显示基板检查方法与流程

1.本发明涉及显示基板检查方法以及执行该显示基板检查方法的显示基板检查装置，更详细而言，涉及通过将关注区域扩张为最大来最小化非检查区域的显示基板检查方法以及执行该显示基板检查方法的显示基板检查装置。


背景技术：

2.在显示器行业中正在持续地进行与产量的斗争，而产量的上升联系到价格竞争，因此产量成为对显示装置的制造成本产生很大影响的因素。为了使产量上升，虽然单位工序的作业可靠性也是重要的，但是最重要之一是检查设备。这是因为，用于对产量下降的原因进行分析并进行改善的首选是不良情况的检测。
3.在显示装置的检查中具有光学、计量、画质、电气等许多检查设备，并且在各个单位工序都进行许多彼此不同的检查。其中，光学检查设备可利用相机在微观上进行像素的几微米至几十微米单位的短路、断路以及细颗粒等的检查，并且在宏观上执行数百微米以上的巨大异物、残膜的检查等。
4.被指为光学检查设备的缺点的因素可以是因硬件的制约而产生的非检查区域。若不执行检查的非检查区域变大，则检查的准确性和可靠性可能减小。
5.此外，在对显示基板内的特异形状部执行单独的检查的情况下，存在检查时间增加的问题。


技术实现要素：

6.本发明的技术课题是鉴于如上所述的情况完成的，本发明的目的在于提供一种通过将关注区域扩张为最大来最小化非检查区域的显示基板检查方法。
7.本发明的其他目的在于提供一种执行所述显示基板检查方法的显示基板检查装置。
8.用于实现本发明的上述的目的的一实施例涉及的显示基板检查方法包括：对包括多个单元的显示基板进行拍摄的步骤；基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断所述单元的单元边缘的步骤；基于所述单元边缘的第一方向上的最外廓位置和所述单元边缘的第二方向上的最外廓位置设定扩张关注区域的步骤；基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断所述扩张关注区域内的特异形状部的步骤；对所述特异形状部进行图像处理的步骤；以及以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤。
9.在本发明的一实施例中，所述扩张关注区域可以是矩形形状。
10.在本发明的一实施例中，所述特异形状部可包括形成在所述扩张关注区域与所述单元边缘的角部边框之间的倒角部。
11.在本发明的一实施例中，所述特异形状部可包括：切口(notch)形状部，在所述第一方向上延伸的所述单元边缘的第一边处朝向单元区域的内部方向凹陷。
12.在本发明的一实施例中，在以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良
检查的步骤中，可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对所述切口形状部设定比所述第一误差阈值大的第二误差阈值。
13.在本发明的一实施例中，所述特异形状部可包括：孔(hole)形状部，配置在所述单元边缘的内部区域。
14.在本发明的一实施例中，所述孔形状部可在所述单元边缘的内部区域形成为闭合曲线形态。
15.在本发明的一实施例中，在以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤中，可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对所述孔形状部设定比所述第一误差阈值大的第三误差阈值。
16.在本发明的一实施例中，在对所述特异形状部进行图像处理的步骤中，可将与所述特异形状部相邻的周边部的明亮度信息变换为所述特异形状部的明亮度信息。
17.在本发明的一实施例中，在对所述特异形状部进行图像处理的步骤中，可将所述单元的平均明亮度变换为所述特异形状部的明亮度信息。
18.在本发明的一实施例中，在对所述特异形状部进行图像处理的步骤中，可将预定的参考明亮度信息变换为所述特异形状部的明亮度信息。
19.在本发明的一实施例中，在以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤中，可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域的所述第一方向上的一端处沿所述第二方向延伸的第一边缘部设定比所述第一误差阈值大的第四误差阈值。
