麦克风测试模块和对麦克风进行测试的方法与流程

1.本发明的实施方式涉及一种用于对麦克风进行测试的麦克风测试模块。此外，本发明的实施方式涉及一种对麦克风进行测试的方法。


背景技术：

2.诸如移动电话之类的移动装置已经不断提高了它们的整体能力。麦克风的小型化对于移动电话的发展至关重要。所谓的“mems麦克风”很小并且面临移动电话用户获得更好的音质的愿望。特别是，随着可用带宽的增加成为可能，这种需求似乎是合理的。


技术实现要素：

3.可能需要对麦克风的测试进行修改，尤其是对在移动装置中使用的mems麦克风的测试进行修改。
4.为了满足以上定义的需求，根据独立权利要求提供了一种用于对麦克风进行测试的麦克风测试模块，以及一种对麦克风进行测试的方法。
5.根据本发明的实施方式，一种用于对麦克风进行测试的麦克风测试模块包括：
6.气密的外室，以及
7.声室，所述声室包括用于对麦克风进行测试的电气测试装置，其中
8.所述声室位于所述外室内，并且其中，所述声室通过对所述外室与所述声室之间的结构传播噪声(structure borne noise)进行抑制的连接而耦接至所述外室，并且其中
9.所述外室与所述声室之间的空间的气体压力低于环境空气压力。
10.根据本发明的实施方式，一种对麦克风进行测试的方法包括：
11.提供气密的外室，以及
12.提供声室，所述声室包括用于对麦克风进行测试的电气测试装置，其中，所述声室位于所述外室内，并且其中，所述声室通过对所述外室与所述声室之间的结构传播噪声进行抑制的连接而耦接至所述外室，以及
13.–
将所述外室与所述声室之间的空间抽空成具有比环境空气压力低的气体压力；以及
14.‑
对麦克风进行测试。
15.术语“麦克风”可以指一种仪器，通过该仪器使得产生声波或调制电流，以用于传输或记录声音(如语音或音乐)。
16.表述“测试模块”可以指作为评估的基础的测量或检查的单元，在此尤其是在半导体测试领域。
17.表述“麦克风测试模块”可以指用于检查和/或评估麦克风的单元，特别是所谓的“mems麦克风”。术语“测试”或“进行测试”可以特别地包括根据特定的测试频率来校准mems麦克风，所述特定的测试频率可以根据mems麦克风并且根据mems麦克风的电子特性而变化。由于本发明的实施方式着重于测试环境即测试模块的优化，而不是特别着重于测试，因
此该实施方式没有关于各种方法是已知的和可实现的实际测试本身的信息。
18.表述“外室”可以指布置在其他物外部的人工腔，以使外室包围某物。
19.表述“声室”可以指专门设计的用于测试或记录噪音或声响(sonance)的腔。声室可以是气密的，以至于在声室内存在用于对麦克风进行测试的最佳的气体压力，并且在测试期间，声室内不存在干扰的空气量或干扰的空气量不会逸出到外室。
20.表述“电气测试装置”可以指被设计用于执行特定功能测试、特别是用于麦克风的电气测试的目的的一件设备。电气测试装置可以是或包括通常用于半导体测试的所谓的测试插接件(socket)。所述电气测试装置可以被布置在封闭的声室内，并且可以适于将测试信号施加到麦克风并且将数据和/或测试信号传输到分别位于外室的外部和测试模块的外部的测试器。
21.表述“对结构传播噪声进行抑制的连接”可以指两个物体的耦接，该耦接降低或避免了通常由固体传输的噪声。该连接可以使物体弹性地耦接和/或通过磁场耦接，使得耦接的物体不接触。
22.表述“外室与声室之间的空间”可以指外室与声室之间的无固体的三维膨胀。该空间可能会定期充满空气。外室与声室之间的空间也可以称为“自由空间”，其中不含任何固体或物体，并且没有空气或是真空的。
23.表述“具有低于环境空气压力的气体压力”可以指小于典型的大气空气压力的流体压力、特别是空气压力。外室与声室或与内室之间的空间中的压力分别可以低于800毫巴(mbar)、600毫巴、400毫巴、200毫巴、100毫巴、50毫巴、30毫巴、20毫巴、10毫巴、5毫巴、3毫巴、2毫巴、1毫巴、0.5毫巴、0.3毫巴、0.2毫巴、0.1毫巴或0.05毫巴。
