光学元件、光学元件的制造方法和投影仪与流程

1.本发明涉及光学元件、光学元件的制造方法和投影仪。


背景技术：

2.以往，在对透镜等光学元件涂敷功能膜的情况下，无论干式方式还是湿式方式，都需要支承光学元件。例如，在下述专利文献1公开的技术中，使用透镜保持部件保持透镜，通过浸涂而在透镜整面形成功能膜。
3.专利文献1：日本特开2014
‑
6322号公报
4.但是，在上述现有技术中，涂敷液未充分附着于透镜保持部件与透镜接触的部分，存在功能膜发生成膜不良的问题。


技术实现要素：

5.为了解决上述课题，根据本发明的第1方式，提供一种光学元件，其具有：主体部，其包含具有光学面的光学部和设置于所述光学部且能够由支承体支承的支承部；以及功能层，其成膜于所述主体部，具有规定的功能，所述功能层以覆盖所述光学部的所述光学面、并且不覆盖所述支承部的至少一部分的方式设置。
6.根据本发明的第2方式，提供一种光学元件的制造方法，该光学元件具有主体部和功能层，该主体部包含光学部和支承部，所述光学元件的制造方法具有在所述主体部形成所述功能层的成膜工序，在所述成膜工序中，通过支承体支承所述支承部，由此保持所述主体部，以覆盖所述光学部的光学面、并且不覆盖所述支承部的靠所述光学面侧的至少一部分的方式，在所述主体部形成所述功能层。
7.根据本发明的第3方式，提供一种投影仪，其特征在于，其具有：光源装置，其包含本发明的第1方式的光学元件；光调制装置，其根据图像信息对来自所述光源装置的光进行调制；以及投射光学装置，其投射由所述光调制装置调制后的光。
附图说明
8.图1是示出实施方式的投影仪的结构的图。
9.图2是示出第1多透镜阵列的主要部分结构的图。
10.图3是示出功能层的成膜工序的图。
11.图4是示出功能层的成膜工序的图。
12.图5是示出光学部件的变形例的支承方法的图。
13.图6a是示出在光学部件的一个面进行喷涂的结构例的图。
14.图6b是示出通过图6a的喷涂而制膜的功能层的图。
15.图7a是示出在光学部件的两面进行喷涂的结构例的图。
16.图7b是示出通过图7a的喷涂而制膜的功能层的图。
17.图8是示出通过蒸镀来生成功能层时的支承用工具的结构的图。
18.图9是示出基于蒸镀的成膜工序的图。
19.图10是通过图9的蒸镀而形成的多透镜阵列的剖视图。
20.图11是示出支承部不是平坦部的情况下的变形例的图。
21.标号说明
22.1：投影仪；2：光源装置；4b、4g、4r：光调制装置；6：投射光学装置；11：支承部件；20：光源；41：光学部；41a：第1端边部；41b：第2端边部；42：支承部；43：多透镜面(光学面)；43a：透镜面；44：功能层；46：透镜主体(主体部)；48：支承体；100：支承用工具(支承体)；am：臂部(支承体)；d1：第1方向；d2：第2方向。
具体实施方式
23.下面，使用附图对本发明的一个实施方式进行说明。
24.本实施方式的投影仪是使用液晶面板作为光调制装置的投影仪的一例。
25.另外，在以下的各图中，为了容易观察各结构要素，有时根据结构要素而使尺寸的比例尺不同来示出。
26.图1是示出本实施方式的投影仪的结构的图。
27.图1所示的本实施方式的投影仪1是在屏幕scr上显示彩色图像的投射型图像显示装置。投影仪1使用与红色光lr、绿色光lg、蓝色光lb的各色光对应的3个光调制装置。
28.投影仪1具有光源装置2、色分离光学系统3、光调制装置4r、光调制装置4g、光调制装置4b、合成光学系统5和投射光学装置6。
29.光源装置2朝向色分离光学系统3射出白色的照明光wl。色分离光学系统3将白色的照明光wl分离成红色光lr、绿色光lg和蓝色光lb。色分离光学系统3具有第1分色镜7a、第2分色镜7b、第1反射镜8a、第2反射镜8b、第3反射镜8c、第1中继透镜9a和第2中继透镜9b。
30.第1分色镜7a将来自光源装置2的照明光wl分离成红色光lr和其他光(绿色光lg和蓝色光lb)。第1分色镜7a透过被分离出的红色光lr，并且反射其他光(绿色光lg和蓝色光lb)。另一方面，第2分色镜7b将其他光分离成绿色光lg和蓝色光lb。第2分色镜7b反射被分离出的绿色光lg，透过蓝色光lb。
