一种晶圆倒盒装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆倒盒装置，其特征在于，包括：框架（1）；工作平台（2），设置在框架（1）内；倒盒机构（3），设置在工作平台（2）上，包括相对设置的第一旋转组件（31）和第二旋转组件（32）；空盒运输机构（4），用于向第二旋转组件（32）提供空晶圆盒或者存储从第一旋转组件（31）运输的空晶圆盒；所述第一旋转组件（31），包括用于承载晶圆盒的第一旋转座（311），第一旋转轴（312）和第一旋转驱动电机（313），第一旋转驱动电机（313）能够驱动第一旋转座（311）绕第一旋转轴（312）旋转，还包括固定于第一旋转座（311）上的第一定位总成（314）和推动总成（319）；所述第一旋转座（311）包括相互垂直的第一发出固定板（3111），第二发出固定板（3112）；所述第一定位总成（314），包括设置于第一发出固定板（3111）上的第一滑动定位座（3140），设置于第一滑动定位座（3140）一侧的两个第一固定定位块（3143），设置于第一滑动定位座（3140）另一侧的两个第一侧边定位块（3144），发出端滑动定位驱动件（3145）推动晶圆盒靠近第一固定定位块（3143）以对晶圆盒（9）进行固定；还包括设置于第二发出固定板（3112）上的远离第一发出固定板（3111）一侧的位置设置有第二固定定位块（3141）；所述滑动定位座（3240）由第二滑动定位驱动件（3246）驱动而使滑动定位座（3240）靠近或者远离第二接收固定板（3212）；所述推动总成（319）用于推动第一旋转组件（31）上晶圆盒（9）内的晶圆进入第二旋转组件（32）上的晶圆盒内；第二旋转组件（32）包括用于承载晶圆盒的第二旋转座（321），第二旋转轴（322）和第二旋转驱动电机（323），第二旋转驱动电机（323）能够驱动第二旋转座（321）绕第二旋转轴（322）旋转；第二旋转座（321）包括相互垂直的第一接收固定板（3211）和第二接收固定板（3212）；第二定位总成（324），包括设置于第一接收固定板（3211）上的第二滑动定位座（3240），设置于第二滑动定位座（3240）一侧的两个第三固定定位块（3243），设置于第二滑动定位座（3240）另一侧的两个第二侧边定位块（3244），接收端滑动定位驱动件（3245）推动晶圆盒靠近第三固定定位块（3243）以对进行固定；还包括设置于第二接收固定板（3212）上的远离第一接收固定板（3211）一侧的位置设置有第四固定定位块（3241）。2.根据权利要求1所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，所述推动总成（319）包括推杆（3191），推动滑轨（3192）和推动驱动器（3193），推动驱动器（3193）驱动推杆（3191）在推动滑轨（3192）上运动，使推杆（3191）穿过第一旋转座（311）上的第一过孔（31111）推动晶圆盒内的晶圆进入第二旋转组件（32）上的晶圆盒完成倒盒。3.根据权利要求1所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，第一侧边定位块（3144）、第二侧边定位块（3244）、第一固定定位块（3143）、第二固定定位块（3141）、第三固定定位块（3243）和第四固定定位块（3241）均为l形。4.根据权利要求1所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，第二发出固定板（3112）和第二接
收固定板（3212）上分别设置有滚轮（33）支撑固定第一滑动定位座（3140）和第二滑动定位座（3240）。5.根据权利要求1所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，第二滑动定位座（3240）由第二滑动定位驱动件（3246）驱动而使第二滑动定位座（3240）靠近或者远离第二接收固定板（3212）；第一滑动定位座（3140）由第一滑动定位驱动件（3146）驱动而使第一滑动定位座（3140）靠近或者远离第二发出固定板（3112）。6.根据权利要求1所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，在第二旋转组件（32）处还设置有升降组件（329），用于顶起第二旋转组件（32）的晶圆盒。7.根据权利要求6所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，所述升降组件（329）包括升降块（3291）及升降驱动件（3292），升降驱动件（3292）驱动升降块（3291）从第二过孔（32111）处穿出，以将晶圆盒顶出升起。8.根据权利要求1所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，第二发出固定板（3112）和第二接收固定板（3212）中间位置的还设置有用于卡住晶圆盒边缘的卡块。9.根据权利要求8所述的晶圆倒盒装置，其特征在于，所述卡块中间具有v形卡槽。

技术总结
本申请涉及一种晶圆倒盒装置，用于将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒完成倒盒。需要进行倒盒时，满载晶圆的晶圆盒放置到第一旋转组件上，空的晶圆盒放置到第二旋转组件上，第一旋转组件和第二旋转组件旋转使晶圆盒相对设置，之后由推动总成推动第一旋转组件上的晶圆盒内的晶圆推动到第二旋转组件上的晶圆盒内，而后，第一旋转组件和第二旋转组件旋转回归图位置，满载晶圆的晶圆盒和空的晶圆盒均被机械手抓走，可继续进行下一个晶圆的转移。可继续进行下一个晶圆的转移。可继续进行下一个晶圆的转移。


技术研发人员：钱诚 童建 周志勇 霍召军
受保护的技术使用者：江苏亚电科技有限公司
技术研发日：2021.10.26
技术公布日：2021/11/24