导风组件和硅片清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及导风技术领域，具体而言，涉及一种导风组件和硅片清洗装置。


背景技术：

2.相关技术中，硅片清洗装置内含有较多的有害气体，对设备内部造成氧化腐蚀，缩短硅片清洗装置的使用寿命。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在解决上述技术问题的至少之一。
4.为此，本实用新型的第一目的在于提供一种导风组件。
5.本实用新型的第二目的在于提供一种硅片清洗装置。
6.为实现本实用新型的第一目的，本实用新型的技术方案提供了一种导风组件，用于硅片清洗装置，导风组件包括驱动装置；第一导风部件，驱动装置用于驱动外界空气经由第一导风部件进入硅片清洗装置。
7.本技术方案通过驱动装置驱动空气经由第一导风部件进入硅片清洗装置内，一方面能够降低硅片清洗装置内有害气体的浓度，够避免有害气体对于硅片清洗装置造成氧化腐蚀，延长硅片清洗装置的使用寿命。另一方面，外界空气在第一导风部件的引导作用下，能够有规律地在硅片清洗装置被流动，进而形成气流屏障，对硅片清洗装置内的有害气体起到阻挡的作用，避免了有害气体向硅片清洗装置外流动扩散而对用户造成损害，提高了硅片清洗装置的使用安全性。
8.另外，本实用新型上述技术方案提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：
9.上述技术方案中，第一导风部件包括切风板，切风板用于改变外界空气进入硅片清洗装置的流动方向。
10.本技术方案中第一导风部件包括切风板，外界空气能够在驱动装置的驱动下流经切风板，并且被切风板改变流动方向，使得用户通过调整切风板即可实现对于硅片清洗装置内洁净气体流动方向的调整，结构简单，易于实现，降低导风组件的成本。
11.上述任一技术方案中，第一导风部件还包括围板；安装槽，安装槽设置在围板上，且相对于围板凹陷，切风板通过安装槽与围板连接；其中，安装槽相对于围板倾斜。
12.本技术方案通过在围板上设置安装槽，实现了切风板与围板之间的可拆卸连接结构，便于维修更换，提高导风组件的适用性。并且安装槽相对于围板倾斜，进而使得切风板能够相对于安装槽倾斜，实现了通过切风板改变气体的流动方向，结构简单，降低导风组件成本。
13.上述任一技术方案中，切风板的数量为多个，多个切风板间隔布置，任两个相邻切风板之间设有间隙。
14.本技术方案中切风板的数量为多个，并且多个切风板间隔布置，任一两个切风板之间具有间隙，使得外界空气能够在驱动装置的作用下，经由间隙进入硅片清洗装置，进一
步提高了第一导风部件对于气体的引导效果。
15.上述任一技术方案中，导风组件还包括过滤装置；外界空气经过滤装置过滤后进入硅片清洗装置。
16.本技术方案通过设置过滤装置，实现了对于外界空气的过滤，避免空气中的杂质或者灰尘等经由切风板进入到硅片清洗装置之内，从而影响硅片清洗装置的清洗效果，进一步提高了硅片清洗装置的使用性能。
17.上述任一技术方案中，导风组件还包括第二导风部件，第二导风部件设置在驱动装置和第一导风部件之间。
18.本技术方案通过第二导风部件，起到引导空气流向第一导风部件的作用，避免空气向外扩散，确保了硅片清洗装置的进气量，进一步确保了减少了有害气体对于硅片清洗装置的氧化腐蚀，提高硅片清洗装置的使用性能。
19.为实现本实用新型的第二目的，本实用新型的技术方案提供了一种硅片清洗装置，包括壳体；如上述任一技术方案的导风组件，导风组件设置在壳体上。
20.本技术方案中的硅片清洗装置包括上述任一技术方案的导风组件，因此具有上述任一技术方案的全部有益效果，在此不再赘述。
21.上述技术方案中，硅片清洗装置还包括排风风道；抽风机；抽风机驱动硅片清洗装置内的空气经由排风风道排出。
22.本技术方案中硅片清洗装置还包括排风风道和抽风机，具体地，壳体内的空气能够在抽风机的作用下经由排风风道排出，实现了空气在壳体内的循环，避免了壳体内气压过大，影响硅片清洗装置的正常工作。
23.上述任一技术方案中，硅片清洗装置还包括排风阀，排风阀将排风风道与外界环境连通。