24.要点是，通过抽空声室周围的空间，可以抑制噪声通过空气的传输，即抑制空气传播声。该实施方式基于在接近该实施方式的实验设置中的发现，可以显著地抑制在典型的测试台环境中产生的空气传播声。此外，根据接近该实施方式的实验设置，可能仍然存在大量的结构传播声，这也可能会干扰测试和校准mems麦克风的准确性。然而，可以通过相对于外室弹性地悬挂和/或支撑声室来减少结构传播声。该悬挂和/或支撑可以使用弹性材料和/或磁场来实现。为了使空气传播噪声解耦，可以例如还结合地使用弹性材料和/或磁场并与非弹性固体结合，以例如过滤掉在外室内发生并在外室的环境中产生的低通噪声。为了对结构传播噪声进行抑制，可以在整个连接的适当设计中使用固体材料，和/或固体材料可以额外具有结构传播噪声抑制特性，并阻止源自外室的空气传播噪声。
25.根据示例性实施方式，麦克风测试模块包括：外室；外室开口；以及外室门，该外室门用于打开和关闭外室开口，其中
26.外室开口适于在外室的打开状态下接纳待测试的麦克风，并且其中
27.在测试时，外室门以气密的方式封闭外室开口。
28.表述“外室开口”可以指外室的孔或出口。
29.表述“外室门打开和关闭”可以指如下端口：室可以通过该端口使某物通过，即“打开状态”，或可以避免某物通过，即“关闭状态”。外室门可以特别地打开和关闭外室开口。
30.表述“以气密的方式封闭”可以指空气不可渗透或几乎不可渗透的条件。
31.布置在外室的外壳内的开口可以被外室门关闭，该外室门可以具有任何形式以便实现两种状态，在一种状态下，外室开口被打开以使麦克风和/或麦克风所占据的承载件通
过，在另一状态下，外室门充分地关闭外室，使得没有环境空气从外部进入外室。此外，声室可以是足够气密的，使得在测试期间，不存在声室内的干扰的空气量或声室内的干扰的空气量不可能从声室逸出到外室的内部。否则，可能会失去基于外室内的真空的降噪，并可能损害对麦克风的测试。
32.根据示例性实施方式，麦克风测试模块包括：用于对结构传播噪声进行抑制的连接；弹性的悬挂和/或弹性的支撑，其中
33.弹性是通过磁场和/或弹性材料来实现的。
34.表述“弹性的悬挂”可以指以柔性、有弹性或弹力的方式悬挂某物的动作。特别地，悬挂可以从物体顶部在一点上与物体接合。
35.表述“弹性的支撑”可以指从底部、即从物体的底部承受或保持。
36.术语“弹性材料”可以指能够容易地拉伸或扩展并恢复以前的形状的某物。
37.表述“磁场”可以指由磁性引起的任何影响。磁场可以施加可以是弹性的力。磁场可以是由铁磁体引起的，该铁磁体是指具有异常高磁导率的物质或与其相关。磁场可以是由“抗磁体”引起的，“抗磁体”是指所具有的磁导率小于真空的磁导率，因此会被铁磁体轻微地排斥。此外，电磁体可以施加力。术语“电磁体”可以指被电线线圈围绕的磁性材料(诸如铁)的芯，电流穿过该线圈以磁化该芯。
38.根据示例性实施方式，麦克风测试模块还包括真空泵，以通过以下方式将外室内的空间抽空：
39.将真空泵直接连接至外室和/或间接地连接至真空容器，所述真空容器经由关闭的阀连接至外室，其中真空泵在阀打开之前预先抽空真空容器以将外室之内的空间抽空。
40.表述“真空泵”可以指用于从封闭空间排出气体以便实现封闭空间的特定空度的机械装置。
41.术语“阀”可以指如下机械装置：通过该机械装置，由打开、关闭或部分地阻塞一个或更多个端口或通道的可移动部件来调节流体或气体的流动。
42.在本上下文中，表述“直接连接至外室”可以指耦接到外室，而没有在之间耦接的真空容器。
43.表述“预先抽空真空容器”可以指，第一时间点，该第一时间点在第二时间点之前，在第二时间点，阀打开以使真空容器由于与真空空间的压力差而自动抽空外室内的空间，该真空空间具有比以气密的方式封闭的外室内的空间低的压力。
44.根据示例性实施方式，麦克风测试模块还包括用于提供电力和/或数据传输的供应线缆，其中
45.测试时，供应线缆以气密的方式行进穿过外室并连接至麦克风。
46.表述“供应线缆”可以指可以包括用于传输电能和/或数据的多根细丝的电缆。