20.在本发明的一实施例中，在以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤中，可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域的所述第二方向上的一端处沿所述第一方向延伸的第二边缘部设定比所述第一误差阈值大的第五误差阈值。
21.用于实现上述的本发明的目的的一实施例涉及的显示基板检查装置包括拍摄装置、单元边缘判断部、关注区域判断部、图像处理部和检查部。所述拍摄装置拍摄包括多个单元的显示基板。所述单元边缘判断部基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度来判断所述单元的单元边缘。所述关注区域判断部基于所述单元边缘的第一方向上的最外廓位置和所述单元边缘的第二方向上的最外廓位置来设定扩张关注区域。所述图像处理部对基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断出的所述扩张关注区域内的特异形状部进行图像处理。所述检查部以所述扩张关注区域为基准来执行所述显示基板的不良检查。
22.在本发明的一实施例中，所述特异形状部可包括：切口(notch)形状部，在所述第一方向上延伸的所述单元边缘的第一边处朝向单元区域的内部方向凹陷。所述检查部可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对所述切口形状部设定比所述第一误差阈值大的第二误差阈值。
23.在本发明的一实施例中，所述特异形状部可包括：孔(hole)形状部，配置在所述单元边缘的内部区域。所述检查部可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对所述孔形状部设定比所述第一误差阈值大的第三误差阈值。
24.在本发明的一实施例中，所述图像处理部可将与所述特异形状部相邻的周边部的明亮度信息变换为所述特异形状部的明亮度信息。
25.在本发明的一实施例中，所述图像处理部可将所述单元的平均明亮度变换为所述特异形状部的明亮度信息。
26.在本发明的一实施例中，所述检查部可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域的所述第一方向上的一端处沿所述第二方向延伸的第一边缘部设定比所述第一误差阈值大的第四误差阈值。
27.在本发明的一实施例中，所述检查部可对一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域的所述第二方向上的一端处沿所述第一方向延伸的第二边缘部设定比所述第一误差阈值大的第五误差阈值。
28.(发明效果)
29.根据如上所述的显示基板检查方法和显示基板检查装置，可基于按照显示基板内的各个位置的明亮度来提取单元边缘，并且可基于所述单元边缘的第一方向上的最外廓线和第二方向上的最外廓线来设定矩形形状的扩张关注区域，从而最小化非检查区域。
30.此外，可基于按照显示基板内的各个位置的明亮度来辨别显示基板内的特异形状部，并且可利用分级检查条件对一般检查区域和所述特异形状部同时进行检查，从而缩短检查时间。
附图说明
31.图1是示出本发明的一实施例涉及的显示基板检查装置的示意图。
32.图2是示出图1的显示基板和所述显示基板内的单元的平面图。
33.图3是示出图1的显示基板检查装置的显示基板检查方法的流程图。
34.图4是示出图1的显示基板检查装置的框图。
35.图5是示出由图1的显示基板检查装置的拍摄装置拍摄到的区域的例示的示意图。
36.图6是示出由图4的单元边缘判断部判断出的单元边缘的示意图。
37.图7是示出由图4的关注区域判断部判断出的扩张关注区域的示意图。
38.图8是示出由图4的图像处理部处理特异形状部的图像的结果的示意图。
39.图9是示出由图4的检查部适用分级条件的第一边缘部的示意图。
40.图10是示出由图4的检查部适用分级条件的第二边缘部的示意图。
41.图11是示出由图4的检查部适用分级条件的切口形状部的示意图。
42.图12是示出由图1的显示基板检查装置的拍摄装置拍摄到的区域的例示的示意图。
43.图13是示出由图4的单元边缘判断部判断出的单元边缘的示意图。
44.图14是示出由图4的关注区域判断部判断出的扩张关注区域的示意图。
