一种具有回收结构的晶圆片清洗机的制作方法

1.本发明属于晶圆片清洗领域，具体是涉及一种具有回收结构的晶圆片清洗机。


背景技术：

2.硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，抛光后，晶圆片要通过一系列清洗槽的清洗，这一过程是为去除表面颗粒、金属划痕和残留物，一般的清洗机对于清洗剂的使用浪费严重，导致成本增加。


技术实现要素：

3.本发明的目的就在于提供一种具有回收结构的晶圆片清洗机。
4.本发明所采用的技术方案如下：
5.一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，所述下箱体上方设置有所述支撑板，所述支撑板上方设置有所述上壳；所述清洗机构包括散热架、驱动电机、变速箱、旋转盘、定位块、液体防溅盘、收集仓、收集软管、放置盘、步进电机、旋转柱、连接头、支撑臂、喷头，所述底部支架上方设置有所述散热架，所述散热架上方设置有所述驱动电机，所述驱动电机上方设置有所述变速箱，所述变速箱上方设置有所述旋转盘，所述旋转盘上方设置有所述定位块，所述旋转盘外部设置有所述液体防溅盘，所述液体防溅盘下方设置有所述收集仓，所述收集仓下方设置有所述收集软管，所述液体防溅盘一侧设置有所述放置盘，所述液体防溅盘前部设置有所述旋转柱，所述旋转柱下方设置有所述步进电机，所述旋转柱上方设置有所述连接头，所述连接头后部设置有所述支撑臂，所述支撑臂下方设置有所述喷头；所述液体回收机构包括过滤箱、过滤网、排泄阀、第一泵体、第一抽取管道、密闭蒸馏仓、冷凝管、纯净液体储藏箱、第二泵体、第二抽取管道、加热丝，所述底部支架上方设置有所述过滤箱，所述过滤箱内部设置有所述第一泵体和所述过滤网，所述过滤箱一侧设置有所述排泄阀，所述第一泵体上方设置有所述第一抽取管道,所述第一抽取管道一侧设置有所述密闭蒸馏仓，所述密闭蒸馏仓内部设置有所述加热丝，所述密闭蒸馏仓一侧设置有所述冷凝管，所述冷凝管下方设置有所述纯净液体储藏箱，所述纯净液体储藏箱内部设置有所述第二泵体，所述第二泵体上方设
置有所述第二抽取管道。
6.优选地：所述抓取机构包括第一伺服电机、第一滚珠丝杆、第一光轴、底座、气推杆、抓取头，所述上壳内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆，所述第一滚珠丝杆一侧设置有所述第一伺服电机，所述第一滚珠丝杆后部设置有所述第一光轴，所述第一光轴和所述第一滚珠丝杆外部设置有所述底座，所述底座下方设置有所述气推杆，所述气推杆下方设置有所述抓取头。
7.如此设置，所述第一伺服电机带动所述第一滚珠丝杆旋转。
8.优选地：所述抓取机构包括第一伺服电机、第一滚珠丝杆、第一光轴、底座、抓取头、移动座、第二伺服电机、第二滚珠丝杆、第二光轴，所述上壳内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆，所述第一滚珠丝杆一侧设置有所述第一伺服电机，所述第一滚珠丝杆后部设置有所述第一光轴，所述第一光轴和所述第一滚珠丝杆外部设置有所述底座，所述底座一侧设置有所述第二滚珠丝杆，所述第二滚珠丝杆后部设置有所述第二光轴，所述第二滚珠丝杆下方设置有所述第二伺服电机，所述第二滚珠丝杆和所述第二光轴外部设置有所述移动座，所述移动座下方设置有所述抓取头。
9.如此设置，所述第一伺服电机带动所述第一滚珠丝杆旋转，所述第二伺服电机带动所述第二滚珠丝杆旋转。
10.优选地：所述支撑柱与所述连接板焊接连接，所述底部支架与所述连接板和所述底部支架焊接连接，所述仓门与所述下箱体合页连接，所述把手与所述仓门焊接连接，所述支撑板与所述下箱体和所述上壳焊接连接。
11.如此设置，便于组装拆卸。
