一种光学组件及其制作方法与流程

技术特征：
1.一种光学组件，包括第一光学件和至少一个第二光学件，其特征在于，所述第一光学件包括至少一个节流孔；在形成所述光学组件时，通过至少一个所述节流孔产生负压吸附所述第二光学件，使所述第一光学件和所述第二光学件光胶胶合。2.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，还包括至少一个密封件，所述密封件的数量与所述节流孔的数量相同，所述密封件位于所述节流孔内。3.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，所述至少一个节流孔包括至少一个正压节流孔和至少一个负压节流孔，所述正压节流孔用于通过气体并产生正压以支撑所述第二光学件，所述负压节流孔用于通过气体并产生负压以吸附所述第二光学件。4.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，所述光学组件包括m个所述第二光学件；所述第一光学件包括m个胶合区域，m个所述第二光学件分别光胶胶合在所述第一光学件的m个胶合区域内，m为大于1的正整数。5.根据权利要求4所述的光学组件，其特征在于，所述胶合区域的形状与所述所述第二光学件的形状相同；所述至少一个节流孔包括至少一个正压节流孔和至少一个负压节流孔，所述正压节流孔用于通过气体并产生正压以支撑所述第二光学件，所述负压节流孔用于通过气体并产生负压以吸附所述第二光学件；每一个所述胶合区域设置一个所述负压节流孔和多个所述正压节流孔，所述负压节流孔位于所述胶合区域的几何中心。6.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，所述节流孔包括相互连通的细管和气腔，所述气腔位于所述细管与所述第二光学件之间。7.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，所述第一光学件包括底板，所述第二光学件包括光栅。8.根据权利要求7所述的光学组件，其特征在于，所述光栅具有低光圈光胶面形。9.一种光学组件的制作方法，所述光学组件包括第一光学件和至少一个第二光学件，其特征在于，所述制作方法包括：在所述第一光学件上形成至少一个节流孔；通过至少一个所述节流孔产生正压，在所述第一光学件与所述第二光学件之间形成气膜；通过至少一个所述节流孔产生负压吸附所述第二光学件，使所述第一光学件和所述第二光学件光胶胶合。10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，在通过至少一个所述节流孔产生负压吸附所述第二光学件，使所述第一光学件和所述第二光学件光胶胶合之前，还包括：对所述第二光学件的姿态进行检测和调整。11.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，在通过至少一个所述节流孔产生负压吸附所述第二光学件，使所述第一光学件和所述第二光学件光胶胶合之后，还包括：使用与所述节流孔数量相同的密封件密封所有的所述节流孔。12.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述节流孔中通过的气体包括臭氧
和/或等离子体。

技术总结
本发明实施例提供一种光学组件及其制作方法，光学组件包括第一光学件和至少一个第二光学件，所述第一光学件包括至少一个节流孔；在形成所述光学组件时，通过至少一个所述节流孔产生负压吸附所述第二光学件，使所述第一光学件和所述第二光学件光胶胶合。本发明实施例提供一种光学组件及其制作方法，以实现为第二光学件提供非接触外力，引起第一光学件和第二光学件的面形变化，从而引发第一光学件和第二光学件光胶胶合，且避免了第二光学件被接触受损的风险。损的风险。损的风险。


技术研发人员：刘明放 曹萌 吴萍
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2020.05.29
技术公布日：2021/12/16