47.术语“供应线缆以气密的方式行进穿过”在这里可以指：供应线缆从外室的外部延伸到内部，并且这仍然保持外室的气密性。
48.表述“连接至麦克风”可以指电耦接到麦克风以进行测试，其中不一定存在直接连接。特别地，电子测试装置可以在麦克风与供应线缆之间连接，并因此可以连接这两者。
49.根据示例性实施方式，麦克风测试模块还包括内室，其中
50.所述内室位于所述外室的内部，并且其中，所述声室位于所述内室的内部，所述内
室在测试时是气密的，其中
51.所述内室通过对所述外室与所述内室之间的结构传播噪声进行抑制的连接而耦接到所述外室，使得所述外室与所述声室之间的结构传播噪声被抑制，并且其中
52.内室与外室之间的空间的气体压力低于环境空气压力。
53.表述“内室”可以指在外室的内部的人工腔。
54.根据示例性实施方式，麦克风测试模块包括：内室，其包括内室开口以及内室门，该内室门用于打开和关闭内室开口，其中
55.内室开口适于在内室的打开状态下接纳待测试的麦克风，并且其中
56.在测试时，内室门以气密的方式封闭内室开口。
57.表述“内室开口”和“内室门”可以指与用表述“外室开口”和“外室门”描述的对象相等同的对象。
58.根据示例性实施方式，麦克风测试模块还包括在外室门与内室门之间的气闸，使得当气闸打开时，待测试的麦克风可以通过外室门和通过内室门插入到内室中，并且其中，当气闸关闭时，内室与外室彼此分离。然后，结果，可以在外室与内室之间的空间内建立真空压力v。
59.根据示例性实施方式，麦克风测试模块包括声室：第一声室半部和第二声室半部，其中
60.所述第一声室半部和所述第二声室半部提供声室开口以接纳待测试的麦克风，并且其中
61.第一声室半部和第二声室半部提供待测试的麦克风与测试装置之间的电连接。
62.表述“第一声室半部”和“第二声室半部”可以指两个部分，这两个部分不一定具有相同的形状或大小，但是在功能上彼此相互作用以形成声室。
63.表述“提供麦克风与测试装置之间的电连接”可以指第一声室半部和第二声室半部的相互作用，产生了麦克风与测试装置之间的电连接的条件。即，当第一声室半部和第二声室半部形成声室时，可以同时地且自动地在电气测试装置与麦克风之间形成电连接。
64.根据示例性实施方式，包括用于对麦克风进行测试的自动测试系统、操纵器以及麦克风测试模块，根据所描述的实施方式中的至少一个实施方式，其中，操纵器适于将待测试的麦克风馈送到测试模块。
65.术语“操纵器”可以指用于运输和以机械方式和物理方式调节电子组件和电连接(例如，这里是mems麦克风)的机器。
66.表述“馈送麦克风”可以指代移动麦克风、或麦克风芯片或mems麦克风以用于特定目的，例如，用于直接测试或施加到承载件或其他装置以进行进一步输送。
67.术语“承载件”可以指用于运输电子组件、特别是运输mems麦克风的托盘状输送件。
68.术语“承载件”可以指通常已知并且以不同的变体存在的测试承载件。承载件或测试承载件可以包括多个插座，其中每个单个插座可以接纳麦克风，并且测试承载件可以在对麦克风进行测试期间将麦克风保持或保留在插座中。测试承载件的类型可以根据麦克风是所谓的“向上端口”还是“向下端口”的类型而变化，这可以指定麦克风是否可以在与麦克风的声音端口所在的相同的一侧电接触，或者麦克风的声音端口和电接触部分是否分别位
于麦克风或其主平面的不同侧或相对侧。
69.表述“用于承载麦克风的承载件”可以指承载件的如下特性：安全地将麦克风输送到测试模块并返回到操纵器内的部分，最后，将麦克风分类并准备好进行运输。
70.根据示例性实施方式，自动测试系统还包括用于承载麦克风的承载件，其中
71.操纵器馈送承载件，将待测试的麦克风承载到测试模块。
72.根据示例性实施方式，对麦克风进行测试的方法包括：
73.为外室提供具有外室门的外室开口，以及
74.‑
打开外室门以在外室中接纳待测试的麦克风，
75.‑
在测试所接纳的麦克风时，以气密的方式封闭外室门。