31.第1反射镜8a配置于红色光lr的光路中，使透过第1分色镜7a后的红色光lr朝向光调制装置4r反射。另一方面，第2反射镜8b和第3反射镜8c配置于蓝色光lb的光路中，使透过第2分色镜7b后的蓝色光lb朝向光调制装置4b反射。此外，绿色光lg被第2分色镜7b朝向光调制装置4g反射。
32.第1中继透镜9a和第2中继透镜9b配置于蓝色光lb的光路中的第2分色镜7b的光射出侧。第1中继透镜9a和第2中继透镜9b对由于蓝色光lb的光路长度比红色光lr和绿色光lg的光路长度长而引起的蓝色光lb的照明分布的差异进行修正。
33.光调制装置4r根据图像信息对红色光lr进行调制，形成与红色光lr对应的图像光。光调制装置4g根据图像信息对绿色光lg进行调制，形成与绿色光lg对应的图像光。光调制装置4b根据图像信息对蓝色光lb进行调制，形成与蓝色光lb对应的图像光。
34.光调制装置4r、光调制装置4g和光调制装置4b例如使用透过型的液晶面板。此外，在液晶面板的入射侧和射出侧分别配置有偏振板(未图示)，构成为仅使特定方向的直线偏振光通过。
35.在光调制装置4r、光调制装置4g和光调制装置4b的入射侧分别配置有场透镜10r、场透镜10g、场透镜10b。场透镜10r、场透镜10g和场透镜10b使入射到各个光调制装置4r、光调制装置4g、光调制装置4b的红色光lr、绿色光lg、蓝色光lb的主光线平行化。
36.合成光学系统5通过入射从光调制装置4r、光调制装置4g和光调制装置4b射出的图像光，对与红色光lr、绿色光lg、蓝色光lb对应的图像光进行合成，朝向投射光学装置6射出被合成后的图像光。合成光学系统5例如使用十字分色棱镜。
37.投射光学装置6由多个投射透镜构成。投射光学装置6朝向屏幕scr放大投射由合成光学系统5合成后的图像光。由此，在屏幕scr上显示图像。
38.本实施方式的光源装置2具有光源20、积分器光学系统31、偏振转换元件32和重叠光学系统33。在本实施方式中，光源20是以往公知的结构、例如使用灯、led和半导体激光器等，射出白色的照明光wl。此外，作为光源20，也可以采用对从led或半导体激光器射出的激励光进行波长转换而生成荧光的光源。
39.积分器光学系统31具有第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22。第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22由设置于投影仪1内的支承部件11支承。第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22由本发明的光学元件构成。透过积分器光学系统31后的照明光wl入射到偏振转换元件32。偏振转换元件32是呈阵列状排列偏振分离膜和相位差板而构成的。偏振转换元件32使照明光wl的偏振方向与规定方向一致。具体而言，偏振转换元件32使照明光wl的偏振方向与光调制装置4r、4g、4b的入射侧偏振板的透过轴的方向一致。
40.由此，对透过偏振转换元件32后的照明光wl进行分离而得到的红色光lr、绿色光lg和蓝色光lb的偏振方向与各光调制装置4r、4g、4b的入射侧偏振板的透过轴方向一致。由此，红色光lr、绿色光lg和蓝色光lb分别入射到光调制装置4r、4g、4b的图像形成区域，而不会被入射侧偏振板分别遮光。
41.第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22具有相同的构造。因此，下面，以第1多透镜阵列21为例对其构造进行说明。图2是示出第1多透镜阵列21的主要部分结构的图。图2的左图示出第1多透镜阵列21的截面。图2的右图示出从沿着光轴ax的方向观察第1多透镜阵列21的主视图。
42.如图2所示，第1多透镜阵列21具有透镜主体(主体部)46和具有规定功能的功能层44。透镜主体46包含光学部41和支承部42。功能层44通过后述成膜工序以覆盖透镜主体46的表面的方式成膜。
43.本实施方式的光学部41是透镜。具体而言，光学部41是具有多透镜面(光学面)43的多透镜。多透镜面43由多个透镜面43a形成。支承部42与光学部41一体地设置。
44.具体而言，本实施方式的第1多透镜阵列21具有多个第1小透镜21a。第1小透镜21a的各表面由多透镜面43的各透镜面43a构成。另外，光学部41的与多透镜面43相反一侧的面由平面构成。