45.符号说明
46.100：单元边缘判断部；200：关注区域判断部；300：图像处理部；400：检查部；c1、c2、c3：拍摄装置；gl：显示基板；cl：单元；cp：拍摄区域；ce：单元边缘；cr1、cr2、cr3、cr4：倒角部；nt：切口形状部；roi：关注区域；eroi：扩张关注区域；vep：第一边缘部；hep：第二边缘部；ch：孔形状部。
具体实施方式
47.以下，参照附图对本发明进行更加详细的说明。
48.在本发明中提及的切口形状部和孔形状部是在最终产品状态下形成有切口和孔的部分，在母板检查步骤中所述切口和所述孔可能未完全形成。
49.所述切口形状部可以是未配置像素图案的区域或者具有与一般检查区域不同的像素密度的区域。例如，所述切口形状部的像素密度可小于所述一般检查区域的像素密度。例如，所述切口形状部也可以是显示图像的显示区域，还可以是不显示图像的非显示区域。
50.所述孔形状部可以是未配置像素图案的区域或者具有与所述一般检查区域不同的像素密度的区域。例如，所述孔形状部的像素密度可小于所述一般检查区域的像素密度。例如，所述孔形状部也可以是显示图像的显示区域，还可以是不显示图像的非显示区域。
51.图1是示出本发明的一实施例涉及的显示基板检查装置的示意图。图2是示出图1的显示基板和所述显示基板内的单元的平面图。
52.参照图1和图2，显示基板检查装置可包括拍摄显示基板gl的多个拍摄装置c1、c2、c3。
53.例如，所述显示基板gl可为玻璃基板。在所述显示基板gl可形成有多个单元cl。
54.所述拍摄装置c1、c2、c3与所述显示基板gl的相对位置可变。例如，所述拍摄装置c1、c2、c3可被固定，并且所述显示基板gl可在工作台上沿一方向移动。与此不同地，也可以是所述显示基板gl被固定，并且所述拍摄装置c1、c2、c3在一方向上移动。
55.所述显示基板gl可利用被称为夹具的部件而以硬件方式被对齐。所述夹具可在所述显示基板gl的四个角部附近被配置成圆柱形状，并且可将所述显示基板gl引导至与拍摄装置c1、c2、c3对应的位置。
56.在所述四个角部附近，当所述夹具与所述显示基板gl接触时，所述显示基板gl可能会破碎，因此所述夹具定义的宽度可被设定为比所述显示基板gl的宽度大。
57.例如，在定义直角坐标系的情况下，所述夹具定义的x轴方向上的宽度可比所述显示基板gl在所述x轴方向上的宽度大100μm左右。例如，所述夹具定义的y轴方向上的宽度可比所述显示基板gl在所述y轴方向上的宽度大100μm左右。
58.在所述显示基板gl的光学检查中，随着所述夹具的这种间隔，可能会产生x轴方向上的误差、y轴方向上的误差以及扭曲的角度的误差。例如，这种误差可以是约为150μm。
59.此外，当所述显示基板gl或所述拍摄装置c1、c2、c3移动时，可能会产生直线度的误差，例如，这种误差可以是约为10μm。
60.此外，可能会因所述拍摄装置c1、c2、c3的镜头的像差而产生约30μm的误差。
61.因所述的误差，所述光学检查的关注区域(region of interest，roi)的设定可能会产生制约，并且从所述关注区域排除的区域可能会成为非检查区域。
62.图3是示出图1的显示基板检查装置的显示基板检查方法的流程图。图4是示出图1的显示基板检查装置的框图。
63.参照图1至图4，所述拍摄装置c1、c2、c3可拍摄包括多个单元cl的显示基板gl(步骤s100)。
64.单元边缘判断部100可确保按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度(步骤s200)。所述单元边缘判断部100可基于按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度，判断所
述单元的单元边缘(步骤s300)。
65.关注区域判断部200可基于所述单元边缘的第一方向d1上的最外廓位置和所述单元边缘的第二方向d2上的最外廓位置，设定扩张关注区域(步骤s400)。例如，所述关注区域判断部200可基于所述单元边缘的第一方向d1上的最外廓位置来形成彼此相向的第一边和第二边，并且可基于所述单元边缘的第二方向d2上的最外廓位置来形成彼此相向的第三边和第四边。由所述关注区域判断部200形成的扩张关注区域可具有矩形形状。
