一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器的制作方法

技术特征：
1.一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，包括：冷却法兰(11)，盖板(12)，石英管(13)，感应线圈(14)和外壳(15)；所述外壳(15)为中空的筒状体，所述冷却法兰(11)和盖板(12)分别安装在所述外壳(15)的相对两端，且相互密封连接；所述石英管(13)与所述外壳(15)同轴的设置在所述外壳(15)内，且所述石英管(13)相对的两端分别与所述冷却法兰(11)和所述盖板(12)密封连接；所述感应线圈(14)套设在所述石英管(13)的外壁上，且所述感应线圈(14)的接线端安装在所述盖板(12)上；所述冷却法兰(11)设置有用于输入冷却液的第一通道(111)；所述外壳(15)远离所述冷却法兰(11)的一端的侧壁上设置有输出所述冷却液的第二通道(151)。2.根据权利要求1所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，沿所述冷却法兰(11)的周向所述第一通道(111)设置有多个。3.根据权利要求2所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述冷却法兰(11)中间位置设置有阶梯通孔(112)；所述阶梯通孔(112)包括：第一部分(1121)和与所述第一部分(1121)同轴设置的第二部分(1122)；所述第一部分(1121)位于所述阶梯通孔(112)靠近所述外壳(15)的一端；所述第二部分(1122)的内径与所述石英管(13)的外径相匹配；所述第一部分(1121)的内径大于所述第二部分(1122)的内径。4.根据权利要求3所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述第一通道(111)的延伸方向与所述第一部分(1121)内侧壁的切线方向一致，且所述第一通道(111)相对的两端分别在所述第一部分(1121)的内侧壁和所述冷却法兰(11)的外侧壁上形成开口。5.根据权利要求4所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述冷却法兰(11)与所述外壳(15)相连接的一侧设置有凸台(113)；所述凸台(113)与所述外壳(15)同轴的嵌合连接，且所述外壳(15)的端部抵靠在所述冷却法兰(11)上。6.根据权利要求5所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述盖板(12)设置有安装通孔(121)，以及用于安装所述感应线圈(14)的接线端的定位孔(122)；所述安装通孔(121)的内径与所述石英管(13)的外径相匹配。7.根据权利要求6所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述感应线圈(14)所采用的导线为中空导线；所述外壳(15)上的所述第二通道(151)与所述感应线圈(14)的一个所述接线端相连通。8.根据权利要求7所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述外壳(15)为透明外壳。9.根据权利要求1至8任一项所述的浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，其特征在于，所述冷却法兰(11)和所述盖板(12)与所述外壳(15)可拆卸地连接；
所述石英管(13)与所述冷却法兰(11)和所述盖板(12)可拆卸地连接。

技术总结
本实用新型涉及一种浸没冷却式感应耦合等离子体发生器，包括：冷却法兰，盖板，石英管，感应线圈和外壳；所述外壳为中空的筒状体，所述冷却法兰和盖板分别安装在所述外壳的相对两端，且相互密封连接；所述石英管与所述外壳同轴的设置在所述外壳内，且所述石英管相对的两端分别与所述冷却法兰和所述盖板密封连接；所述感应线圈套设在所述石英管的外壁上，且所述感应线圈的接线端安装在所述盖板上；所述冷却法兰设置有用于输入冷却液的第一通道；所述外壳远离所述冷却法兰的一端的侧壁上设置有输出所述冷却液的第二通道。本实用新型可通过将冷却液输入至装置内部对感应线圈进行浸没冷却，极大的提高了本实用新型的散热效果。极大的提高了本实用新型的散热效果。极大的提高了本实用新型的散热效果。


技术研发人员：郑鹏 吴建军 张宇 王墨戈 程玉强 车碧轩 李健 欧阳 赵元政 王昊义
受保护的技术使用者：中国人民解放军国防科技大学
技术研发日：2021.07.14
技术公布日：2021/12/17