45.在本实施方式中，第1小透镜21a的表面和光调制装置4r、4g、4b各自的图像形成区域彼此共轭。此外，第1小透镜21a各自的形状是与光调制装置4r、4g、4b的图像形成区域的形状大致相似的矩形状。由此，从第1多透镜阵列21射出的部分光束分别高效地入射到光调制装置4r、4g、4b的图像形成区域。
46.支承部42是由后述的臂部或支承部件支承的部位。支承部42在制造工序中成为通
过由臂部支承而能够保持透镜主体46的状态，在本实施方式的投影仪1中，成为能够由支承部件11支承的状态。即，在制造工序中，能够通过作为支承体的臂来保持支承部42，在本实施方式的投影仪1中，能够通过作为支承体的支承部件支承光学元件(透镜主体46)。
47.第1多透镜阵列21的光学部41的平面形状为矩形状。光学部41具有沿着第1方向d1的一对第1端边部41a、41a、以及沿着与第1方向d1交叉的第2方向d2的一对第2端边部41b、41b。在本实施方式中，第1方向d1相当于图2内的左右方向，第2方向d2相当于图2内的上下方向。
48.本实施方式的支承部42包含第1部位42a和第2部位42b。第1部位42a和第2部位42b分别设置于光学部41的一对第1端边部41a、41a。第1部位42a和第2部位42b分别遍及第1端边部41a、41a的整体而设置。
49.在本实施方式中，第1部位42a和第2部位42b为具有平面的板状。即，第1部位42a和第2部位42b是平坦部。
50.光学部41(多透镜面43)和支承部42被设置成以各自的端面彼此所成的角θ为钝角的方式相交。即，以第1端边部41a和第1部位42a的端面彼此成钝角地相交、并且第1端边部41a和第2部位42b的端面彼此成钝角地相交的方式来设置。
51.在本实施方式中，第1部位42a和第2部位42b的与延伸方向(第1方向d1)交叉的方向(第2方向d2)的宽度相对于光学部41的第2方向d2上的宽度设定为1/20以上且1/2以下的长度。通过将第1部位42a和第2部位42b的宽度设定在上述范围内，能够通过后述的支承用工具稳定地支承支承部42。
52.覆盖透镜主体46的功能层44以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的至少一部分的方式设置。具体而言，功能层44以覆盖光学部41的整体的方式设置。此外，功能层44以仅覆盖第1部位42a的整体和第2部位42b中的光学部41的附近的方式设置。即，功能层44以不覆盖支承部42的一部分的状态设置于第1多透镜阵列21。在本实施方式中，支承部42具有未设置功能层44的部分。
53.另外，支承部42中的未设置功能层44的部分相当于在第1多透镜阵列21的制造时由后述臂部支承的支承部分。
54.在本实施方式中，功能层44以覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的一部分的方式设置，但不限于此，也可以以不覆盖支承部42整体的方式设置。
55.功能层44例如由sio2、sion等透光性材料构成。本实施方式的功能层44例如由sio2构成。本实施方式的功能层44具有作为如后述那样使多透镜面43平坦化的平坦化膜的功能。另外，作为平坦化膜发挥功能的功能层44也可以由液体状的硅酮、cop(环烯烃聚合物)、丙烯酸构成。
56.另外，功能层44也可以组合具有不同功能的多个层来构成。功能层44例如也可以包含设置于构成上述平坦化膜的透光性材料(sio2)上的防反射层。防反射层是减少多透镜面43的表面反射的膜，例如由sio2、mgf2、nb2o5、ti3o5、ta2o5、al2o3、zro2的涂层膜构成。
57.虽然省略图示，但与上述第1多透镜阵列21同样，第2多透镜阵列22具有透镜主体46和功能层44。如图1所示，第2多透镜阵列22包含与第1多透镜阵列21的多个第1小透镜21a对应的多个第2小透镜22a。第2多透镜阵列22与重叠光学系统33一起使第1多透镜阵列21的各第1小透镜21a的像成像于各光调制装置4r、4g、4b各自的图像形成区域的附近。
58.接着，对具有上述结构的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的制造方法进行说明。下面，以第1多透镜阵列21的制造方法为例进行说明。
59.第1多透镜阵列21的制造方法具有在透镜主体46上形成功能层44的成膜工序。成膜工序是在图2所示的透镜主体46上形成功能层44的工序。
