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一种腐蚀效果好的全自动多晶硅块腐蚀装置的制作方法

2021-12-01 14:11:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型属于多晶硅块腐蚀技术领域,具体涉及一种腐蚀效果好的全自动多晶硅块腐蚀装置。


背景技术:

2.多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。
3.多晶硅块因为长时间放置,需要对其表氧化层进行腐蚀去除,现有的工艺为多晶硅硅块经过一定比例的氢氟酸(电子级)和硝酸(电子级)混酸腐蚀,从而得到多晶硅块,但是现有的腐蚀装置中腐蚀液和多晶硅块之间的比例不方便控制,容易导致腐蚀效果不好,为此我们提出一种腐蚀效果好的全自动多晶硅块腐蚀装置。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种腐蚀效果好的全自动多晶硅块腐蚀装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种腐蚀效果好的全自动多晶硅块腐蚀装置,包括外壳,所述外壳的顶部固定安装有电动液压杆,所述电动液压杆的输出端穿过外壳固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有第一称重传感器,所述第一称重传感器的底部固定连接有放料网篮,所述外壳顶端的两侧均固定连接有支撑架,两个所述支撑架顶部的两侧均固定安装有第二称重传感器,四个所述第二称重传感器的顶部分别与两个储液罐底部的两侧固定连接,所述外壳的两侧均固定连接有水箱,两个所述水箱的底部分别与两个出水管的一端固定相通,两个所述出水管的另一端分别穿过外壳与两个喷头的输入端固定连接,所述外壳的底端与排出管的一端固相通,所述外壳底部的两侧均固定连接有支撑脚。
6.优选的,所述放料网篮的一侧通过合页铰接有网门,所述网门的一侧开设有腔室,所述腔室的内部固定设有弹簧,所述弹簧的一端固定连接有卡块,所述放料网篮的另一侧开设有卡槽,所述卡块的一端与卡槽的内部卡合连接。
7.优选的,所述外壳顶部的两侧分别与两个进液管的一端插接,两个所述进液管的另一端分别与两个储液罐的底端固定相通,两个所述进液管的中部均固定安装有第一阀门。
8.优选的,两个所述储液罐的一侧均固定设有观察窗。
9.优选的,所述外壳的一侧固定安装有组合开关和显示屏,所述电动液压杆、电机、两个水泵、显示屏、四个第二称重传感器和第一称重传感器均通过组合开关与外接电源电性连接,四个所述第二称重传感器和第一称重传感器通过导线与显示屏电性连接。
10.优选的,两个所述喷头均固定安装于外壳内中部的两侧,两个所述水箱的一侧均开设有进水口。
11.优选的,所述外壳顶部的一侧固定设有封闭门。
12.优选的,所述排出管的中部固定安装有第二阀门。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14.(1)、当多晶硅块放入放料网篮内部时,第一称重传感器会将增长的示数反馈于显示屏上,再控制第一阀门,使得储液罐内部的腐蚀液通过进液管进入外壳内,直到第一称重传感器将储液罐减少的腐蚀液重量反馈于显示屏上,根据第一称重传感器反馈的数据和第二称重传感器反馈的数据形成一定比例后,关闭第一阀门即可,此时即可控制好多晶硅块和腐蚀液之间比例,从而提升腐蚀效果。
15.(2)、通过电动液压杆将电机往下移动,直到放料网篮深入腐蚀液内部,此时使得电机工作,带动放料网篮转动,使得放料网篮内部的多晶硅块与腐蚀液更好的接触,提升腐蚀效果,腐蚀结束后,经由喷头喷出的清水也可以对多晶硅块进行漂洗,方便使用者取出多晶硅块。
附图说明
16.图1为本实用新型的平面结构示意图;
17.图2为本实用新型的图1中a处局部放大连接示意图;
18.图3为本实用新型的图1中b处局部放大连接示意图;
19.图4为本实用新型的放料网篮连接示意图;
20.图5为本实用新型的图4中c处局部放大连接示意图;
21.图6为本实用新型的封闭门结构示意图。
22.图中:1、外壳;2、支撑脚;3、排出管;4、放料网篮;5、第一称重传感器;6、电机;7、第一阀门;8、电动液压杆;9、观察窗;10、储液罐; 11、支撑架;12、水箱;13、第二称重传感器;14、水泵;15、出水管;16、喷头;17、腔室;18、卡块;19、卡槽;20、网门;21、弹簧;22、封闭门; 23、进液管。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1

