投影系统中的光学失真减少的制作方法

技术特征：
1.一种投影系统，包括：照明系统，所述照明系统配置为产生照明辐射，以产生将被投影到所述投影系统的图像平面上的物体的图像，该照明系统包括：场省略照明聚光器，该场省略照明聚光器配置为从辐射源接收所述照明辐射并提供图案化的照明辐射光束，以产生所述物体的图像，其中，所述图案化的照明辐射光束包括省略的照明部分，该省略的照明部分对应于布置在所述投影系统的光路中的屋脊棱镜的脊线。2.根据权利要求1所述的投影系统，其中：所述场省略照明聚光器包括场阻挡光圈插件，该场阻挡光圈插件配置为阻挡接收到的照明辐射的一部分，以产生图案化的照明光束。3.根据权利要求2所述的投影系统，其中：所述照明系统包括场阻挡光圈插件选择机构，该场阻挡光圈插件选择机构配置为选择多个场阻挡光圈插件中的一个，以便为所述图案化的照明辐射光束选择特定的光束形状。4.根据权利要求2所述的投影系统，其中：用于所述图案化的照明辐射光束的光束形状包括菱形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。5.根据权利要求2所述的投影系统，其中：所述图案化的照明辐射光束的光束形状包括六边形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。6.根据权利要求1所述的投影系统，其中：所述场省略照明聚光器包括场省略光管，该场省略光管配置为在空间上转向接收到的照明辐射，以产生图案化的照明光束。7.根据权利要求6所述的投影系统，其中：所述场省略光管包括第一三角形的光管室和第二三角形的光管室，所述第一三角形的光管室和第二三角形的光管室在所述场省略照明聚光器的入口处彼此相邻，并且在所述场省略照明聚光器的出口处彼此相隔，以形成所述图案化的照明辐射光束的省略照明部分。8.根据权利要求6所述的投影系统，其中：所述图案化的照明辐射光束的光束形状包括菱形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。9.根据权利要求6所述的投影系统，其中：所述图案化的照明辐射光束的光束形状包括六边形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。10.根据权利要求6所述的投影系统，其中：所述照明系统包括场省略照明聚光器选择机构，该场省略照明聚光器选择机构配置为选择多个场省略照明聚光器中的一个，以便为所述图案化的照明辐射光束选择特定的光束形状。11.一种投影系统，包括：照明系统，所述照明系统配置为产生照明辐射，以产生将被投影到所述投影系统的图像平面上的物体的图像，所述照明系统包括：多个照明聚光器，所述多个照明聚光器配置为从辐射源接收照明辐射并提供图案化的
照明辐射光束，以产生所述物体的图像；以及聚光器选择机构，所述聚光器选择机构配置为选择所述多个照明聚光器中的一个，以便为所述图案化的照明辐射光束选择特定的光束形状。12.根据权利要求11所述的投影系统，其中：用于所述图案化的照明辐射光束的至少一个特定光束形状包括菱形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。13.根据权利要求11所述的投影系统，其中：用于所述图案化的照明辐射光束的至少一个特定光束形状包括六边形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。14.一种方法，包括：由投影系统的照明系统产生照明辐射，用于产生将被投影到投影系统的图像平面上的物体的图像；由所述照明系统的场省略照明聚光器接收所述照明辐射；由所述场省略照明聚光器提供图案化的照明辐射光束，以产生所述物体的图像，其中，所述图案化的照明辐射光束包括省略的照明部分，该省略的照明部分对应于布置在所述投影系统的光路内的屋脊棱镜的脊线。15.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：由场阻挡光圈插件选择机构选择多个场阻挡光圈插件中的一个，以便为所述图案化的照明辐射光束选择特定的光束形状；以及通过将选择的场阻挡光圈插件插入所述场省略照明聚光器中，将所述选择的场阻挡光圈插件应用于接收到的照明辐射，其中，所述选择的场阻挡光圈插件配置为阻挡所述接收到的照明辐射的一部分，以产生图案化的照明光束。16.根据权利要求14的方法，进一步包括：由场省略照明聚光器选择机构，选择多个场省略照明聚光器中的一个，以便为所述图案化的照明辐射光束选择特定的光束形状；以及通过将选择的场省略照明聚光器置于所述照明辐射的光路中，将所述选择的场省略照明聚光器应用于接收到的照明辐射。17.根据权利要求16所述的方法，其中：所述选择的场省略照明聚光器包括场阻挡光圈插件，该场阻挡光圈插件配置为阻挡接收到的照明辐射的一部分，以产生图案化的照明光束。18.根据权利要求16所述的方法，其中：所述选择的场省略照明聚光器包括场省略光管，该场省略光管配置为在空间上转向所述接收到的照明辐射，以产生图案化的照明光束。19.根据权利要求14所述的方法，其中：用于所述图案化的照明辐射光束的光束形状包括菱形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。20.根据权利要求14所述的方法，其中：所述图案化的照明辐射光束的光束形状包括六边形的外部周边和与所述屋脊棱镜的所述脊线的投影对准的部分省略或完全省略的内部条带。

技术总结
公开了用于扫描投影和/或光刻的投影系统中的光学失真减少的技术。投影系统包括：照明系统，其配置为产生照明辐射，以产生将被投影到所述投影系统的图像平面上的物体的图像。该照明系统包括：场省略照明聚光器，其配置为从辐射源接收所述照明辐射并提供图案化的照明辐射光束，以产生所述物体的所述图像，其中所述图案化的照明辐射光束包括省略的照明部分，该省略的照明部分对应于布置在所述投影系统光路中的屋脊棱镜的脊线。光路中的屋脊棱镜的脊线。光路中的屋脊棱镜的脊线。


技术研发人员：P
受保护的技术使用者：苏斯微科光电系统股份有限公司
技术研发日：2020.03.27
技术公布日：2021/12/31