60.本实施方式的第1多透镜阵列21的制造方法具有如下的成膜工序：保持成通过支承体支承支承部42从而支承透镜主体46的状态，以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的至少一部分的方式形成功能层44。在本实施方式的第1多透镜阵列21的制造方法中，通过浸涂(dip
‑
coating)法形成功能层44。
61.图3和图4是示出功能层44的成膜工序的图。
62.在成膜工序中，如图3所示，利用臂部(支承体)am支承透镜主体46。具体而言，臂部am保持成通过把持(支承)支承部42的第2部位42b来支承透镜主体46的状态。
63.然后，如图4所示，臂部am使支承状态的光学部41例如以10mm/秒的速度在收纳了包含聚硅氮烷的溶液l的液槽50内下降，将光学部41浸渍于溶液l。此时，臂部am以不使溶液l附着于该臂部am的方式使透镜主体46浸渍于溶液l。具体而言，透镜主体46以成为被臂部am把持的第2部位42b的一部分露出的状态的方式浸渍于溶液l。这里，在本实施方式中，光学部41和支承部42(第1部位42a和第2部位42b)设置成以各自的端部彼此所成的角θ为钝角的方式相交。因此，在光学部41和支承部42的边界部分不容易产生溶液l的积液。
64.在经过了规定时间后，臂部am使透镜主体46例如以1mm/秒的速度上升，从溶液l取出透镜主体46。然后，以500℃对附着有溶液l的透镜主体46进行2小时的干燥和烧结，由此，由sio2构成的功能层44形成于透镜主体46的表面。功能层44以覆盖透镜主体46中的溶液l的附着部分(参照图4)的方式形成。
65.如上述那样制造本实施方式的第1多透镜阵列21。根据本实施方式的第1多透镜阵列21的制造方法，功能层44形成为覆盖透镜主体46中的光学部41的整体的状态。此外，功能层44形成为覆盖透镜主体46中的支承部42的第1部位42a以及第2部位42b中的比支承于臂部am的部分靠下侧的部分的状态。即，根据本实施方式的第1多透镜阵列21的制造方法，能够以覆盖光学部41的整体、并且不覆盖支承部42的至少一部分(支承于臂部am的部分)的方式形成功能层44。
66.这里，构成本实施方式的第1多透镜阵列21的透镜主体46例如通过转印模具形状的成型方式来制造。成为在通过上述成型方式制造出的透镜主体46也转印有模具表面上的微小凹凸的状态。因此，特别是在透镜主体46中的光学部41的表面(多透镜面43)形成有由于模具表面形状而引起的凹凸(未图示)。
67.在本实施方式中，功能层44如上述那样通过浸涂法形成，因此，功能层44在存在形成于成为基底的多透镜面43的凹凸、无法通过蚀刻或研磨等去除的多孔状的空隙等缺陷的情况下，也能够通过毛细管现象在短时间内简单地没有间隙地填埋。即，功能层44以进入形成于多透镜面43的凹凸的方式来形成。根据本实施方式的功能层44，作为使光学部41的多透镜面43的凹凸平坦化的平坦化膜发挥功能。此外，功能层44通过埋入多透镜面43的微细凹凸，还能够提高第1多透镜阵列21的机械强度。
68.(本实施方式的效果)
69.本实施方式的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22具有：透镜主体46，其包含具
有多透镜面43的光学部41和设置于光学部41且能够支承于臂部am的支承部42；以及功能层44，其成膜于透镜主体46，具有规定的功能，功能层44以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的至少一部分的方式来设置。
70.根据本实施方式的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22，具有透镜主体46，该透镜主体46包含具有未被功能层44覆盖的部分的支承部42。支承部42中的未形成功能层44的部分在功能层44的成膜时能够由臂部am支承。臂部am能够以不与光学部41的多透镜面43接触的状态支承透镜主体46，因此，抑制由于臂部am而发生功能层44的成膜不良，能够将功能层44成膜于多透镜面43的规定位置。由此，能够提供抑制了功能层44的成膜不良的可靠性高的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22。
