一种钽酸铌36的制作方法

一种钽酸铌36
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y
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x切型阻抗元结构声表滤波器
技术领域
1.本发明属于声表面技术领域，具体涉及一种钽酸铌36
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x切型阻抗元结构声表滤波器。


背景技术：

2.现在，无论是军事或民用领域，无线电信号l波段及s波段的应用非常广泛，市场对信号带宽从0.1％至20％，小尺寸低损耗的声表面波滤波器的需求很大，在这两个波段设计低损耗声表滤波器，一般采用阻抗元结构，使用的材料一般为不同切型的钽酸锂(42
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litao3)，铌酸锂(41
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linbo3，15
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linbo3)。现采用阻抗元结构成熟技术解决了l波段及s波段的信号带宽从2％左右到15％左右小尺寸低损耗声表滤波器。由于42
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litao3，41
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linbo3，15
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linbo3的机电耦合系数较大，但信号带宽1％左右的窄带，高矩形度，高阻带，小延时耐功率高可靠性的声表滤波器还没有研制成功，本发明就是第一次采用机电耦合系数较小的36
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lt(钽酸铌阻)及阻抗元结构成功研制声高频窄带表滤波器件。查阅国内外文献，还没发现采用litao3(钽酸铌)36
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x切型阻抗元结构设计声表滤波器的。


技术实现要素：

3.为了能够对l波段及s波段信号带宽1％左右的窄带、高矩形度、高阻带、小延时耐功率等高可靠性的滤波，本发明提出一种钽酸铌36
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x切型阻抗元结构声表滤波器，包括利用钽酸铌36
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x切型设计制作的串联臂ie1、并联臂ie2以及串联臂ie3的声表滤波器，此声表滤波器的输入由串臂ie1和并臂ie2及串臂ie3构成输入端，且输出端与此声表滤波器的输入为镜面对称，并臂ie2并联设置一个并联电容。
4.本发明制成l波段及s波段信号带宽1％左右的窄带、高矩形度、高阻带、小延时耐功率等高可靠性的小尺寸声表滤波器，解决通讯领域窄带滤波问题，实现高抑制提纯信号。
附图说明
5.图1为二端口网络阻抗元原理示意图；
6.图2为本发明二端口网络阻抗元设计电路示意图；
7.图3为本发明二端口网络阻抗元设计电路电磁效应示意图；
8.图4为本发明芯片粘片点焊示意图；
9.图5为本发明一种钽酸铌36
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y
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x切型阻抗元结构声表滤波器频响图。
具体实施方式
10.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
11.本发明提出一种钽酸铌36
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x切型阻抗元结构声表滤波器，如图2，包括利用钽酸铌36
°
y
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x切型制作的第一栅极(串臂ie1)、第二栅极(并臂ie2)以及第三栅极(串臂ie3)，声表滤波器的输入由第一栅极(串臂ie1)和第二栅极(并臂ie2)与第三栅极(串臂ie3)级联构成，声表滤波器的输出与它的输入为镜面对称，且在第二栅极(并臂ie2)设置一个并联电容。
12.如图3，阻抗元2t结构包括串联阻抗y
s
、并联阻抗y
p
、输入电压e
in
、输出电压e
out
，本发明用36
°
lt阻抗元设计声表滤波器的结构二端口网络如图3，声表滤波器串臂为ie1、ie3，并臂为ie2，这是一个由串臂和关臂组成2t结构的二端口网络；rl和l是火线的点焊线的阻抗和电感，ly是接地线的电感；cp是外壳接地电容，cd是外壳在输入输出两个端口的桥电容；输入端口用
①
表示，输出端口用
②
表示；m是火线之间的互感，m2是地线之间的互感，m1是火线与较远地线之间的互感，m3是火线与较近地线之间的互感；cad12、cad22分别是并臂ie2两端的电容，根据图3中给出的参数，本领域技术人员可以根据具体应用场景调节串臂ie1、ie3，并臂ie2以及与并臂ie2并联的阻抗，来实现具体带宽范围等要求，这是本领域技术人员可以通过已有公式进行计算获取的，本处不再赘述。
13.实施例1
14.本实施例给出一种具体实施方式，在本实施例中，基片材料以及滤波器相关参数如表1所示。
15.表1
[0016][0017]
实施例2
[0018]
本实施例在实施例1的基础上成功研制一款频率为1600mhz低损耗、高矩形度、高阻带、小延时耐功率小尺寸声表滤波器,该滤波器指标见表2，36
°
lt(钽酸铌)材料com参数见表3。
[0019]
表2滤波器指标
[0020][0021][0022]
表3 36
°
lt材料com参数
[0023][0024]
图3为一具体实施例芯片粘片点焊示意图，可以从图中看出，外壳有10个点焊块，分别标注如图所示，其中3、8块点火线，4、5、6、7、10块点地，2、9块悬空。
[0025]
从图5可以看出，有4条曲线，其中幅频响应曲线s21有两种，一种是在y方向上每格10db的频响曲线，另一种是在y方向每格1db的频响曲线。另两种曲线分别表示s11端，s22端的驻波。
[0026]
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“外”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0027]
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋转”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0028]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种钽酸铌36
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x切型阻抗元结构声表滤波器，其特征在于，包括利用钽酸铌36
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x切型设计制作的串联臂ie1、并联臂ie2以及串联臂ie3的声表滤波器，此声表滤波器的输入由串臂ie1和并臂ie2及串臂ie3构成输入端，且输出端与此声表滤波器的输入为镜面对称，并臂ie2并联设置一个并联电容。

技术总结
本发明属于声表面技术领域，具体涉及一种钽酸铌36


技术研发人员：张显洪 李敏慧 蒋道军 张晟
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第二十六研究所
技术研发日：2021.05.21
技术公布日：2021/11/24