全兼容变节距机构的制作方法

1.本实用新型涉及硅片生产技术领域，特别涉及一种全兼容变节距机构。


背景技术：

2.硅片是最重要的半导体材料，目前90％以上的芯片和传感器是基于半导体单晶硅片制造而成。硅片是由纯度很高的结晶硅制成，与其他材料相比，结晶硅的分子结构非常稳定，很少有自由电子产生，因此其导电性极低。
3.使用过后的硅片要经过整理后送去清洗，而由于硅片很脆弱，人员在整理硅片过程中，用手拿取或用镊子夹取硅片都极易造成硅片的破损。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种全兼容变节距机构。
5.本实用新型所采用的技术方案如下：
6.一种全兼容变节距机构，包括驱动模块和夹紧模块；所述驱动模块为滚珠丝杠型直线模组；所述夹紧模块包括一组夹板；所述夹板上设置多个梳齿；所述一组夹板的梳齿相对；所述夹板的一侧固定在第二滑块之上；所述第二滑块固定在所述驱动模块的滚珠丝杠的丝母之上。
7.其进一步的技术特征在于：所述多个梳齿沿所述夹板的长度方向等间距设置。
8.其进一步的技术特征在于：所述夹板上固定第一支撑板；所述第一支撑板的一侧固定滑动块；所述滑动块的背面固定第一滑块；所述第一滑块和第一导轨嵌合；所述第一导轨固定在导轨安装板之上；所述导轨安装板和所述第二滑块贴合。
9.其进一步的技术特征在于：所述导轨安装板之上还固定气缸安装座；所述气缸安装座之上安装气缸；所述气缸的活塞杆连接第一支撑板。
10.其进一步的技术特征在于：所述导轨安装板包括第一安装板和第二安装板；所述第一安装板和所述第二安装板相互贴合。
11.其进一步的技术特征在于：所述驱动模块的一侧安装传感器支架；所述传感器支架上安装一个或多个传感器。
12.其进一步的技术特征在于：所述全兼容变节距机构还包括固定模块；所述固定模块支承所述驱动模块和所述夹紧模块。
13.其进一步的技术特征在于：所述固定模块包括筋板、底板和立板；所述立板和所述底板垂直连接；所述筋板的一侧抵接所述立板，所述筋板的另一侧抵接所述底板。
14.本实用新型的有益效果如下：
15.1、本实用新型结构简单、成本低廉、效率高、稳定可靠。
16.2、本实用新型调节精度较高，消除了硅片来料时可能存在的各种误差。
17.3、本实用新型降低操作人员的劳动强度，满足大规模生产需求。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图。
19.图2为本实用新型的主视图。
20.图3为本实用新型的爆炸图。
21.图4为夹紧模块的结构示意图。
22.图5为驱动模块的结构示意图。
23.图中：1、固定模块；101、筋板；102、底板；103、立板；2、驱动模块；201、传感器；202、传感器支架；3、夹紧模块；301、夹板；302、梳齿；303、第一导轨；304、第一滑块；305、气缸；306、滑动块；307、第一安装板；308、第二安装板；309、第二滑块；310、第一支撑板；311、气缸安装座。
具体实施方式
24.关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图对实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本实用新型，此外，在全部实施例中，相同的附图标号表示相同的元件。
25.下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。
26.图1为本实用新型的结构示意图，图2为本实用新型的主视图，图3为本实用新型的爆炸图，图5为驱动模块的结构示意图。结合图1～图3和图5，一种全兼容变节距机构，包括驱动模块2和夹紧模块3。驱动模块2为滚珠丝杠型直线模组。滚珠丝杠型直线模组包括滚珠丝杠、滚珠丝杠支撑座和电机，电机的输出轴通过联轴器连接滚珠丝杠，滚珠丝杠安装在滚珠丝杠支撑座内，电机的缸体固定在滚珠丝杠支撑座上。
27.图4为夹紧模块的结构示意图。结合图3和图4，夹紧模块3包括一组夹板301。夹板301上设置多个梳齿302。多个梳齿302沿夹板301的长度方向等间距设置。相邻两个梳齿302之间的间距根据不同规格的硅片设计。一组夹板301的梳齿302相对。夹板301的一侧固定在第二滑块309之上。第二滑块309固定在驱动模块2的滚珠丝杠的丝母之上。
28.夹板301上固定第一支撑板310。第一支撑板310的一侧固定滑动块306。滑动块306的背面固定第一滑块304。第一滑块304和第一导轨303嵌合。第一导轨303固定在导轨安装板之上。导轨安装板和第二滑块309贴合。本实施例中，导轨安装板包括第一安装板307和第二安装板308。第一安装板307和第二安装板308相互贴合。
29.驱动模块2的一侧安装传感器支架202。传感器支架202上安装一个或多个传感器201。
30.全兼容变节距机构还包括固定模块1。固定模块1支承驱动模块2和夹紧模块3。固定模块1包括筋板101、底板102和立板103。立板103和底板102垂直连接。筋板101的一侧抵接立板103，筋板101的另一侧抵接底板102。筋板101加强立板103受力不变形，加强承受能力。
31.本实用新型的工作原理如下：
32.启动驱动模块2的电机，电动的输出轴带动滚珠丝杠旋转，滚珠丝杠的丝母带动第二滑块309滑动。驱动模块2的传感器201可实现自动调宽调窄，从而实现兼容市面上所有规
格的硅片。
33.同时，启动气缸305，气缸305的活塞杆的收缩或顶升推动滑动块306沿第一导轨303的方向滑动，滑动块306带动第一支撑板310运动，第一支撑板310带动夹板301运动，可解决硅片来料不齐的问题。
34.电机的型号和功率为本技术领域的公知常识，由本领域的技术人员根据需要选择和调整。
35.在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。