76.根据示例性实施方式，对麦克风进行测试的方法包括：
77.提供真空泵，所述真空泵用于通过将真空泵直接连接至外室来对外室内的空间进行抽空，以及
78.‑
通过使用真空泵来抽空外室内的空间，和/或
79.提供真空泵，所述真空泵用于通过将真空泵间接地连接至经由关闭的阀连接至外室的真空容器来对外室内的空间进行抽空，以及
80.‑
使用真空泵抽空真空容器以在真空容器中产生真空，以及
81.‑
打开阀以利用产生的真空来抽空外室内的空间。
82.根据示例性实施方式，对麦克风进行测试的方法包括：提供气密的内室，其中，内室位于外室的内部，并且其中，声室位于内室的内部，其中，内室通过对外室与内室之间的结构传播噪声进行抑制的连接而耦接到内室，使得外室与声室之间的结构传播噪声被抑制，以及
83.–
将内室与外室之间的空间抽空成具有比环境空气压力低的气体压力。
84.根据示例性实施方式，对麦克风进行测试的方法的包括内室、内室开口以及内室门，该内室门用于打开和关闭内室开口，其中
85.内室开口适于在内室的打开状态下接纳待测试的麦克风，并且其中
86.在测试时，内室门以气密的方式封闭内室开口。
87.根据示例性实施方式，对麦克风进行测试的方法包括：
88.‑
提供声室，该声室包括第一声室半部和第二声室半部，以及
89.‑
打开第一声室半部和第二声室半部以提供声室开口
90.–
将待测试的麦克风穿过声室开口进行布置，以及
91.‑
关闭第一声室半部和第二声室半部，以提供待测试的麦克风与测试装置之间的电连接。
92.根据下面将描述的实施方式的示例，本发明的以上定义的方面和另外的方面是显而易见的，并且将参考实施方式的示例进行说明。在下文中，将参考实施方式的示例更详细地描述本发明，但是本发明不限于此。
附图说明
93.图1a示出了麦克风测试模块是打开的并且为空的第一实施方式。
94.图1b示出了麦克风测试模块是打开的并且包括承载件的第一实施方式。
95.图1c示出了麦克风测试模块是关闭的并且包括承载件的第一实施方式。
96.图2a示出了包括内室并且包括承载件的打开的麦克风测试模块。
97.图2b示出了包括内室并且包括承载件的关闭的麦克风测试模块。
98.图3示出了包括三个麦克风测试模块的自动测试设备。
99.图4示出了包括真空容器的麦克风测试模块的实施方式。
100.图5示出了有关具有类似麦克风测试模块的设置的测量的图表。
101.图6a示出了在外室与内室之间的打开的气闸。
102.图6b示出了具有关闭的内室门和外室门的气闸。
103.图6c示出了内室与外室解除对接(undocking)的关闭的气闸。
具体实施方式
104.附图中的图示是示意性的。要注意的是，在不同的图中，相似或相同的元件设置有相同的附图标记。
105.图1a、图1b、图1c示出了麦克风测试模块100'。
106.图1a在第一实施方式中示出了麦克风测试模块100'的打开的并且为空的且在声室110中不包括承载件810的截面图。麦克风测试模块100'包括具有外室开口132o的外室130，装载有未测试的麦克风800u的承载件810可通过该外室开口132o被承载件馈送513插入。承载件810可装载有未测试的麦克风800u以用麦克风测试模块100'进行测试。外室130还可包括可关闭以进行测试的外室门132。当外室门132关闭时，外室130可以是气密的。外室130内部可以是第一声室半部111和第二声室半部112，它们可以配合以形成声室110。第二声室半部112可以通过定位装置133而在外室130内对准，定位装置133包括安装至第二声室半部112的对准销133p和安装至外室130的内表面的底部的相对的对准引导件133g。因此，第二(或下部)声室半部112可以与其对准销133p在外室112的内部的对准引导件133g上对准。