12.优选地：所述散热架与所述底部支架和所述驱动电机螺栓连接，所述驱动电机和所述旋转盘均与所述变速箱齿啮合连接，所述定位块与所述旋转盘焊接连接，所述液体防溅盘、所述收集仓、所述放置盘均与所述支撑板焊接连接，所述收集软管与所述收集仓螺纹连接，所述步进电机与所述支撑板螺栓连接，所述旋转柱与所述步进电机联轴器连接，所述连接头与所述旋转柱焊接连接，所述支撑臂与所述连接头焊接连接，所述连接头与所述第二抽取管道轴承连接；所述喷头与所述支撑臂螺纹连接。
13.如此设置，所述驱动电机带动所述旋转盘旋转。
14.优选地：所述支撑板与所述收集仓之间设置有圆形孔。
15.如此设置，便于液体流至所述收集仓。
16.优选地：所述过滤箱与所述底部支架焊接连接，所述过滤网与所述过滤箱螺栓连接，所述排泄阀与所述过滤箱螺纹连接，所述第一泵体与所述第一抽取管道螺纹连接，所述第一抽取管道与所述密闭蒸馏仓焊接连接，所述加热丝与所述密闭蒸馏仓螺钉连接，所述密闭蒸馏仓与所述冷凝管焊接连接，所述纯净液体储藏箱和所述密闭蒸馏仓均与所述连接板焊接连接，所述第二泵体与所述第二抽取管道螺纹连接。
17.如此设置，所述加热丝对液体蒸馏提纯。
18.优选地：所述第一泵体放置于所述过滤箱内，所述第二泵体放置于所述纯净液体储藏箱内，所述冷凝管为铜管。
19.如此设置，易于水蒸气冷凝。
20.优选地：所述第一伺服电机与所述上壳螺栓连接，所述第一滚珠丝杆与所述第一
伺服电机联轴器连接，所述第一滚珠丝杆与所述上壳轴承连接，所述第一光轴与所述上壳焊接连接，所述底座与所述第一滚珠丝杆螺纹连接，所述底座与所述第一光轴滑动连接，所述气推杆与所述底座螺栓连接，所述抓取头与所述气推杆螺纹连接。
21.如此设置，便于所述第一伺服电机安装拆卸。
22.优选地：所述第一滚珠丝杆与所述第一伺服电机联轴器连接，所述第一滚珠丝杆与所述上壳轴承连接，所述第一光轴与所述上壳焊接连接，所述底座与所述第一滚珠丝杆螺纹连接，所述底座与所述第一光轴滑动连接，所述第二滚珠丝杆与所述底座轴承连接，所述第二滚珠丝杆与所述第二伺服电机联轴器连接，所述第二伺服电机与所述底座螺栓连接，所述第二光轴与所述底座焊接连接，所述移动座与所述第二滚珠丝杆螺纹连接，所述移动座与所述第二光轴滑动连接，所述抓取头与所述移动座螺纹连接。
23.如此设置，便于所述第一伺服电机和所述第二伺服电机的安装拆卸。
24.本发明的有益效果为：利用清洗机构对晶体进行清洗，利用液体回收机构对废液进行回收再利用，利用抓取机构对晶体抓取避免二次污染，减少清洗剂的使用，降低成本，提高效率。
附图说明
25.附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
26.图1是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的实施例1结构示意图；
27.图2是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的实施例1立体示意；
28.图3是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的俯视图；
29.图4是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的实施例1局部剖视图；
30.图5是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的旋转盘、定位块示意图；
31.图6是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的连接头示意图；
32.图7是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的加热丝示意图；
33.图8是本发明所述一种具有回收结构的晶圆片清洗机的实施例2局部示意图。
34.附图标记说明如下：