图6,本实用新型提供一种腐蚀效果好的全自动多晶硅块腐蚀装置,包括外壳1,外壳1的顶部固定安装有电动液压杆8,电动液压杆8 的输出端穿过外壳1固定连接有电机6,电机6的输出端固定连接有第一称重传感器5,第一称重传感器5的底部固定连接有放料网篮4,外壳1顶端的两侧均固定连接有支撑架11,两个支撑架11顶部的两侧均固定安装有第二称重传感器13,四个第二称重传感器13的顶部分别与两个储液罐10底部的两侧固定连接,外壳1的两侧均固定连接有水箱12,两个水箱12的底部分别与两个出水管15的一端固定相通,两个出水管15的另一端分别穿过外壳1与两个喷头16的输入端固定连接,外
壳1的底端与排出管3的一端固相通,外壳 1底部的两侧均固定连接有支撑脚2。
25.本实施例中,优选的,放料网篮4的一侧通过合页铰接有网门20,网门 20的一侧开设有腔室17,腔室17的内部固定设有弹簧21,弹簧21的一端固定连接有卡块18,放料网篮4的另一侧开设有卡槽19,卡块18的一端与卡槽19的内部卡合连接,方便上料和卸料。
26.本实施例中,优选的,外壳1顶部的两侧分别与两个进液管23的一端插接,两个进液管23的另一端分别与两个储液罐10的底端固定相通,两个进液管23的中部均固定安装有第一阀门7,方便控制腐蚀液的进入。
27.本实施例中,优选的,两个储液罐10的一侧均固定设有观察窗9,方便观察储液罐10的内部情况。
28.本实施例中,优选的,外壳1的一侧固定安装有组合开关和显示屏,电动液压杆8、电机6、两个水泵14、显示屏、四个第二称重传感器13和第一称重传感器5均通过组合开关与外接电源电性连接,四个第二称重传感器13 和第一称重传感器5通过导线与显示屏电性连接,方便控制整个流程。
29.本实施例中,优选的,两个喷头16均固定安装于外壳1内中部的两侧,两个水箱12的一侧均开设有进水口,方便对多晶硅块清洗。
30.本实施例中,优选的,外壳1顶部的一侧固定设有封闭门22,方便封闭外壳1。
31.本实施例中,优选的,排出管3的中部固定安装有第二阀门,方便放出外壳1内的废水。
32.本实用新型的工作原理及使用流程:该装置使用时,先打开封闭门22,往右移动卡块18,使得弹簧21被压缩,卡块18与卡槽19脱离,然后打开网门20,将多晶硅块放入放料网篮4内,再往里推动网门20,使得卡块18与卡槽19卡合,此时第一称重传感器5会将放料网篮4增长的重量反馈于显示屏上,然后根据显示屏数据的变化,打开第一阀门7,使得储液罐10的腐蚀液经由进液管23进入外壳1内,此时储液罐10减少的重量会被第二称重传感器13检测,然后反馈于显示屏上,直到进入外壳1内腐蚀液的重量和放料网篮4内多晶硅块的重量形成一定比例后,使得第一阀门7关闭即可,然后操控组合开关,使得电动液压杆8伸出,使得电机6往下移动,直到放料网篮4完全没入腐蚀液内,关上封闭门22,通过操控组合开关,使得电机6工作,带动放料网篮4转动,等到腐蚀完成后,打开第二阀门,使得废水从排出管3排出,使得水泵14工作,将水箱12内的清水经由出水管15,再进入喷头16喷出,从而对放料网篮4内部的多晶硅块进行漂洗,漂洗完成后,打开封闭门22,再移动卡块18,打开网门20,取出多晶硅块即可。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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