66.图像处理部300可对基于按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度判断出的所述扩张关注区域内的特异形状部进行图像处理(步骤s500)。
67.检查部400可以以所述扩张关注区域为基准，执行所述显示基板gl的不良检查(步骤s600)。
68.图5是示出由图1的显示基板检查装置的拍摄装置c1、c2、c3拍摄到的区域的例示的示意图。图6是示出由图4的单元边缘判断部100判断的单元边缘的示意图。图7是示出由图4的关注区域判断部200判断的扩张关注区域的示意图。图8是示出由图4的图像处理部300处理特异形状部的图像的结果的示意图。
69.在图5至图8中，将由所述拍摄装置拍摄到的区域的一部分定义为拍摄区域cp。
70.参照图5，所述拍摄区域cp被表示为矩形，并且用虚线示出了形成在所述拍摄区域cp内的单元。
71.参照图6，所述单元边缘判断部100可基于按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度，判断所述单元cl的单元边缘ce。所述单元边缘ce基于所述按照各个位置的明亮度而识别到所述单元cl的四个角部的倒角部，并且还识别到在所述单元cl的上边朝向单元的中心方向凹陷的切口形状部。
72.在本实施例中，所述单元边缘ce的内部区域可被定义为一般检查区域。所述切口形状部可为未配置像素图案的区域或者具有与所述一般检查区域不同的像素密度的区域。例如，所述切口形状部的像素密度可小于所述一般检查区域的像素密度。
73.参照图7，所述关注区域判断部200可基于所述单元边缘ce的所述第一方向d1上的最外廓位置和所述单元边缘ce的第二方向d2上的最外廓位置，设定扩张关注区域eroi。将所述单元边缘ce的最左侧的边上下扩张、将最右侧的边上下扩张、将所述单元边缘ce的最上侧的边左右扩张且将最下侧的边左右扩张而形成的矩形可为所述扩张关注区域eroi。
74.在现有技术的方式中，基于所述单元边缘ce的所述第一方向d1上的最内侧位置和所述单元边缘ce的第二方向d2上的最内侧位置，设定了以往的关注区域roi。在图7中一同示出了以往的关注区域roi和本实施例的扩张关注区域eroi。
75.在图7中，可基于按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度，判断所述扩张关注区域eroi内的特异形状部。
76.所述特异形状部可包括形成在所述扩张关注区域eroi与所述单元边缘ce的角部边框之间的倒角部cr1、cr2、cr3、cr4。
77.此外，所述特异形状部可包括在所述第一方向d1上延伸的所述单元边缘ce的第一边(例如，上侧边)处朝向单元区域的内部方向凹陷的切口(notch)形状部nt。以下，为了便于说明，有时也统称为特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt。
78.在不对所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt进行图像处理的情况下，以所述扩张
关注区域eroi为基准直接进行不良检查时，由于所述倒角部cr1、cr2、cr3、cr4和所述切口形状部nt在其特性上表现出与所述一般检查区域截然不同的明亮度，因此会产生所述倒角部cr1、cr2、cr3、cr4和所述切口形状部nt的存在被识别为错误的问题。
79.即，在将所述显示基板检查装置的关注区域扩张到图7的扩张关注区域eroi的过程中，所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt包括在所述扩张关注区域eroi内，并且为了不将所述扩张关注区域eroi内的所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt的存在识别为错误，可能需要图像处理。
80.例如，所述图像处理部300可将与所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt相邻的周边部的明亮度信息变换为所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt的明亮度信息。
81.与此不同地，所述图像处理部300可将所述单元cl的平均明亮度变换为所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt的明亮度信息。
