磁栅精度校准检测装置及其检测方法与流程

技术特征：
1.磁栅精度校准检测装置，其特征在于，包括：基座(100)，其上部布设有气浮导轨(1)；气浮滑块(2)，其与所述气浮导轨(1)滑动连接；所述基座(100)上形成有与所述气浮导轨(1)平行的用于容纳待检磁栅带(6)的导向槽(101)；所述气浮滑块(2)装设有磁栅读数头(5)；以及两个光栅带(3、11)，其装设在所述基座(100)上并对称地分布在所述导向槽(101)两侧，所述光栅带(3、11)的光栅读数头(4、12)设置于所述气浮滑块(2)上，从而驱动所述气浮滑块(2)使两个所述光栅带(3、11)形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带(6)。2.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；两个所述光栅读数头(4、12)中心连线形成第一定位基准线a，所述磁栅读数头(5)的中心重合于所述第一定位基准线a。3.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置及其检测方法，其特征在于；所述导向槽(101)宽度方向与所述待检磁栅带(6)间隙配合，所述导向槽(101)底壁布设有用于吸附所述待检磁栅带(6)的负压吸附结构。4.根据权利要求3所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述负压吸附结构包括沿所述导向槽(101)底壁长度方向开设的吸气孔(103)和布设在所述基座(100)内部并与所述吸气孔(103)连通的负压管路(102)；所述负压管路(102)通过接头(10)与负压吸附系统气路连接。5.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述基座(100)对应所述导向槽(101)两端均布设有能够旋转的收揽盘(9、13)，用于收纳所述待检磁栅带(6)，所述收揽盘(9、13)通过支架(8)与所述基座(100)固定连接。6.根据权利要求5所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述导向槽(101)两端均装设有固定扣(7)，用于固定所述待检磁栅带(6)端部。7.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述基座(100)为大理石工作台。8.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述光栅带(3、11)为钢带光栅。9.磁栅精度校准检测方法，使用权利要求1
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8任一项所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；该方法包括以下步骤：步骤一，提供所述待检磁栅带(6)；步骤二，将所述待检磁栅带(6)铺满所述导向槽(101)，测量所述待检磁栅带(6)的实际物理长度为l2；步骤三，驱动所述气浮滑块(2)沿所述气浮导轨(1)位移，获取所述第一基准轴线和所述第二基准轴线；步骤四，获取校核基准轴线长度；根据公式：
其中，l1为所述第一基准轴线的长度，l4为所述第二基准轴线的长度，从而计算出所述校核基准轴线长度为l3，从而在所述第一定位基准线a上获得l3和l2之间的阿贝臂为l6。10.根据权利要求9所述的磁栅精度校准检测方法，其特征在于；所述第一基准轴线和所述第二基准轴线、以及所述待检磁栅带(6)的实际物理长度的测量起点为所述第一定位基准线a；其中，所述气浮滑块(2)行程末端为第二定位基准线b；所述第一基准轴线和所述第二基准轴线、以及所述待检磁栅带(6)的实际物理长度的测量终点为所述第二定位基准线b。

技术总结
本发明公开了一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法，属于直线计量元件精度检测设备技术领域，本发明设置有基座，其上部布设有气浮导轨；气浮滑块与所述气浮导轨滑动连接；所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽，所述气浮滑块装设有磁栅读数头；以及两个光栅带，其装设在所述基座上并对称地分布在所述导向槽两侧，所述光栅带、的光栅读数头、设置于所述气浮滑块上，从而驱动所述气浮滑块使两个所述光栅带、形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带，本发明实现了在对磁栅尺进行精度检测时，使用双基准来消除阿贝误差，具有提高检测精度的有益效果。精度的有益效果。精度的有益效果。


技术研发人员：曹彬 温琚玲
受保护的技术使用者：长光（沧州）光栅传感技术有限公司
技术研发日：2021.09.28
技术公布日：2021/12/3