一种具有回收结构的晶圆片清洗机的制作方法

技术特征：
1.一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：包括机壳(1)、清洗机构(2)、液体回收机构(3)、抓取机构(4)，所述机壳(1)上方设置有所述液体回收机构(3)，所述液体回收机构(3)上方设置有所述清洗机构(2)，所述清洗机构(2)上方设置有所述抓取机构(4)；所述机壳(1)包括支撑柱(101)、连接板(102)、底部支架(103)、下箱体(104)、仓门(105)、把手(106)、支撑板(107)、上壳(108)，所述支撑柱(101)上方设置有所述连接板(102),所述支撑柱(101)一侧设置有所述底部支架(103)，所述底部支架(103)上方设置有所述下箱体(104)，所述下箱体(104)前部设置有所述仓门(105)、所述仓门(105)一侧设置有所述把手(106)，所述下箱体(104)上方设置有所述支撑板(107)，所述支撑板(107)上方设置有所述上壳(108)；所述清洗机构(2)包括散热架(201)、驱动电机(202)、变速箱(203)、旋转盘(204)、定位块(205)、液体防溅盘(206)、收集仓(207)、收集软管(208)、放置盘(209)、步进电机(210)、旋转柱(211)、连接头(212)、支撑臂(213)、喷头(214)，所述底部支架(103)上方设置有所述散热架(201)，所述散热架(201)上方设置有所述驱动电机(202)，所述驱动电机(202)上方设置有所述变速箱(203)，所述变速箱(203)上方设置有所述旋转盘(204)，所述旋转盘(204)上方设置有所述定位块(205)，所述旋转盘(204)外部设置有所述液体防溅盘(206)，所述液体防溅盘(206)下方设置有所述收集仓(207)，所述收集仓(207)下方设置有所述收集软管(208)，所述液体防溅盘(206)一侧设置有所述放置盘(209)，所述液体防溅盘(206)前部设置有所述旋转柱(211)，所述旋转柱(211)下方设置有所述步进电机(210)，所述旋转柱(211)上方设置有所述连接头(212)，所述连接头(212)后部设置有所述支撑臂(213)，所述支撑臂(213)下方设置有所述喷头(214)；所述液体回收机构(3)包括过滤箱(301)、过滤网(302)、排泄阀(303)、第一泵体(304)、第一抽取管道(305)、密闭蒸馏仓(306)、冷凝管(307)、纯净液体储藏箱(308)、第二泵体(309)、第二抽取管道(310)、加热丝(311)，所述底部支架(103)上方设置有所述过滤箱(301)，所述过滤箱(301)内部设置有所述第一泵体(304)和所述过滤网(302)，所述过滤箱(301)一侧设置有所述排泄阀(303)，所述第一泵体(304)上方设置有所述第一抽取管道(305),所述第一抽取管道(305)一侧设置有所述密闭蒸馏仓(306)，所述密闭蒸馏仓(306)内部设置有所述加热丝(311)，所述密闭蒸馏仓(306)一侧设置有所述冷凝管(307)，所述冷凝管(307)下方设置有所述纯净液体储藏箱(308)，所述纯净液体储藏箱(308)内部设置有所述第二泵体(309)，所述第二泵体(309)上方设置有所述第二抽取管道(310)。2.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述抓取机构(4)包括第一伺服电机(401)、第一滚珠丝杆(402)、第一光轴(403)、底座(404)、气推杆(405)、抓取头(406)，所述上壳(108)内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆(402)，所述第一滚珠丝杆(402)一侧设置有所述第一伺服电机(401)，所述第一滚珠丝杆(402)后部设置有所述第一光轴(403)，所述第一光轴(403)和所述第一滚珠丝杆(402)外部设置有所述底座(404)，所述底座(404)下方设置有所述气推杆(405)，所述气推杆(405)下方设置有所述抓取头(406)。3.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述抓取机构(4)包括第一伺服电机(401)、第一滚珠丝杆(402)、第一光轴(403)、底座(404)、抓取头(406)、移动座(407)、第二伺服电机(408)、第二滚珠丝杆(409)、第二光轴(410)，所述上壳
