一种低插损高频声表面波滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，包括：四个依次串联的谐振器s1、谐振器s2、谐振器s3、谐振器s4，和四个结构参数相同的并联谐振器p1
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p4，并联谐振器p1
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p4的接地端口相互连接后接地，其中p1的另一端口与串联谐振器s1的端口一相连接，作为声表面波滤波器的端口1，p4的另一端口端与串联谐振器s4的端口二相连接，作为声表面波滤波器的端口2；p2和p3的另一端口均设置在串联的s2和s3之间，s1的端口二与s2的端口一相连接，s3的端口二和s4的端口一相连接。串联谐振器s1、s2和并联谐振器p1、p2构成”π”型结构，串联谐振器s3、s4和并联谐振器p3、p4构成”π”型结构，并联谐振器p2、p3和串联谐振器s1、s2，s3、s4构成”t”型结构，整体级联组合成”t π”型结构。2.根据权利要求1所述的一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，所有谐振器均使用厚金属膜插指电极结构。3.根据权利要求2所述的一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，所述厚金属膜插指电极结构的电极材料为金属铝，电极相对厚度设置在33％～36％之间，以提高机电耦合系数和瑞利波强度并削弱乐甫波波速。4.根据权利要求2所述的一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，通过提高谐振器s1、谐振器s2、谐振器s3、谐振器s4的占空比，η＝a/b，a为插指宽度，b为插指间隙，并减小反射栅周期；占空比为插指宽度除以插指间隙，对于均指，占空比为1，反射栅周期通常为插指周期的一半，这里同样是根据插指周期λ的0.5倍往下调小，通过模拟结果就可以看出随着反射栅周期的变小，干扰在变小，调整串联谐振器插指对数以改变谐振器横向模式频率点的位置。横向模式对应于不同模saw模式，有着不同的波速，横向模式只是一些干扰模式，是杂模信号，改变插指对数会改变横向模式的谐振频率点。5.根据权利要求4所述的一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，提高串联谐振器s1
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s4的占空比到5:1，其反射栅周期均小于中心频率所对应的波长的0.5倍。6.根据权利要求3所述的一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，所述厚金属膜插指电极结构的压电材料为128
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x linbo3，串谐振器的波长λ为1.1μm，并联谐振器的波长为1.2μm，串、并联谐振器的插指厚度均为0.4μm，相对波长厚度分别为36.4％和33.3％。7.根据权利要求6所述的一种低插损高频声表面波滤波器，其特征在于，通过调整串联谐振器s1～s4的插指对数改变通带内横向模式的谐振点，使得级联谐振器时，横向模式可以错位叠加从而降低带内波动和插入损耗，并联谐振器均采用均指结构。

技术总结
本发明请求保护一种高频低插损声表面波滤波器，属于声表面波滤波器技术领域，其包括滤波器的结构设计和减小带内波动、减小插入损耗，提高带外抑制性能的优化方法。其中滤波器的结构设计包括4个结构参数相同的并联谐振器P1


技术研发人员：王巍 周杨春 黎淼
受保护的技术使用者：重庆中易智芯科技有限责任公司
技术研发日：2021.08.13
技术公布日：2021/11/21