24.本技术方案中硅片清洗装置还包括排风阀，排风阀将排风风道与外界环境连通，进而通过控制排风阀的开启或者关闭，能够控制壳体内的空气是否向外排出，提高硅片清洗装置的使用灵活性。
25.上述任一技术方案中，第一导风部件引导硅片清洗装置内的空气流向排风风道。
26.本技术方案中，第一导风部件能够引导硅片清洗装置内的空气流向排风风道，进而促进了空气在硅片清洗装置内的循环，使得壳体内的有害气体能够充分地经由排风风道排出，提高了有害气体排出壳体的效率，同时减少了壳体内有害气体的残留量，避免了有害气体长时间停留在壳体内对壳体造成氧化腐蚀，延长了壳体的使用寿命。
27.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
28.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
29.图1为本实用新型一些实施例的硅片清洗装置结构示意图；
30.图2为本实用新型一些实施例的第一导风部件结构示意图之一；
31.图3为本实用新型一些实施例的第一导风部件结构示意图之二；
32.图4为本实用新型一些实施例的切风板结构示意图；
33.图5为本实用新型一些实施例的硅片清洗装置俯视图；
34.图6为本实用新型一些实施例的第二导风部件结构示意图。
35.其中，图1至图6中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
36.100：导风组件，110：驱动装置，120：第一导风部件，122：切风板，124：围板，126：安装槽，128：间隙，130：过滤装置，140：第二导风部件，200：硅片清洗装置，210：开口，220：壳体，230：排风风道，240：抽风机，250：排风阀，260：清洗槽。
具体实施方式
37.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
38.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
39.下面参照图1至图6描述根据本实用新型的一些实施例提供的导风组件100和硅片清洗装置200。
40.实施例1：
41.如图1和图5所示，本实施例提供了一种导风组件100，用于硅片清洗装置200。导风组件100包括驱动装置110和第一导风部件120。驱动装置110用于驱动外界空气经由第一导风部件120进入硅片清洗装置200。
42.随着太阳能光伏行业的发展，晶体硅电池发展的趋势是低成本、高效率、大产量。晶体硅电池的制备需要经过各种工艺槽，浓度高的药液槽为其中的一种，工艺要求需要使用浓度高的药液，例如盐酸、氢氟酸或者硝酸等对硅片进行清洗。但是高浓度药液具有强氧化性，会对设备内的零部件造成氧化腐蚀，会减少设备的使用寿命。同时，有害气体外泄会对人体造成危害。
43.具体地，药液浓度较高的槽体在打开槽盖时，药液会随着水蒸气或易挥发气体在短时间内向四周扩散，而相关技术中设备的抽风装置一般在槽体后部，这样槽体前部和两侧的气体无法被完成抽离，对设备内造成污染减少内部元件的使用寿命，甚至可能会泄露到设备外部。
44.为了相关技术中的解决上述不足，本实施例提供了一种导风组件100，用于硅片清洗装置200。可以理解地，本实施例中硅片清洗装置200用于清洗硅片，硅片清洗装置200包括清洗槽260，清洗槽260内盛放有高浓度的清洗药液。
45.本实施例通过导风组件100使得硅片清洗装置200能够通过导风组件100与外界连通。可以理解地，硅片清洗装置200包括开口210，驱动装置110驱动外界空气经由第一导风部件120进入开口210，一方面能够降低硅片清洗装置200内有害气体的浓度，能够减少有害气体对于硅片清洗装置200的氧化腐蚀，延长硅片清洗装置200的使用寿命。另外一方面，外界空气在第一导风部件120的引导作用下，能够有规律地在硅片清洗装置200内流动，进而形成气流屏障，对硅片清洗装置200内的有害气体起到阻挡的作用，避免有害气体向硅片清