107.第一声室半部111可以通过铁磁体161、抗磁体162、电磁体163或弹性悬挂件165中的至少一者悬挂到外室130的内顶部，以避免结构传播声或任何其他机械振动从外室130传输到第一(或上部)声室半部111。但是，在使用铁磁体161时，可能有必要提供至少一个另外的悬挂件，因为可能需要控制并调整铁磁体161在第一声室半部111上的总悬挂力。弹性悬挂件165可包括弹性橡胶绳或适合于将第一声室半部111弹性地悬挂、并最终将第一声音测试室半部111与第二声音测试室半部112两者相互作用地弹性地悬挂的任何弹性材料。
108.穿过外室130的供应线缆171可以供应电力并且允许第一声室半部111与外室130的外部进行数据交换。供应线缆171可以在外室130的内部形成内部回路171i，以将结构传播声从外部解耦到第一声音测试室半部111。供应线缆可以替代地或附加地形成外部回路171o，以将第一声音测试室半部111与外部结构传播声解耦(参见图1c)。
109.第一声室半部111和第二声室半部112可形成声室开口110o，承载件810可定位在该声室开口110o上以用于随后的测试。此外，第一声室半部111可以包括对准销113p，且第二声室半部112可以包括对准引导件113g。当将第一声室半部111和第二声室半部112置于一起时，对准销113p和对准引导件113g可形成对准装置113，使得第一声室半部111和第二声室半部112精确地彼此对准。
110.图1b示出了麦克风测试模块100'是打开的并且包括承载件810的第一实施方式。图1b示出了承载件810位于第一声室半部111与第二声室半部112之间。此外，图1b指示第二(下部)室半部112朝向第一声室半部111的配合方向151。可以通过如下方式来提供配合移动：将处于打开位置151a的第一配合致动器安装在第一声室半部111与第二声室半部112之间，且声室开口110o在配合移动之前是打开的。外室门132可提供外部关闭移动152o，以使外室130气密。
111.图1c示出了麦克风测试模块100'是关闭的并且包括承载件810的第一实施方式。图1c示出了处于关闭位置151b的第一配合致动器，从而形成了声室100并且通过将第一声室半部111和第二声室半部112配合在一起和/或按压在一起而是气密的。可替代地，或另外地，处于关闭位置151c的第二配合致动器可以首先提供配合移动，并且随后可以朝向第二室半部112d收缩(如151d所示)，或者可以收缩到外室130的内底部(如151d所示)。
112.当将第一声室半部111与第二声室半部112置于一起时，两者之间的声室110可以是气密的，并且可以在声室110的内部提供适当的声室压力t。第一声室半部111与第二声室半部112可以通过避免结构传播声从外部传输到声室110而相互作用地悬挂到外部室130的内顶部。另外，外室130与配合的第一声室半部111和第二声室半部112可以抽空为一定的真空压力v。
113.图2a和图2b示出了麦克风测试模块100的另外的实施方式，该实施方式与图1a至图1c所示的麦克风测试模块100'大体上相似，因此主要对差异进行详细说明。
114.图2a示出了处于打开状态的麦克风测试模块100，并且图2b示出了处于关闭状态的麦克风测试模块100，在关闭状态下可以执行测试。麦克风测试模块100可以另外包括在外室130与声室110之间的内室120，或者分别包括第一声室半部111和第二声室半部112。因此，内室120被悬挂到外室130的内顶部。在悬挂件165的端部处的至少一个或更多个悬挂钩165h可以在内室120的底部上直接从外部支撑内室120，使得结构传播声从外室130的顶部到内室120的外底部行进较长的距离，因此结构传播声可以被抑制。内室120包括内室开口122o并且配备有内室门122，该内室门122通过内部关闭运动152i关闭，以在测试时提供气密性。定位装置133和第三配合致动器151f均可以从内室120的内底部被支撑。特别地，第三配合致动器可以停在关闭位置151g并且可以支撑将第一声室半部111与第二声室半部112按压在一起，因为内室120已经相对于外室130的外部隔音。密封环状件114可以另外在声室110与内室120的内部空间之间提供气密性。外室130可以具有弹簧装载的脚状件155或空气弹簧式(air
