一种热电偶安装结构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种热电偶安装结构。


背景技术：

2.目前的光伏电池片制造设备，比如扩散炉、退火炉、氧化炉、低压化学气相沉积lpcvd、等离子增强化学气相沉积pecvd等大多是采用卧式多管设备，并且多管设备共用一个净化台和上下料设备。其中每根炉管都设置有独立的气路、桨、系统以及加热模块等。在上述的设备中扩散炉用于扩散的工艺，目的是为了制备pn节；退火炉用于激活掺杂元素、改变应力、改变晶态等用途；氧化炉用于在硅片表面制备氧化层；lpcvd设备用于生长隧穿氧化层、本征非晶硅、掺杂非晶硅和二氧化硅薄膜；pecvd设备具有镀氮化硅、碳化硅、氧化硅等功能。其中在炉体上通常设置有热电偶，热电偶是炉体内部控制温度的重要设备。常规的热电偶为内部热电偶，在热电偶的外围还设置有外部石英保护管，石英保护管也设置于炉体的内部；石英保护管用于保护热电偶不受损坏。但是在一些工艺中，由于工艺产物具有粘附和腐蚀性，会逐步破坏石英保护管，另外受应力等因素的影响，石英保护管也容易受到损坏。当石英保护管损坏后，腔体内的工艺产物就会粘附在热电偶上，影响热电偶的稳定性和准确性，甚至损坏热电偶。因此需要一种热电偶的安装结构能够有效避免热电偶受工艺的影响。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种热电偶安装结构，结构简单，使用方便。
4.一种热电偶安装结构，包括腔体、外套管一以及热电偶；热电偶设置于外套管一内部；外套管一从腔体的外部穿过腔体，到达腔体的内部。
5.进一步的，所述腔体上设置有腔体接口，腔体接口设置于腔体的尾部或者腔体的炉盖上。
6.进一步的，所述腔体接口从腔体上向腔体外部延伸，通过腔体接口使腔体外部与腔体内部连通。
7.进一步的，所述腔体接口远离腔体的一端设置有接头二，接头二用于密封连接外套管一。
8.进一步的，所述外套管一呈直管状；外套管一一端设置有接头一，接头一用于固定热电偶。
9.进一步的，所述热电偶包括端子、陶瓷套管以及热电偶丝，热电偶丝设置于陶瓷套管内；陶瓷套管上设置开口，开口内设有热电偶丝探头；陶瓷套管穿过外套管一设置的接头一伸入外套管一，并由接头一实现固定；热电偶的端子位于外套管一的外部。
10.进一步的，所述热电偶还包括外套管二，外套管二设置于陶瓷套管的外周，外套管
二位于陶瓷套管与外套管一之间；外套管二的一端封闭，另一端设置为开口。
11.进一步的，所述外套管一远离接头一的一端封闭。
12.进一步的，所述接头二采用弹簧密封座或弹性密封圈。
13.本实用新型的有益效果为：
14.通过设置外套管一，实现了热电偶与腔体内部工艺产物的实现分离，保证热电偶的测温准确；
15.通过设置接头二实现外套管一与腔体之间密封，使外套管一受到腐蚀损坏后，腔体内的气体会经过外套管一和接头一漏出，导致腔体产生漏气现象，能够通过腔体上原本设置的漏气检测设备快速检测出，并及时更换外套管一，避免工艺产物进一步影响热电偶；
16.通过设置腔体接口，在腔体外部能够直接对热电偶进行更换，并且在更换热电偶的过程中，不需要解除接头二以取下外套管一，不影响腔体的密封性；
17.通过设置外套管二，使外套管一损坏后，也不会沾染到陶瓷套管以及热电偶丝，实现双重保险，保证热电偶丝的安全。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例一中腔体接口设置于腔体的整体示意图；
19.图2为本实用新型实施例一中腔体接口设置于炉盖的整体示意图；
20.图3为本实用新型实施例一中腔体接口设置于腔体的腔体示意图；
21.图4为本实用新型实施例一中外套管一示意图；
22.图5为本实用新型实施例一中热电偶示意图；
23.图6为本实用新型实施例一中陶瓷套管和外套管二的连接示意图。
24.附图标识说明：腔体1、腔体接口11、接头二12、炉盖13、外套管一2、接头一21、热电偶3、端子31、陶瓷套管32、热电偶丝探头33、外套管二4。
具体实施方式
25.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
26.需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
27.实施例一：
28.如图1所示，一种热电偶安装结构，包括腔体1、外套管一2以及热电偶3。其中热电偶3设置于外套管一2内部；外套管一2从腔体1的外部穿过腔体1，达到腔体1的内部。
29.如图2、3所示，所述腔体1上设置有腔体接口11，腔体接口11呈管状，腔体接口11设置于腔体1的尾部或者腔体1的炉盖13上。腔体接口11从腔体1上向腔体1外部延伸，通过腔
体接口11使腔体1外部与腔体1内部连通。腔体接口11远离腔体1的一端设置有接头二12，接头二12用于连接外套管一2，并且保证密封。
30.如图4所示，所述外套管一2呈直管状，外套管一2的一端封闭，另一端设置有接头一21，通过接头一21，能够使热电偶3伸入外套管一2内部。其中外套管一2的密封端通过腔体接口11伸入腔体1内部，进而使外套管一2内部的热电偶3也进入腔体1内部。保证热电偶3的测温准确。
31.如图5、6所示，所述热电偶3包括端子31、陶瓷套管32以及热电偶丝，其中热电偶丝设置于陶瓷套管32内，陶瓷套管32上设置开口，开口内设有热电偶丝探头33；热电偶丝探头33在陶瓷套管32上均匀设置；通过陶瓷套管32上开设的热电偶丝探头33能够准确检测路管内的温度。陶瓷套管32从外套管一2设置接头一21的一端伸入外套管一2，并由接头一21实现固定，需要说明的是接头一21并没有密封作用，仅仅是起到固定作用；热电偶3的端子31位于外套管一2的外部。
32.所述接头一21和接头二12是现有的连接结构，其中接头二12可以采用现有的弹簧密封座或弹性密封圈。
33.所述热电偶3包括外套管二4，其中外套管二4设置于陶瓷套管32的外周，外套管二4位于陶瓷套管32与外套管一2之间；外套管二4的一端封闭，另一端设置为开口。通过外套管二4，在外套管一2漏气时，泄露的反应气体也不会第一时间影响到陶瓷套管32，并且能够及时修复外套管一2，保证外套管一2损坏也不会影响到外套管一2。
34.在实施的过程中热电偶3的陶瓷套管32穿过接头一21，进入外套管一2的内部，并由接头一21实现固定，随后外套管一2穿过设置于腔体1尾部的腔体接口11或者炉盖13上的腔体接口11，进入腔体1内部，并由接头二12实现密封固定。通过设置外套管一2，实现了热电偶3与腔体1内部工艺产物的实现分离，保证热电偶3的测温准确；另一方面外套管一2受到腐蚀损坏后，腔体1内的气体会经过外套管一2和接头一21漏出，导致腔体1产生漏气现象，能够通过腔体1上原本设置有的漏气检测设备快速检测出，并及时更换外套管一2，避免工艺产物进一步影响热电偶3；在腔体1外部能够直接对热电偶3进行更换，并且在更换热电偶3的过程中，不需要解除接头二12以取下外套管一2，不影响腔体1的密封性。
35.以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本

技术实现要素：
和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。