82.与此不同地，所述图像处理部300可将预定的参考明亮度信息变换为所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt的明亮度信息。
83.图8示出了由所述图像处理部300进行图像处理的所述扩张关注区域eroi，并且在所述扩张关注区域eroi内所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt未被区分开。
84.图9是示出由图4的检查部400适用分级条件的第一边缘部vep的示意图。图10是示出由图4的检查部400适用分级条件的第二边缘部hep的示意图。图11是示出由图4的检查部400适用分级条件的切口形状部nt的示意图。
85.参照图1至图11，所述检查部400可根据按照所述单元cl内的各个区域的特性来设定分级检查条件，从而同时对所述扩张关注区域eroi进行检查。
86.例如，所述检查部400可对所述一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对所述切口形状部nt设定比所述第一误差阈值大的第二误差阈值。即，由于所述切口形状部nt具有与所述一般检查区域不同的明亮度特性，因此可利用与所述一般检查区域不同的阈值对所述切口形状部nt进行检查。对于所述切口形状部nt，可利用比所述一般检查区域低的基准(大的误差范围)进行检查。
87.与此不同地，所述检查部400也可从检查区域排除所述切口形状部nt。
88.例如，所述检查部400可对所述一般检查区域设定所述第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域eroi的所述第一方向d1的一端处沿所述第二方向d2延伸的第一边缘部vep设定比所述第一误差阈值大的第三误差阈值。
89.所述一般检查区域可为配置显示面板的像素的区域，并且所述第一边缘部vep可为配置驱动电路或信号布线的区域。即，由于所述第一边缘部vep具有与所述一般检查区域不同的明亮度特性，因此可利用与所述一般检查区域不同的阈值对所述第一边缘部vep进行检查。对于所述第一边缘部vep，可利用比所述一般检查区域低的基准(大的误差范围)进行检查。
90.与此不同地，所述检查部400也可从检查区域排除所述第一边缘部vep。
91.例如，所述检查部400可对所述一般检查区域设定所述第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域eroi的所述第二方向d2的一端处沿所述第一方向d1延伸的第二边缘部hep设定比所述第一误差阈值大的第四误差阈值。
92.所述一般检查区域可为配置显示面板的像素的区域，并且所述第二边缘部hep可
为配置驱动电路或信号布线的区域。即，由于所述第二边缘部hep具有与所述一般检查区域不同的明亮度特性，因此可利用与所述一般检查区域不同的阈值对所述第二边缘部hep进行检查。对于所述第二边缘部hep，可利用比所述一般检查区域低的基准(大的误差范围)进行检查。
93.与此不同地，所述检查部400也可从检查区域排除所述第二边缘部hep。
94.根据本实施例，可基于按照显示基板gl内的各个位置的明亮度来提取单元边缘ce，并且可基于所述单元边缘ce的第一方向d1上的最外廓线和第二方向d2上的最外廓线来设定矩形形状的扩张关注区域eroi，从而可最小化非检查区域。
95.此外，可基于按照显示基板gl内的各个位置的明亮度来辨别显示基板gl内的特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt，并且可利用分级检查条件对一般检查区域和所述特异形状部cr1、cr2、cr3、cr4、nt同时进行检查来缩短检查时间。
96.图12是示出由图1的显示基板检查装置的拍摄装置拍摄到的区域的例示的示意图。图13是示出由图4的单元边缘判断部判断出的单元边缘的示意图。图14是示出由图4的关注区域判断部判断出的扩张关注区域的示意图。
97.本实施例涉及的显示基板检查方法和显示基板检查装置除了显示基板内的单元的形状以外，与图1至图11的显示基板检查方法和显示基板检查装置实质上相同，因此对于相同或相似的构成要素，使用相同的符号，并且省略重复的说明。
98.参照图1至图4以及图12至图14，将由所述拍摄装置拍摄到的区域的一部分定义为拍摄区域cp。