‑
sprung)脚状件155，以进一步抑制外部产生的空气传播声。然而，供应线缆171仍可以在某点155v处穿过外室130，并且也可以在那里提供气密性。
115.现在在外室130与内室120之间形成具有真空压力v的真空空间，使得声室压力t可以更稳定，因为在内室内部的压力可以接近或对应于环境压力a。
116.图3示出了用于对麦克风进行测试的自动测试设备300，其包括三个麦克风测试模块100、100'，100”。自动测试设备300包括测试器480和操纵器400，操纵器400包括多个处理站430
‑
1至430
‑
5，或通常称为“处理站”430。自动测试设备300可以特别地提供一个、两个或三个麦克风测试模块100、100'、100”以对麦克风进行测试。
117.操纵器400还包括：组件装载器310，其用于装载未测试的电子组件；以及组件卸载器310，其用于卸载已测试的电子组件，尤其是麦克风。操纵器400被设计为转塔式操纵器，
其包括具有特定旋转方向501的旋转台410。在旋转台周围的不同的处理站430
‑
1至430
‑
5提供了用于电子组件后端处理的多个过程。具有旋转台410的操纵器400也可以被称为“转塔式操纵器”。
118.在旋转台410周围并与旋转台410相邻的承载件400可以包括承载件站550。操纵器400可以将单件化的(singulated)电子组件放置在第一承载件810和/或第二承载件820上。承载件810、承载件820可以进一步通过承载件交换部分250朝着声音测试模块100以更公知的方式线性地传递至声音测试模块100，或者承载件810、承载件820可以通过机器人350从承载件站550转移到声音测试模块100。因此，机器人350可以包括可自由地、以三维的方式移动的臂353，该臂353包括可旋转的抓具355，使得机器人350可以在不同的位置拾取承载件810、承载件820，并且可以将承载件810、承载件820投放在不同的位置以及以承载件810、承载件820的不同定向来投放。机器人350可以将承载件810、承载件820定位在声音测试模块100、100”的内部或声音测试模块100的承载件交换部分250上。
119.在麦克风测试模块100与承载件交换部分250之间可能存在间隙或气隙103，从而可以禁止结构传播声朝向麦克风测试模块100行进。测试器480可以通过线缆483与声音测试模块100连接。
120.另外的声音测试模块100'可以以不同的方式朝向操纵器400耦接，使得操纵器与声音测试模块100'之间仍然存在气隙103'，但是声音测试模块101'可以设置有直接来自承载件站550的承载件810、承载件820。因此，承载件交换部分250可以部分地或完全地布置在声音测试模块100'的内部。
121.然而，操纵器400，机器人350，麦克风测试模块100、100”，另外的麦克风测试模块100'以及测试器480中的任一者都可以在测试台上具有其各自的覆盖区，使得操纵器覆盖区402，机器人覆盖区352，麦克风测试模块覆盖区102、102'、102”以及测试器覆盖区482彼此不同。这可以强调自动测试设备300的组件可以容易地互换，并且可以通过麦克风测试模块100和另外的麦克风测试模块100'或第三麦克风测试模块100”执行麦克风测试，同时抑制了结构传播声，并修改了麦克风测试的测试条件。可交换性还可以用等同于气隙103'的模块边界部492来指示。
122.此外，承载件站边界部491描绘了从操纵器400朝向承载件站550的过渡，该承载件站550还可以是可交换的模块，这取决于所使用的承载件810、承载件820，所述承载件可以改变，例如，所测试的mems麦克风是所谓的顶部端口类型还是底部端口类型。
123.图4示出了包括真空容器的麦克风测试模块100、100'、100”的实施方式。图4示出了在如下实施方式中的用于对麦克风进行测试的麦克风测试模块100、100'、100”：该实施方式包括用于抽空外室130的真空供应。真空泵720可以通过真空软管730或真空管730与外室130连接。当达到适当的真空量时，真空阀740可以关闭，并且当测试停止和/或应当更换承载件810时，真空阀740可以打开以使空气进入外室130。
