深度，所述桥架连接结构的宽度大于产品的宽度且小于电镀槽单体的宽度；
8.所述前后依次连接的电镀槽单体及其挡液板ⅰ和/或挡液板ⅱ与桥架连接结构形成电镀槽内腔盛装电镀溶液。
9.可选地，所述槽体连接件将前一电镀槽单体的后挡板和后一电镀槽单体的前挡板连接。
10.可选地，所述桥架连接结构的前端的桥墩ⅰ、中间的一字通道、后端的桥墩ⅱ为一体式结构。
11.可选地，还包括传送钢带，所述传送钢带架设在桥架连接结构的上方中央，并延展至所有电镀槽单体的上方。
12.有益效果
13.本实用新型提出的电镀槽体的连接结构，采用一体式桥架连接结构连接相邻的电镀槽体，避免了产品出现package划痕、变色、卡料等不良问题，提高了产品的品质。
附图说明
14.图1为本实用新型一种电镀槽体的连接结构的俯视示意图；
15.图2为图1的使用状态图；
16.图中：
17.电镀槽体ⅰ20
18.挡液板ⅰ11
19.电镀槽体ⅱ20
20.挡液板ⅱ21
21.槽体连接件30
22.桥架连接结构70
23.桥墩ⅰ71
24.一字通道72
25.桥墩ⅱ73
26.传送钢带9。
具体实施方式
27.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。为了易于说明，可以使用空间相对术语(诸如“在
…
下方”、“之下”、“下部”、“在
…
上方”、“上部”等)以描述图中所示一个元件或部件与另一个元件或部件的关系。除图中所示的定向之外，空间相对术语还包括使用或操作中设备的不同定向。装置可以以其他方式定向旋转90度或处于其他定向，本文所使用的空间相对描述可因此进行类似的解释。
28.如图1和图2所示，为本实用新型实施例的一种电镀槽体的连接结构的示意图及其使用状态示意图。
29.本实用新型一种电镀槽体的连接结构，其包括若干个一字排开的电镀槽单体、槽体连接件30、桥架连接结构70，所述相邻的电镀槽单体通过槽体连接件30连接。一般地，电镀槽单体呈长条状，其两侧短边分别为前挡板和后挡板。如图1所示，电镀槽单体包括电镀槽外槽和设置在电镀槽外槽之内的电镀槽内腔，电镀槽内腔内盛装电镀溶液。
30.槽体连接件30将前一电镀槽单体10的后挡板13和后一电镀槽单体20的前挡板23焊接或卡接，如图1所示，设产品从左往右运行，右边的电镀槽单体10在前，左边的电镀槽单体20在后。
31.所述前一电镀槽单体10的内部后端设置左右对称伸出的挡液板ⅰ11，所述左右挡液板ⅰ11形成开口ⅰ，
32.所述后一电镀槽单体20的内部前端位置设置左右对称伸出的挡液板ⅱ21，所述左右挡液板ⅱ21形成开口ⅱ，
33.所述桥架连接结构70呈h形槽体，平行槽体连接件30镶嵌在前一电镀槽单体10的开口ⅰ位置和后一电镀槽单体20的开口ⅱ位置，其包括前端的桥墩ⅰ71、中间的一字通道72、后端的桥墩ⅱ73，优选地，所述桥架连接结构70的前端的桥墩ⅰ71、中间的一字通道72、后端的桥墩ⅱ73为一体式结构。
34.桥架连接结构70前端的桥墩ⅰ71与前一电镀槽单体的挡液板ⅰ11卡接或焊接，桥架
连接结构70后端的桥墩ⅱ73与后一电镀槽单体的挡液板ⅱ21卡接或焊接，连接稳定可靠。
35.所有前后依次连接的电镀槽单体及其挡液板ⅰ和/或挡液板ⅱ与桥架连接结构70形成电镀槽内腔，形成的电镀槽内腔内盛装电镀溶液，无电镀溶液渗漏。所述桥架连接结构70的深度大于产品的高度且小于电镀槽单体的深度，所述桥架连接结构70的宽度大于产品的宽度且小于电镀槽单体的宽度，使产品可以有充裕的空间穿过桥架连接结构70的一字通道72。
36.所述传送钢带90架设在桥架连接结构70的上方中央，并延展至所有电镀槽单体的上方。传送钢带90夹带产品从电镀槽体内从左往右穿过，进行充分的电镀工艺处理，没有划痕、变色、卡料等不良。
37.以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步地详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种电镀槽体的结构，其特征在于，其包括若干个一字排开的电镀槽单体、槽体连接件（30）、桥架连接结构（70），所述相邻的电镀槽单体通过槽体连接件（30）连接，所述前一电镀槽单体的内部后端位置设置左右对称伸出的挡液板ⅰ，形成开口ⅰ，所述后一电镀槽单体的内部前端位置设置左右对称伸出的挡液板ⅱ，形成开口ⅱ，所述桥架连接结构（70）呈h形槽体，平行槽体连接件（30）镶嵌在前一电镀槽单体的开口ⅰ位置和后一电镀槽单体的开口ⅱ位置处，其包括前端的桥墩ⅰ（71）、中间的一字通道（72）、后端的桥墩ⅱ（73），所述前端的桥墩ⅰ（71）与前一电镀槽单体的挡液板ⅰ（11）卡接或焊接，所述后端的桥墩ⅱ（73）与后一电镀槽单体的挡液板ⅱ（21）卡接或焊接，所述桥架连接结构（70）的深度大于产品的高度且小于电镀槽单体的深度，所述桥架连接结构（70）的宽度大于产品的宽度且小于电镀槽单体的宽度；所述前后依次连接的电镀槽单体及其挡液板ⅰ和/或挡液板ⅱ与桥架连接结构（70）形成电镀槽内腔盛装电镀溶液。2.根据权利要求1所述的电镀槽体的结构，其特征在于，所述槽体连接件（30）将前一电镀槽单体的后挡板和后一电镀槽单体的前挡板连接。3.根据权利要求1所述的电镀槽体的结构，其特征在于，所述桥架连接结构（70）的前端的桥墩ⅰ（71）、中间的一字通道（72）、后端的桥墩ⅱ（73）为一体式结构。4.根据权利要求1或2或3所述的电镀槽体的结构，其特征在于，还包括传送钢带（90），所述传送钢带（90）架设在桥架连接结构（70）的上方中央，并延展至所有电镀槽单体的上方。

技术总结
本实用新型提供了一种电镀槽体的连接结构，属于槽体结构技术领域。其包括若干个一字排开的电镀槽单体，所述相邻的电镀槽单体通过槽体连接件（30）连接，所述桥架连接结构（70）呈H形槽体，平行槽体连接件（30）镶嵌在前一电镀槽单体的开口Ⅰ位置和后一电镀槽单体的开口Ⅱ位置处，其前端的桥墩Ⅰ（71）与前一电镀槽单体的挡液板Ⅰ（11）卡接或焊接，所述后端的桥墩Ⅱ（73）与后一电镀槽单体的挡液板Ⅱ（21）卡接或焊接，所述前后依次连接的电镀槽单体及其挡液板Ⅰ和/或挡液板Ⅱ与桥架连接结构（70）形成电镀槽内腔盛装电镀溶液。本实用新型避免了产品出现划痕、变色、卡料等不良问题，提高了产品的品质。品质。品质。


技术研发人员：张小青 吴凤明 顾国强 薛文华
受保护的技术使用者：星科金朋半导体（江阴）有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2022/1/11