99.参照图12，所述拍摄区域cp被表示为矩形，并且用虚线示出了形成在所述拍摄区域cp内的单元。
100.参照图13，所述单元边缘判断部100可基于按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度，判断所述单元cl的单元边缘ce。所述单元边缘ce可基于所述按照各个位置的明亮度而识别到所述单元cl的四个角部的倒角部，并且也识别到形成在所述单元区域内的上部的圆形的孔(hole)形状部ch。
101.在本实施例中，所述单元边缘ce的内部区域中除了所述孔形状部ch以外的区域可被定义为一般检查区域。所述孔形状部ch可为未配置所述像素图案的区域或者具有与所述一般检查区域不同的像素密度的区域。例如，所述孔形状部ch的像素密度可小于所述一般检查区域的像素密度。
102.参照图14，所述关注区域判断部200可基于所述单元边缘ce的所述第一方向d1上的最外廓位置和所述单元边缘ce的第二方向d2上的最外廓位置，设定扩张关注区域eroi。将所述单元边缘ce的最左侧的边上下扩张、将最右侧的边上下扩张、将所述单元边缘ce的最上侧的边左右扩张并且将最下侧的边左右扩张而形成的矩形可为所述扩张关注区域eroi。
103.在现有技术的方式中，基于所述单元边缘ce的所述第一方向d1上的最内侧位置和所述单元边缘ce的第二方向d2上的最内侧位置，设定了以往的关注区域roi。在图14中一同示出了以往的关注区域roi和本实施例的扩张关注区域eroi。
104.在图14中，可基于按照所述显示基板gl的各个位置的明亮度，判断所述扩张关注区域eroi内的特异形状部。
105.所述特异形状部可包括形成在所述扩张关注区域eroi与所述单元边缘ce的角部边框之间的倒角部cr1、cr2、cr3、cr4。
106.此外，所述特异形状部可包括配置在所述单元边缘ce的内部区域的孔(hole)形状部ch。所述孔形状部ch可为配置显示装置的相机的区域。与此不同地，所述孔形状部ch可为配置显示装置的传感器的区域。
107.例如，所述孔形状部ch可在所述单元边缘ce的内部区域形成为闭合曲线形态。
108.所述检查部400可根据按照所述单元cl内的各个区域的特性，设定分级检查条件，从而同时对所述扩张关注区域eroi进行检查。
109.例如，所述检查部400可对所述一般检查区域设定第一误差阈值，并且可对所述孔形状部ch设定比所述第一误差阈值大的第二误差阈值。即，由于所述孔形状部ch具有与所述一般检查区域不同的明亮度特性，因此可利用与所述一般检查区域不同的阈值对所述孔形状部ch进行检查。对于所述孔形状部ch，可利用比所述一般检查区域低的基准(大的误差范围)进行检查。
110.与此不同地，所述检查部400也可从检查区域排除所述孔形状部ch。
111.例如，所述检查部400可对所述一般检查区域设定所述第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域eroi的所述第一方向d1的一端处沿所述第二方向d2延伸的第一边缘部vep设定比所述第一误差阈值大的第三误差阈值。
112.与此不同地，所述检查部400也可从检查区域排除所述第一边缘部vep。
113.例如，所述检查部400可对所述一般检查区域设定所述第一误差阈值，并且可对在所述扩张关注区域eroi的所述第二方向d2的一端沿所述第一方向d1延伸的第二边缘部hep设定比所述第一误差阈值大的第四误差阈值。
114.与此不同地，所述检查部400也可从检查区域排除所述第二边缘部hep。
115.根据本实施例，可基于按照显示基板gl内的各个位置的明亮度来提取单元边缘ce，并且可基于所述单元边缘ce的第一方向d1上的最外廓线和第二方向d2上的最外廓线来设定矩形形状的扩张关注区域eroi，从而最小化非检查区域。
116.此外，可基于按照显示基板gl内的各个位置的明亮度来辨别显示基板gl内的特异形状部，并且可利用分级检查条件对一般检查区域和所述特异形状部同时进行检查，从而缩短检查时间。
117.(产业上的可利用性)
118.根据以上说明的本发明涉及的显示基板检查装置和显示基板检查方法，可通过将光学检查的关注区域扩张为最大来最小化非检查区域。
119.以上，参照各实施例进行了说明，但是本领域技术人员应当能够理解在不脱离权利要求书所记载的本发明的思想以及领域的范围内可以对本发明进行各种修正以及变更。