124.在另外的实施方式中，真空容器710位于并连接在外室130与真空泵720之间。真空阀740可以朝着真空泵720和/或外室连接至真空容器710的每一侧。如果应尽快施加真空，则可以打开真空容器710与外室130之间的真空阀740，以便将限定的真空施加到外室130的内部。然后，外室130和真空容器710中的压力达到平衡状态。为了达到外室130的内部的一特定的真空压力，真空容器710因此可以被真空泵720预先抽空到一定的真空压力。真空容
器710可具有足够的容积，以便在外室130的内部实现特定的真空压力。
125.图5示出了根据图1a至图2b中描述的实施方式中的一个实施方式的关于具有类似于麦克风测试模块100、100'、100”的设置的测量和/或发现的曲线图。图5示出了曲线图，其中在竖直轴上示出了测得的rms水平[db spl]，而在水平轴上示出了内室(120，参见图1、图2)与外室(130，参见图1、图2)之间的绝对压力差[hpa]。对250hz、1000hz或1250hz的三个不同频率进行的测量产生经标记的曲线图。根据三个频率的这三个曲线图的平均曲线图用粗线标记。根据三个不同频率的曲线图完全位于用参考麦克风以100db spl限定的激励与没有激励的基线之间的范围内。结果表明，随着更高的抽空，即，内室与外室之间的空间的绝对压力更低，rms水平会适当衰减。但是，当接近10hpa时，衰减保持在20
‑
30rms水平db spl的值。由于出于该测量的目的，内室和外室对于结构传播声而言没有彼此充分分开，因此这些剩下的残余可能来自结构传播声。然而，这将使在对结构传播声进行抑制的情况下，两个室之间的隔音甚至可能比仅施加真空时更好成为可能。
[0126]
图6a示出了在外室130与内室120之间的打开的气闸600，其包括打开的外室门132和打开的内室门122。密封环状件620可以固定地安装到内室120，并且密封环状件620可以与外室130形成气密密封，从而保持内室120与外室130之间的空间中的真空v。环境空气amb可以流过外室开口132o并流过内室开口122o进入内室120。然后，可以穿过外室开口132o并穿过内室开口122o插入待测试的麦克风800u(请参见图2a、图b)。
[0127]
图6b示出，随着外室门132的关闭移动152o，外室130成为气密的，并且随着内室门122的关闭移动152i，内室120成为气密的。气闸600之内的空间可以充满具有环境空气压力的环境空气amb。然而，内室120与外室130之间的自由空间仍然可以具有真空压力v。
[0128]
图6c示出了内室120和外室130通过解除对接移动652而彼此移开，使得在气闸600内的空间与外室130和内室120之间的自由空间之间建立均匀的压力。可以在包括自锁定机构以及已知具有气闸的任何其他机构的不同实施方式中构造气闸600。由于使用了气闸600，用于被抽空的空间可以比不使用气闸600的空间小得多，因为在后一种情况下，内室与外室之间的自由空间也必须被抽空。这可能会花费更多的能量，尤其是时间。内室的内部的气体压力a可以类似于环境空气压力amb。然而，通过外室130与内室120之间的真空压力v，可以使内室120、尤其是声室110(参见图2a、图b)与外室130外部的噪声解耦。
[0129]
为了建立气闸600，用图6a至图6c描述的过程可以颠倒：内室120可以朝着外室130移动，使得密封环状件620形成气闸600，从而可以在打开内室门122和外室门132之后，将麦克风通过打开的内室开口122o并通过打开的外室开口132o取出来。
[0130]
应当注意，术语“包括”不排除其他元件或步骤，并且“一”或“一种”不排除多个。同样，可以将与不同实施方式相关联地描述的元件进行组合。还应注意，权利要求中的附图标记不应解释为限制权利要求的范围。