35.1、机壳；2、清洗机构；3、液体回收机构；4、抓取机构；101、支撑柱；102、连接板；103、底部支架；104、下箱体；105、仓门；106、把手；107、支撑板；108、上壳；201、散热架；202、驱动电机；203、变速箱；204、旋转盘；205、定位块；206、液体防溅盘；207、收集仓；208、收集软管；209、放置盘；210、步进电机；211、旋转柱；212、连接头；213、支撑臂；214、喷头；301、过滤箱；302、过滤网；303、排泄阀；304、第一泵体；305、第一抽取管道；306、密闭蒸馏仓；307、冷凝管；308、纯净液体储藏箱；309、第二泵体；310、第二抽取管道；311、加热丝；401、第一伺服电机；402、第一滚珠丝杆；403、第一光轴；404、底座；405、气推杆；406、抓取头；407、移动座；408、第二伺服电机；409、第二滚珠丝杆；410、第二光轴。
具体实施方式
36.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为
基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
37.下面通过实施例结合附图进一步说明本发明。
38.实施例1
39.如图1-图7所示，一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳1、清洗机构2、液体回收机构3、抓取机构4，机壳1上方设置有液体回收机构3，液体回收机构3上方设置有清洗机构2，清洗机构2上方设置有抓取机构4；机壳1包括支撑柱101、连接板102、底部支架103、下箱体104、仓门105、把手106、支撑板107、上壳108，支撑柱101上方设置有连接板102,支撑柱101一侧设置有底部支架103，底部支架103上方设置有下箱体104，下箱体104前部设置有仓门105、仓门105一侧设置有把手106，下箱体104上方设置有支撑板107，支撑板107上方设置有上壳108；清洗机构2包括散热架201、驱动电机202、变速箱203、旋转盘204、定位块205、液体防溅盘206、收集仓207、收集软管208、放置盘209、步进电机210、旋转柱211、连接头212、支撑臂213、喷头214，底部支架103上方设置有散热架201，散热架201上方设置有驱动电机202，驱动电机202上方设置有变速箱203，变速箱203上方设置有旋转盘204，旋转盘204上方设置有定位块205，旋转盘204外部设置有液体防溅盘206，液体防溅盘206下方设置有收集仓207，收集仓207下方设置有收集软管208，液体防溅盘206一侧设置有放置盘209，液体防溅盘206前部设置有旋转柱211，旋转柱211下方设置有步进电机210，旋转柱211上方设置有连接头212，连接头212后部设置有支撑臂213，支撑臂213下方设置有喷头214；液体回收机构3包括过滤箱301、过滤网302、排泄阀303、第一泵体304、第一抽取管道305、密闭蒸馏仓306、冷凝管307、纯净液体储藏箱308、第二泵体309、第二抽取管道310、加热丝311，底部支架103上方设置有过滤箱301，过滤箱301内部设置有第一泵体304和过滤网302，过滤箱301一侧设置有排泄阀303，第一泵体304上方设置有第一抽取管道305,第一抽取管道305一侧设置有密闭蒸馏仓306，密闭蒸馏仓306内部设置有加热丝311，密闭蒸馏仓306一侧设置有冷凝管307，冷凝管307下方设置有纯净液体储藏箱308，纯净液体储藏箱308内部设置有第二泵体309，第二泵体309上方设置有第二抽取管道310，抓取机构4包括第一伺服电机401、第一滚珠丝杆402、第一光轴403、底座404、气推杆405、抓取头406，上壳108内部并位于上方设置有第一滚珠丝杆402，第一滚珠丝杆402一侧设置有第一伺服电机401，第一滚珠丝杆402后部设置有第一光轴403，第一光轴403和第一滚珠丝杆402外部设置有底座404，底座404下方设置有气推杆405，气推杆405下方设置有抓取头406。