技术特征：
1.一种全兼容变节距机构，其特征在于：包括驱动模块(2)和夹紧模块(3)；所述驱动模块(2)为滚珠丝杠型直线模组；所述夹紧模块(3)包括一组夹板(301)；所述夹板(301)上设置多个梳齿(302)；所述一组夹板(301)的梳齿(302)相对；所述夹板(301)的一侧固定在第二滑块(309)之上；所述第二滑块(309)固定在所述驱动模块(2)的滚珠丝杠的丝母之上。2.根据权利要求1所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述多个梳齿(302)沿所述夹板(301)的长度方向等间距设置。3.根据权利要求1所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述夹板(301)上固定第一支撑板(310)；所述第一支撑板(310)的一侧固定滑动块(306)；所述滑动块(306)的背面固定第一滑块(304)；所述第一滑块(304)和第一导轨(303)嵌合；所述第一导轨(303)固定在导轨安装板之上；所述导轨安装板和所述第二滑块(309)贴合。4.根据权利要求3所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述导轨安装板之上还固定气缸安装座(311)；所述气缸安装座(311)之上安装气缸(305)；所述气缸(305)的活塞杆连接第一支撑板(310)。5.根据权利要求3或4所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述导轨安装板包括第一安装板(307)和第二安装板(308)；所述第一安装板(307)和所述第二安装板(308)相互贴合。6.根据权利要求1所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述驱动模块(2)的一侧安装传感器支架(202)；所述传感器支架(202)上安装一个或多个传感器(201)。7.根据权利要求1所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述全兼容变节距机构还包括固定模块(1)；所述固定模块(1)支承所述驱动模块(2)和所述夹紧模块(3)。8.根据权利要求7所述的全兼容变节距机构，其特征在于：所述固定模块(1)包括筋板(101)、底板(102)和立板(103)；所述立板(103)和所述底板(102)垂直连接；所述筋板(101)的一侧抵接所述立板(103)，所述筋板(101)的另一侧抵接所述底板(102)。

技术总结
本实用新型涉及一种全兼容变节距机构，包括驱动模块和夹紧模块；驱动模块为滚珠丝杠型直线模组；夹紧模块包括一组夹板；夹板上设置多个梳齿；一组夹板的梳齿相对；夹板的一侧固定在第二滑块之上；第二滑块固定在驱动模块的滚珠丝杠的丝母之上。本实用新型适应不同规格的硅片，可解决硅片来料不齐问题。可解决硅片来料不齐问题。可解决硅片来料不齐问题。


技术研发人员：吴廷斌 张学强 张建伟 罗银兵 黄亚云
受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日：2021.01.06
技术公布日：2021/11/24