71.此外，在基于臂部am的支承部分未形成功能层44，因此，在功能层44的形成时，功能层形成材料(溶液l)不会附着于臂部am。由此，不需要功能层44的成膜后的臂部am的清洁处理，其结果，实现第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的成本降低。
72.一般而言，关于投影仪用多透镜，根据机型，多透镜面中的尺寸以及透镜数等不同。因此，在投影仪用多透镜中形成功能层的情况下，需要单独准备与各多透镜的形状对应的支承用工具(支承体)。
73.与此相对，根据本实施方式的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22，具有臂部am能够支承的支承部42，因此，在使光学部41(多透镜面43)的透镜分割数以及透镜形状不同的情况下，也能够使用共通的臂部am。
74.在本实施方式中，光学部41的平面形状为矩形，光学部41具有沿着第1方向d1的第1端边部41a和沿着与第1方向d1交叉的第2方向d2的第2端边部41b，支承部42设置于第1端边部41a。优选支承部遍及第1端边部41a的整体而设置。
75.根据该结构，支承部42仅设置于第1端边部41a，因此，能够减小第1方向d1上的透镜主体46的尺寸。由此，能够使第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22小型化。
76.在本实施方式中，支承部42包含平坦部。
77.根据该结构，能够通过臂部am以稳定的状态支承光学部41。
78.在本实施方式中，光学部41和支承部42设置成各自的端部彼此成钝角地相交。
79.根据该结构，在通过浸涂来形成功能层44的情况下，在光学部41和支承部42的边界部分不容易产生积液。由此，能够形成具有均匀膜厚的功能层44。
80.在本实施方式中，功能层44包含使多透镜面43平坦化的平坦化膜。
81.根据该结构，通过功能层44埋入多透镜面43的微细凹凸，由此，能够提高多透镜面43的机械强度。
82.本发明的一个方式的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的制造方法具有在具有多透镜面43的光学部41形成功能层44的成膜工序，在成膜工序中，保持为通过臂部am支承支承部42来支承光学部41的状态，以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的靠多透镜面43侧的至少一部分的方式形成功能层44。
83.根据本实施方式的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的制造方法，能够以通过臂部am支承支承部42的状态在透镜主体46上形成功能层44。此时，臂部am不与光学部41的多透镜面43接触，因此，抑制由于臂部am而发生功能层44的成膜不良，能够将功能层44成膜于多透镜面43的规定位置。由此，能够制造抑制了功能层44的成膜不良的可靠性高的第1多
透镜阵列21和第2多透镜阵列22。
84.实施方式的投影仪1具有包含上述第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的光源装置2、根据图像信息对来自光源装置2的光进行调制的光调制装置4r、4g、4b、以及投射由光调制装置4r、4g、4b调制后的光的投射光学装置6。
85.根据本实施方式的投影仪1，具有包含抑制了功能层44的成膜不良的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的光源装置2，因此，能够提高投影仪自身的可靠性。
86.在本实施方式中，具有支承第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22的支承部件11，第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22通过支承部件11支承于支承部42。
87.根据该结构，能够利用第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22中未被用作透镜的支承部42作为针对投影仪1的支承构造，因此，省去了额外设置支承部的劳力和时间，能够实现小型化和低成本化。
