一种便于调节的热源灯的制作方法

1.本实用新型属于热源灯技术领域，具体为一种便于调节的热源灯。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.现有的退火炉通常使用卤素灯作为热源，但现有的热源灯一般是固定安装于退火炉内，无法将热源灯与物料之间的间距进行调节。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种便于调节的热源灯，有效的解决了目前退火炉热源灯无法调节与物料之间的间距的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于调节的热源灯，包括炉体和热源灯本体，所述炉体上端两侧均通过轴承座分别转动连接有第一转动筒和第二转动筒，两个轴承座嵌装于炉体上端，第一转动筒和第二转动筒上端分别连接有第一锥齿盘和第二锥齿盘，第一锥齿盘和第二锥齿盘上端均贯穿连接有螺纹杆，两个螺纹杆分别与第一转动筒和第二转动筒螺纹连接，两个螺纹杆下端均连接有安装座，热源灯本体安装于安装座一端；
6.第一转动筒和第二转动筒外端分别连接有第一壳体和第二壳体，第一转动筒和第二转动筒之间相对于炉体上端连接有第三壳体，第三壳体上端贯穿连接有转轴，转轴下端与炉体转动连接，转轴上端连接有手柄，转轴下部连接有主动锥齿轮，主动锥齿轮上端两侧分别啮合连接有第一从动锥齿轮和第二从动锥齿轮，第一从动锥齿轮和第二从动锥齿轮一端分别连接有第一传动轴和第二传动轴，第一传动轴一端贯穿第三壳体延伸至第一壳体内部连接有第一传动锥齿轮，第一传动锥齿轮与第一锥齿盘啮合连接，第二传动轴贯穿第三壳体延伸至第二壳体内部连接有第二传动锥齿轮，第二传动锥齿轮与第二锥齿盘啮合连接。
7.优选的，所述炉体上端对应两个轴承座嵌装处均开设有第一通孔，两个轴承座分别嵌装于对应的第一通孔内。
8.优选的，所述第一锥齿盘和第二锥齿盘上端中部相对于对应的螺纹杆贯穿处均开设有第二通孔，第二通孔直径大于螺纹杆外径。
9.优选的，两个所述螺纹杆上端分别贯穿第一壳体和第二壳体，且第一壳体和第二壳体上端对应螺纹杆处均连接有防护壳。
10.优选的，所述第一转动筒和第二转动筒内壁均开设有与螺纹杆相适配的内螺纹。
11.优选的，两个所述螺纹杆上端均连接有限制上下运动的挡块。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型，通过正向转动手柄转动带动转轴转动，使得主动锥齿轮带动第一从动锥齿轮和第二从动锥齿轮同步转动，进而第一传动轴带动第一传动锥齿轮与第一锥齿盘啮合传动，同时，第二传动轴带动第二传动锥齿轮与第二锥齿盘啮合传动，从而使得两个螺纹杆在第一转动筒和第二转动筒的传动下同步向上运动，能够调节热源灯本体与物料之间的间距增大，反之，反向转动手柄，能够使得两个螺纹杆同步向下运动，能够调节热源灯本体与物料之间的间距变小，从而能够根据需要进行调节。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
15.在附图中：
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型热源灯本体的升降调节结构示意图；
18.图3为本实用新型螺纹杆的传动结构示意图；
19.图中：1、炉体；2、轴承座；3、第一转动筒；4、第二转动筒；5、第一锥齿盘；6、第二锥齿盘；7、螺纹杆；8、安装座；9、热源灯本体；10、第一壳体；11、第二壳体；12、第三壳体；13、转轴；14、手柄；15、主动锥齿轮；16、第一从动锥齿轮；17、第二从动锥齿轮；18、第一传动轴；19、第二传动轴；20、第一传动锥齿轮；21、第二传动锥齿轮；22、防护壳；23、挡块。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.实施例一，由图1、图2和图3给出，本实用新型包括炉体1和热源灯本体9，炉体1上端两侧均通过轴承座2分别转动连接有第一转动筒3和第二转动筒4，两个轴承座2嵌装于炉体1上端，第一转动筒3和第二转动筒4上端分别连接有第一锥齿盘5和第二锥齿盘6，第一锥齿盘5和第二锥齿盘6上端均贯穿连接有螺纹杆7，两个螺纹杆7分别与第一转动筒3和第二转动筒4螺纹连接，两个螺纹杆7下端均连接有安装座8，热源灯本体9安装于安装座8一端；
22.第一转动筒3和第二转动筒4外端分别连接有第一壳体10和第二壳体11，第一转动筒3和第二转动筒4之间相对于炉体1上端连接有第三壳体12，第三壳体12上端贯穿连接有转轴13，转轴13下端与炉体1转动连接，转轴13上端连接有手柄14，转轴13下部连接有主动锥齿轮15，主动锥齿轮15上端两侧分别啮合连接有第一从动锥齿轮16和第二从动锥齿轮17，第一从动锥齿轮16和第二从动锥齿轮17一端分别连接有第一传动轴18和第二传动轴19，第一传动轴18一端贯穿第三壳体12延伸至第一壳体10内部连接有第一传动锥齿轮20，第一传动锥齿轮20与第一锥齿盘5啮合连接，第二传动轴19贯穿第三壳体12延伸至第二壳体11内部连接有第二传动锥齿轮21，第二传动锥齿轮21与第二锥齿盘6啮合连接。
23.实施例二，在实施例一的基础上，炉体1上端对应两个轴承座2嵌装处均开设有第
一通孔，两个轴承座2分别嵌装于对应的第一通孔内，方便将轴承座2安装。
24.实施例三，在实施例一的基础上，第一锥齿盘5和第二锥齿盘6上端中部相对于对应的螺纹杆7贯穿处均开设有第二通孔，第二通孔直径大于螺纹杆7外径，方便螺纹杆7在第二通孔内上下运动。
25.实施例四，在实施例一的基础上，两个螺纹杆7上端分别贯穿第一壳体10和第二壳体11，且第一壳体10和第二壳体11上端对应螺纹杆7处均连接有防护壳22，通过防护壳22的设置，能够对两个螺纹杆7起到防护作用。
26.实施例五，在实施例一的基础上，第一转动筒3和第二转动筒4内壁均开设有与螺纹杆7相适配的内螺纹，方便在第一转动筒3和第二转动筒4转动时，螺纹杆7能够上下运动。
27.实施例六，在实施例一的基础上，两个螺纹杆7上端均连接有限制上下运动的挡块23。
28.工作原理：在使用时，根据物料距离热源灯本体9的间距，通过正向转动手柄14带动转轴13转动，使得主动锥齿轮15带动第一从动锥齿轮16和第二从动锥齿轮17同步转动，第一从动锥齿轮16逆向旋转，进而第一传动轴18带动第一传动锥齿轮20逆向旋转，第一传动锥齿轮20与第一锥齿盘5啮合传动，使得第一锥齿盘5逆向旋转，进而第一转动筒3带动对应的螺纹杆7逐渐向上运动，同时，第二从动锥齿轮17逆向旋转，进而第二传动轴19带动第二传动锥齿轮21逆向旋转，第二传动锥齿轮21与第二锥齿盘6啮合传动，使得第二锥齿盘6逆向旋转，进而第二转动筒4带动对应的螺纹杆7逐渐向上运动，从而使得两个螺纹杆7同步向上运动，能够调节热源灯本体9与物料之间的间距增大，反之，反向转动手柄14，能够使得两个螺纹杆7同步向下运动，能够调节热源灯本体9与物料之间的间距变小，从而能够根据需要进行调节。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。