一种射频CO2激光器射频头的制作方法

一种射频co2激光器射频头
技术领域
1.本实用新型属于激光技术领域，具体为一种射频co2激光器射频头。


背景技术：

2.射频co2激光器是一种能量转换效率较高和输出最强的气体激光器，在工业和医学领域应运广泛，射频激光头主要用在激光器内部真空室与外部连接的关键部件，起到真空密封，高压绝缘的效果，射频co2激光器一般由射频电源、激光器射频头激光谐振腔组成，在使用时，其中的射频电源会提供射频功率，射频头把射频功率传输到射频谐振腔里的每个放电电极，放电电极对接地电极放电，激励激光工作气体产生激光。
3.但一般的射频co2激光器射频头在使用的时候存在一定的弊端，首先，一般的装置在使用的时候，存在射频头直接传入谐振腔内，射频头与谐振腔外壳由橡胶圈连接，激光器运行时橡胶圈周围的工作温度较高，从而使橡胶圈老化变形，影响了射频头与谐振腔外壳之间的密闭性，降低了激光器的工作效率，且加工步骤复杂困难，不利于用户的使用。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种射频co2 激光器射频头，有效的解决了背景技术中射频co2激光器射频头密闭性差，导致激光器工作效率低和加工步骤复杂困难的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种射频co激光器射频头，包括射频头，所述射频头的上端设置有陶瓷绝缘柱，所述陶瓷绝缘柱贯穿在屏蔽帽内部，所述屏蔽帽的上方和下方均设置有一个孔，所述射频头与屏蔽帽之间的陶瓷绝缘柱外部设置有用于固定安装的固定环，所述固定环的外部设置有用于套接的下套管，所述下套管上设置有若干用于散热的散热槽，所述陶瓷绝缘柱的上端固接有密封帽，所述屏蔽帽和密封帽之间的陶瓷绝缘柱外部套接有一个上套管，所述密封帽的上方设置有一个射频电极，所述射频电极套接在密封帽内部，所述射频电极与陶瓷绝缘柱连接，所述密封帽上方设置有一个孔。
6.优选的，所述固定环和上套管采用镍基合金材质制成，所述下套管采用高镍不锈钢材质制成，其上方开设有若干个散热槽。
7.优选的，所述射频头主要由真空密封法兰，陶瓷或玻璃绝缘体，无氧铜导电杆片等组成。
8.优选的，所述密封帽由氟橡胶材质制成，内部设有与所述陶瓷绝缘柱直径相匹配的槽。
9.优选的，所述屏蔽帽由铝材质制成，内部设有与所述陶瓷绝缘柱直径相匹配的槽。
10.优选的，所述上套管的顶部与屏蔽帽的接触部位焊接固定，底部与密封帽接触部位连接。
11.优选的，所述固定环与下套管相互匹配连接，其中固定环由镍基合金材质制成。
12.优选的，所述射频电极低于陶瓷绝缘柱的一半，且伸出所密封帽述外部。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1)、本实用新型通过设置有上套管和与固定环相匹配的下套管，增加了射频co2激光器射频头的绝缘和密闭性能，提高了激光器的工作效率；
15.2)、通过设置有防辐射和电磁波的屏蔽帽，具有绝缘和耐高温性能的密封帽，延长了的激光器的使用寿命，且多数零件相匹配，加工安装简单方便。
附图说明
16.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
17.图1为本实用新型的正视结构示意图；
18.图2为本实用新型的剖面结构示意图。
19.图中：1、射频头；2、陶瓷绝缘柱；3、屏蔽帽；4、密封帽；5、射频电极；6、上套管；7、固定环；8、下套管。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.由图1
‑
2给出，本实用新型公开了一种射频co2激光器射频头，包括射频头1，射频头1的上端设置有陶瓷绝缘柱2，陶瓷绝缘柱2贯穿在屏蔽帽3 内部，屏蔽帽3的上方和下方均设置有一个孔，射频头1与屏蔽帽3之间的陶瓷绝缘柱2外部设置有用于固定安装的固定环7，固定环7的外部设置有用于套接的下套管8，陶瓷绝缘柱2的上端固接有密封帽4，屏蔽帽3和密封帽 4之间的陶瓷绝缘柱2外部套接有一个上套管6，密封帽4的上方设置有一个射频电极5，射频电极5套接在密封帽4内部，射频电极5与陶瓷绝缘柱2连接，密封帽4上方设置有一个孔。
22.进一步的，所述固定环7和上套管6采用镍基合金材质制成，所述下套管8采用高镍不锈钢材质制成，其上方开设有若干个散热槽，散热槽通过扩大下套管8的面积来达到局部散热的效果，镍基合金和高镍不锈钢这两种材质更加耐高温，能够延长射频头1的使用寿命，且使射频头1的绝缘和密闭性更高。散热槽为一个圆弧面，且散热的角度应大于15度小于45度，这个角度的散热槽，可以增加下套管8的表面积，还能避免热量在散热槽内聚集。
23.进一步的，密封帽4由氟橡胶材质制成，这种材质耐腐蚀，耐高温，耐磨损，防静电，内部设有与所述陶瓷绝缘柱2直径相匹配的槽，使陶瓷绝缘柱2可以稳固安装。
24.进一步的，屏蔽帽3由铝材质制成，这种材质防辐射和电磁波，内部设有与所述陶瓷绝缘柱2直径相匹配的槽，使陶瓷绝缘柱2可以稳固安装。
25.进一步的，上套管6的顶部与屏蔽帽3的接触部位焊接固定，底部与密封帽4接触部位连接，这种结构提高了射频头1整体的密闭性。
26.进一步的，固定环7与下套管8相互匹配连接，其中固定环7由镍基合金材质制成，这种结构和材质更加稳固，耐高温，且更具备密闭性。
27.工作原理：工作时，首先射频头1通过陶瓷绝缘柱2将射频电源的射频功率传输给激光谐振腔中的放电电极，陶瓷绝缘柱2外部套设的密封帽4、屏蔽帽3、上套管6、固定环7和下套管，保证了射频馈头良好的绝缘性，接着陶瓷绝缘柱2依次通过镍基合金制作的固定环7和由高镍不锈钢制作的下套筒8实现与激光谐振腔的密封连接，因镍基合金具有与陶瓷相近的线膨胀系数，因此当陶瓷绝缘柱2因温度变化膨胀或收缩时，固定环7能与之同步膨胀或收缩，又因镍基合金具有金属的特性，因此能与套设在其外由镍高不锈钢制作的下套管8焊接密封连接，最后下套管8与由金属制作的谐振腔外壳焊接密封，从而实现了射频头1与谐振腔外壳之间的绝缘密封连接，且下套管上开设有若干散热槽来扩大下套管表面积达成散热效果，使不受温度变化的影响，保证谐振腔中激光工作气体的稳定，延长激光器使用寿命。
28.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。