88.另外，本发明的技术范围不限于上述实施方式，能够在不脱离本发明主旨的范围内施加各种变更。
89.例如，在上述实施方式中，举例了使用把持支承部42的臂部am作为支承透镜主体46的支承体的情况，但是，透镜主体46的支承方法不限于此。例如，如图5所示，也可以利用借助粘接层47与支承部42的端面49接合的支承体48来支承透镜主体46。
90.此外，在上述实施方式中，作为形成功能层44的方法，举例了浸涂，但是，功能层44的成膜方法不限于此。例如，作为功能层44的成膜方法，还能够使用旋涂或后述的喷涂。
91.下面，参照附图对使用喷涂的情况进行说明。图6a和图6b示出在透镜主体46的一个面侧进行喷涂的情况的结构，图7a和图7b示出在透镜主体46的两面侧进行喷涂的情况的结构。
92.如图6a所示，例如，从喷嘴nz仅在通过臂部am支承第2部位42b的透镜主体46的一个面侧(多透镜面43侧)进行喷涂，由此，形成功能层44。
93.如图6b所示，这样形成的功能层44形成为仅覆盖光学部41的多透镜面43侧的状态。此外，功能层44形成为覆盖支承部42的第1部位42a的靠多透镜面43侧的面和第2部位42b的靠多透镜面43侧的比支承于臂部am的部分靠下侧的部分的状态。
94.即，在透镜主体46的多透镜面43侧进行喷涂的情况下，能够制造具有以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的至少一部分的方式设置的功能层44的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22。
95.此外，如图7a所示，也可以从喷嘴nz在通过臂部am支承第2部位42b的透镜主体46的两面侧进行喷涂，由此，形成功能层44。如图7b所示，这样形成的功能层44形成为覆盖光学部41的两面侧的状态。此外，功能层44形成为覆盖支承部42的第1部位42a的两面、和第2部位42b的两面侧的比支承于臂部am的部分靠下侧的部分的状态。
96.即，在透镜主体46的两面进行喷涂的情况下，能够制造具有以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的至少一部分的方式设置的功能层44的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22。
97.此外，在上述实施方式中，举例了在形成功能层44时通过臂部am支承位于支承部42的一侧的第2部位42b的情况，但是，也可以利用臂部am支承位于支承部42的另一侧的第1部位42a来形成功能层44。该情况下，在第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22中，功能层44
设置成不覆盖第1部位42a的一部分的状态。
98.此外，在上述实施方式的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22中，举例了支承部42包含第1部位42a和第2部位42b的情况，但是，也可以采用仅具有第1部位42a和第2部位42b中的一方的构造。
99.此外，也可以通过蒸镀来形成功能层44。图8是示出通过蒸镀来生成功能层44时使用的支承用工具的结构的图。图9是示出基于蒸镀的成膜工序的图。图10是具有使用支承用工具形成的功能层44的第1多透镜阵列21的剖视图。另外，图8的上部是支承用工具的主视图，下部是支承用工具的剖视图。
100.如图8所示，支承用工具(支承体)100具有大致框状的平面形状。支承用工具100具有突出部102，该突出部102分别设置于夹着开口部101而对置的一对内侧面101a的下部。
101.如图9所示，支承用工具100通过支承第1部位42a和第2部位42b来保持透镜主体46。透镜主体46以在开口部101内面向多透镜面43的状态由支承用工具100支承。即，在本方式中，第1部位42a和第2部位42b双方由支承体即支承用工具100的突出部102支承。
102.然后，通过从蒸镀源103对功能层形成材料进行蒸镀，在多透镜面43形成功能层44。
