热交换器温控方法及温控系统与流程

技术特征：
1.一种热交换器温控方法，其特征在于：包括：获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差；确定制冷量标准差小于或等于第一阈值；确定当前周期输出的制冷量大于或等于制冷量平均值与第二阈值之差，且小于或等于制冷量平均值与第二阈值之和；设定当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值。2.根据权利要求1所述的热交换器温控方法，其特征在于：第n个周期获取的前i个周期输出的制冷量平均值其中，cn为第n个周期输出的制冷量。3.根据权利要求2所述的热交换器温控方法，其特征在于：第n个周期获取的前i个周期输出的制冷量标准差4.根据权利要求3所述的热交换器温控方法，其特征在于：所述第二阈值c＝b
×
σ
n
，其中b为制冷量标准差的修正系数。5.根据权利要求1所述的热交换器温控方法，其特征在于：在当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值的情况下，pid参数中积分系数和微分系数由原始修改为0。6.根据权利要求1所述的热交换器温控方法，其特征在于：还包括：确定当前周期输出的制冷量小于制冷量平均值与第二阈值之差，或大于制冷量平均值与第二阈值之和；当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期输出的制冷量。7.根据权利要求1至6任意一项所述的热交换器温控方法，其特征在于：还包括：确定当前周期的前i个周期输出的制冷量标准差大于第一阈值；当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期输出的制冷量。8.根据权利要求7所述的热交换器温控方法，其特征在于：在当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期输出的制冷量的情况下，pid参数中积分系数和微分系数为原始参数。9.根据权利要求1所述的热交换器温控方法，其特征在于：在所述获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差的步骤前还包括：根据水箱的入口温度和入口目标温度，启用pid控制器；记录各周期输出的制冷量。10.一种应用权利要求1至9任意一项所述的热交换器温控方法进行温控的温控系统，其特征在于：包括热交换器、水箱和泵体，所述热交换器的吸热通路用于与制冷系统连通形成制冷回路，所述热交换器的放热通路、所述水箱、所述泵体和负载连通形成循环回路，所述水箱的入口处设置第一温度传感器，所述热交换器的吸热通路的进口处设有电动两通阀。

技术总结
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种热交换器温控方法及温控系统，热交换器温控方法包括：获取当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值和制冷量标准差；确定制冷量标准差小于或等于第一阈值；确定当前周期输出的制冷量大于或等于制冷量平均值与第二阈值之差，且小于或等于制冷量平均值与第二阈值之和；设定当前周期的下一周期输出的制冷量为当前周期的前i个周期输出的制冷量平均值。通过对制冷量输出的统计分析修正被控对象参数，即通过对PID控制器输出制冷量的统计分析，根据其标准差的大小判定水箱入口温度状态，同时修正实际制冷量的输出，进而满足高低温段宽温区及空载负载状态的高精度温控需求。载负载状态的高精度温控需求。载负载状态的高精度温控需求。


技术研发人员：常鑫 何茂栋 冯涛 李文博 张伟 芮守祯 曹小康
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：2021.08.02
技术公布日：2021/11/23