(108)内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆(402)，所述第一滚珠丝杆(402)一侧设置有所述第一伺服电机(401)，所述第一滚珠丝杆(402)后部设置有所述第一光轴(403)，所述第一光轴(403)和所述第一滚珠丝杆(402)外部设置有所述底座(404)，所述底座(404)一侧设置有所述第二滚珠丝杆(409)，所述第二滚珠丝杆(409)后部设置有所述第二光轴(410)，所述第二滚珠丝杆(409)下方设置有所述第二伺服电机(408)，所述第二滚珠丝杆(409)和所述第二光轴(410)外部设置有所述移动座(407)，所述移动座(407)下方设置有所述抓取头(406)。4.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述支撑柱(101)与所述连接板(102)焊接连接，所述底部支架(103)与所述连接板(102)和所述底部支架(103)焊接连接，所述仓门(105)与所述下箱体(104)合页连接，所述把手(106)与所述仓门(105)焊接连接，所述支撑板(107)与所述下箱体(104)和所述上壳(108)焊接连接。5.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述散热架(201)与所述底部支架(103)和所述驱动电机(202)螺栓连接，所述驱动电机(202)和所述旋转盘(204)均与所述变速箱(203)齿啮合连接，所述定位块(205)与所述旋转盘(204)焊接连接，所述液体防溅盘(206)、所述收集仓(207)、所述放置盘(209)均与所述支撑板(107)焊接连接，所述收集软管(208)与所述收集仓(207)螺纹连接，所述步进电机(210)与所述支撑板(107)螺栓连接，所述旋转柱(211)与所述步进电机(210)联轴器连接，所述连接头(212)与所述旋转柱(211)焊接连接，所述支撑臂(213)与所述连接头(212)焊接连接，所述连接头(212)与所述第二抽取管道(310)轴承连接，所述喷头(214)与所述支撑臂(213)螺纹连接。6.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述支撑板(107)与所述收集仓(207)之间设置有圆形孔。7.根据权利要求1所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述过滤箱(301)与所述底部支架(103)焊接连接，所述过滤网(302)与所述过滤箱(301)螺栓连接，所述排泄阀(303)与所述过滤箱(301)螺纹连接，所述第一泵体(304)与所述第一抽取管道(305)螺纹连接，所述第一抽取管道(305)与所述密闭蒸馏仓(306)焊接连接，所述加热丝(311)与所述密闭蒸馏仓(306)螺钉连接，所述密闭蒸馏仓(306)与所述冷凝管(307)焊接连接，所述纯净液体储藏箱(308)和所述密闭蒸馏仓(306)均与所述连接板(102)焊接连接，所述第二泵体(309)与所述第二抽取管道(310)螺纹连接。8.根据权利要求7所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述第一泵体(304)放置于所述过滤箱(301)内，所述第二泵体(309)放置于所述纯净液体储藏箱(308)内，所述冷凝管(307)为铜管。9.根据权利要求2所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述第一伺服电机(401)与所述上壳(108)螺栓连接，所述第一滚珠丝杆(402)与所述第一伺服电机(401)联轴器连接，所述第一滚珠丝杆(402)与所述上壳(108)轴承连接，所述第一光轴(403)与所述上壳(108)焊接连接，所述底座(404)与所述第一滚珠丝杆(402)螺纹连接，所述底座(404)与所述第一光轴(403)滑动连接，所述气推杆(405)与所述底座(404)螺栓连接，所述抓取头(406)与所述气推杆(405)螺纹连接。10.根据权利要求3所述的一种具有回收结构的晶圆片清洗机，其特征在于：所述第一滚珠丝杆(402)与所述第一伺服电机(401)联轴器连接，所述第一滚珠丝杆(402)与所述上
壳(108)轴承连接，所述第一光轴(403)与所述上壳(108)焊接连接，所述底座(404)与所述第一滚珠丝杆(402)螺纹连接，所述底座(404)与所述第一光轴(403)滑动连接，所述第二滚珠丝杆(409)与所述底座(404)轴承连接，所述第二滚珠丝杆(409)与所述第二伺服电机(408)联轴器连接，所述第二伺服电机(408)与所述底座(404)螺栓连接，所述第二光轴(410)与所述底座(404)焊接连接，所述移动座(407)与所述第二滚珠丝杆(409)螺纹连接，所述移动座(407)与所述第二光轴(410)滑动连接，所述抓取头(406)与所述移动座(407)螺纹连接。

技术总结
本发明属于晶圆片清洗领域，具体为一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，利用清洗机构对晶体进行清洗，利用液体回收机构对废液进行回收再利用，利用抓取机构对晶体抓取避免二次污染，减少清洗剂的使用，降低成本，提高效率。提高效率。提高效率。


技术研发人员：钱诚 李刚 童建
受保护的技术使用者：无锡亚电智能装备有限公司
技术研发日：2021.09.06
技术公布日：2022/1/7