103.如图10所示，这样形成的功能层44形成为仅覆盖光学部41的多透镜面43侧的状态。此外，功能层44形成为覆盖支承部42的第1部位42a和第2部位42b的靠多透镜面43侧的面中的未支承于支承用工具100(突出部102)的部位的状态。即，在通过使用支承用工具100的蒸镀法来形成功能层44的情况下，也能够制造具有以至少覆盖光学部41的多透镜面43、并且不覆盖支承部42的至少一部分的方式设置的功能层44的第1多透镜阵列21和第2多透镜阵列22。
104.此外，在上述实施方式中，举例了支承部42(第1部位42a和第2部位42b)包含平坦部的情况，但是，支承部42也可以是平坦部以外的形状。在支承部42是平坦部以外的形状的情况下，例如，如图11所示，如果在臂部am的末端、即与支承部42接触的部分配置粘弹性体(弹性体)60，则能够模仿支承部42的形状而稳定地把持。此外，通过使用粘弹性体60，还提高摩擦力，因此，能够抑制透镜主体46落下。
105.另外，也可以是第1部位42a和第2部位42b中的一方由平坦部构成，第1部位42a和第2部位42b中的另一方由上述平坦部以外的形状构成。
106.此外，在上述实施方式中，举例了将本发明的光学元件应用于多透镜阵列的情况，但是，本发明的光学元件不限于多透镜阵列，例如还能够应用于聚光透镜等其他透镜或偏振元件。
107.除此之外，光源装置和投影仪的各结构要素的形状、数量、配置、材料等的具体记载不限于上述实施方式，能够适当变更。在上述实施方式中，示出将包含本发明的光学元件的光源装置搭载于使用液晶光阀的投影仪的例子，但是不限于此。也可以将包含本发明的光学元件的光源装置应用于使用数字微镜器件作为光调制装置的投影仪。此外，投影仪也可以不具有多个光调制装置，也可以仅具有1个光调制装置。
108.在上述实施方式中，示出将包含本发明的光学元件的光源装置应用于投影仪的例子，但是不限于此。包含本发明的光学元件的光源装置还能够应用于照明器具或汽车的前照灯等。
109.本发明的一个方式的光学元件也可以具有以下结构。
110.本发明的一个方式的光学元件具有：主体部，其包含具有光学面的光学部和设置于光学部且能够由支承体支承的支承部；以及功能层，其成膜于主体部，具有规定的功能，功能层以覆盖光学部的光学面、并且不覆盖支承部的至少一部分的方式设置。
111.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，光学部的平面形状为矩形，光学部具有沿着第1方向的第1端边部和沿着与第1方向交叉的第2方向的第2端边部，支承部设置于第1端边部或第2端边部。
112.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，支承部遍及第1端边部或第2端边部的整体而设置。
113.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，光学部是透镜。
114.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，透镜是具有由多个透镜面构成的多透镜面作为光学面的多透镜。
115.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，支承部包含平坦部。
116.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，光学部和支承部被设置成各自的端面彼此成钝角地相交。
117.在本发明的一个方式的光学元件中，也可以构成为，功能层包含使光学面平坦化的平坦化膜。
118.本发明的一个方式的光学元件的制造方法也可以具有以下结构。
119.在本发明的一个方式的光学元件的制造方法中，该光学元件具有主体部和功能层，该主体部包含光学部和支承部，光学元件的制造方法具有在主体部形成功能层的成膜工序，在成膜工序中，通过支承体支承支承部，由此保持主体部，以覆盖光学部的光学面、并且不覆盖支承部的靠光学面侧的至少一部分的方式，在主体部形成所述功能层。
120.本发明的一个方式的投影仪也可以具有以下结构。
121.本发明的一个方式的投影仪具有：光源装置，其包含本发明的一个方式的光学元件；光调制装置，其根据图像信息对来自光源装置的光进行调制；以及投射光学装置，其投射由光调制装置调制后的光。
122.在本发明的一个方式的投影仪中，投影仪具有支承光学元件的支承部件，光学元件通过支承部件支承于支承部。