40.优选地：支撑柱101与连接板102焊接连接，底部支架103与连接板102和底部支架103焊接连接，仓门105与下箱体104合页连接，把手106与仓门105焊接连接，支撑板107与下箱体104和上壳108焊接连接；散热架201与底部支架103和驱动电机202螺栓连接，驱动电机202和旋转盘204均与变速箱203齿啮合连接，定位块205与旋转盘204焊接连接，液体防溅盘206、收集仓207、放置盘209均与支撑板107焊接连接，收集软管208与收集仓207螺纹连接，步进电机210与支撑板107螺栓连接，旋转柱211与步进电机210联轴器连接，连接头212与旋转柱211焊接连接，支撑臂213与连接头212焊接连接，连接头212与第二抽取管道310轴承连接，喷头214与支撑臂213螺纹连接；支撑板107与收集仓207之间设置有圆形孔；过滤箱301与底部支架103焊接连接，过滤网302与过滤箱301螺栓连接，排泄阀303与过滤箱301螺纹连
接，第一泵体304与第一抽取管道305螺纹连接，第一抽取管道305与密闭蒸馏仓306焊接连接，加热丝311与密闭蒸馏仓306螺钉连接，密闭蒸馏仓306与冷凝管307焊接连接，纯净液体储藏箱308和密闭蒸馏仓306均与连接板102焊接连接，第二泵体309与第二抽取管道310螺纹连接；第一泵体304放置于过滤箱301内，第二泵体309放置于纯净液体储藏箱308内，冷凝管307为铜管；第一伺服电机401与上壳108螺栓连接，第一滚珠丝杆402与第一伺服电机401联轴器连接，第一滚珠丝杆402与上壳108轴承连接，第一光轴403与上壳108焊接连接，底座404与第一滚珠丝杆402螺纹连接，底座404与第一光轴403滑动连接，气推杆405与底座404螺栓连接，抓取头406与气推杆405螺纹连接。
41.实施例2
42.如图5-图8所示，本实施例与实施例1的区别在于：抓取机构4包括第一伺服电机401、第一滚珠丝杆402、第一光轴403、底座404、抓取头406、移动座407、第二伺服电机408、第二滚珠丝杆409、第二光轴410，上壳108内部并位于上方设置有第一滚珠丝杆402，第一滚珠丝杆402一侧设置有第一伺服电机401，第一滚珠丝杆402后部设置有第一光轴403，第一光轴403和第一滚珠丝杆402外部设置有底座404，底座404一侧设置有第二滚珠丝杆409，第二滚珠丝杆409后部设置有第二光轴410，第二滚珠丝杆409下方设置有第二伺服电机408，第二滚珠丝杆409和第二光轴410外部设置有移动座407，移动座407下方设置有抓取头406；第一滚珠丝杆402与第一伺服电机401联轴器连接，第一滚珠丝杆402与上壳108轴承连接，第一光轴403与上壳108焊接连接，底座404与第一滚珠丝杆402螺纹连接，底座404与第一光轴403滑动连接，第二滚珠丝杆409与底座404轴承连接，第二滚珠丝杆409与第二伺服电机408联轴器连接，第二伺服电机408与底座404螺栓连接，第二光轴410与底座404焊接连接，移动座407与第二滚珠丝杆409螺纹连接，移动座407与第二光轴410滑动连接，抓取头406与移动座407螺纹连接。
43.工作原理：将晶片放在旋转盘204启动驱动电机202，启动喷头214对零件进行旋转清洗，过程中使用过的清洗剂通过收集仓207和收集软管208流至过滤箱301内，通过过滤网302进行初步过滤，通过第一泵体304抽至密闭蒸馏仓306，通过加热丝311进行加热蒸馏，通过冷凝管307进行冷凝，液体流至纯净液体储藏箱308，通过第二泵体309抽至喷头214，循环使用，当清洗完后，启动第一伺服电机401和气推杆405使抓取头406将晶片抓取至放置盘209，或者启动第一伺服电机401和第二伺服电机408带动移动座407使抓取头406将晶片抓取至放置盘209。
44.以上结合附图对本发明的优选实施方式做了详细说明，但本发明并不限于上述实施方式，在所属技术领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。