技术特征：
1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括输送机构和至少一个喷淋机构，所述输送机构具有用于承载并输送玻璃基板的输送面，所述输送面与水平面呈夹角，所述喷淋机构包括两个喷淋管，所述喷淋管包括管本体和若干喷嘴，所述喷嘴间隔设置在所述管本体上且朝向所述输送面，蚀刻液从所述喷嘴喷出，所述喷淋管设置在所述输送面上方，两个所述管本体的中心线重合。2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述管本体具有第一端和第二端，所述第一端封闭，所述蚀刻液从所述第二端注入，两个所述喷淋管的所述第一端相对设置。3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述喷淋机构还包括连接套筒，所述连接套筒两端开口，所述管本体的所述第一端插入所述连接套筒内。4.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，所述连接套筒内设有第一空腔和两个第二空腔，所述第一空腔为圆柱形，所述第二空腔为圆台形，所述第二空腔的小端与所述第一空腔的端部连接，所述第二空腔的小端的直径等于所述第一空腔的直径。5.根据权利要求4所述的蚀刻装置，其特征在于，所述管本体的所述第一端的外径等于所述第一空腔的直径。6.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，所述喷淋机构中的所述喷嘴等间距设置。7.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，所述连接套筒的长度小于相邻两个所述喷嘴之间的距离。8.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述管本体的中心线与所述输送面平行。9.根据权利要求8所述的蚀刻装置，其特征在于，所述输送面与水平面的夹角为15度。10.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述喷淋机构的数量大于等于两个，所述喷淋机构沿所述玻璃基板的输送方向间隔设置。
技术总结
本实用新型公开一种蚀刻装置，包括输送机构和至少一个喷淋机构，输送机构具有用于承载并输送玻璃基板的输送面，输送面与水平面呈夹角，喷淋机构包括两个喷淋管，喷淋管包括管本体和若干喷嘴，喷嘴间隔设置在管本体上且朝向所述输送面，蚀刻液从喷嘴喷出，喷淋管设置在输送面上方，两个管本体的中心线重合。两个独立的喷淋管设置在不同的高度上，通过向位置较低的喷淋管中通入较大压力和流量的蚀刻液，向位置较高的喷淋管中通入较小压力和流量的蚀刻液，能减小玻璃基板上各处铜膜蚀刻速率的差异，避免发生蚀刻不充分及过度蚀刻的现象，提高蚀刻质量。高蚀刻质量。高蚀刻质量。
技术研发人员：黄远科
受保护的技术使用者：乐金显示光电科技（中国）有限公司
技术研发日：2021.06.25
技术公布日：2021/12/3
再多了解一些
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