洗装置200外扩散而对用户造成损害，提高了硅片清洗装置200的使用安全性。
46.在本实施例的一些实施方式中，驱动装置110可以为鼓风机或者层流风机等。驱动装置110的数量可以为一个或者多个，驱动装置110可以具有不同的送风量和送风力度，以满足不同硅片清洗装置200的使用需求，提高导风组件100的适用性。
47.在本实施例的另外一些实施方式中，第一导风部件120可以为导风格栅或者导风挡板等，起到对于气流的引导作用，结构简单，降低导风组件100的成本。
48.在本实施例的一些实施方式中，导风组件100可以随硅片清洗装置200一同启动或者停止，减小硅片清洗装置200内的有害气体浓度。在本实施例的另外一些实施方式中，也可以单独控制导风组件100的开启或者关闭，减少不必要的能源浪费。
49.实施例2：
50.如图1和图2所示，本实施例提供了一种导风组件100，除上述实施例1的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
51.第一导风部件120包括切风板122。切风板122用于改变外界空气进入硅片清洗装置200的流动方向。
52.本实施例中第一导风部件120包括切风板122，外界空气能够在驱动装置110的驱动下流经切风板122，并且被切风板122改变流动方向，使得用户通过调整切风板122即可实现对于硅片清洗装置200内洁净气体流动方向的调整，结构简单，易于实现，降低导风组件100的成本。
53.可以理解地，本实施例中切风板122为长方形的板状结构，起到引导空气流动的作用。切风板122的数量可以为一个或者多个，不同切风板122之间的形状可以相同，也可以不同。
54.实施例3：
55.如图2和图3所示，本实施例提供了一种导风组件100，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
56.第一导风部件120还包括围板124和安装槽126。安装槽126设置在围板124上，且相对于围板124凹陷。切风板122通过安装槽126与围板124连接。安装槽126相对于围板124倾斜。
57.本实施例中第一导风部件120还包括围板124和安装槽126。可以理解地，围板124的数量可以为多个，多个围板124包围限定出方形结构。安装槽126设置在围板124的内表面上，使得切风板122能够通过安装槽126安装在围板124限定出的方形结构内部，进而通过围板124对切风板122起到限位支撑的作用。
58.本实施例中切风板122通过安装槽126与围板124连接，实现了切风板122与围板124之间的可拆卸连接结构，便于用户维修更换，提高导风组件100的使用性能。
59.可以理解地，围板124设置在开口210处。安装槽126设置在围板124的表面上，并且相对于围板124相位凹陷，形成槽状结构。在本实施例的一些实施方式中，安装槽126的数量可以为多个，多个安装槽126间隔地设置在围板124之上，并且任意两个安装槽126之间相互平行。在本实施例的另外一些实施方式中，多个安装槽126之间的间隔宽度可以相同，也可以不同。
60.具体地，切风板122的形状与安装槽126的形状相适配，并且能够卡接在安装槽126
内，以实现切风板122与安装槽126之间的连接，避免切风板122相对于围板124发生偏移，影响对于气流的引导效果。
61.可以理解地，安装槽126的数量可以与切风板122的数量相同，安装槽126的数量也可以大于切风板122的数量。
62.本实施例中安装槽126相对于围板124倾斜，可以理解地，安装槽126相对于围板124的上边缘或者下边缘具有夹角，如图4所示，使得切风板122能够相对于围板124倾斜，进而起到改变空气流动方向的作用。
63.本实施例通过在围板124上设置安装槽126，实现了切风板122与围板124之间的可拆卸连接结构，便于维修更换，提高导风组件100的适用性。并且安装槽126相对于围板124倾斜，进而使得切风板122能够相对于安装槽126倾斜，实现了通过切风板122改变气体的流动方向，结构简单，降低导风组件100成本。
64.实施例4：
65.如图3和图4所示，本实施例提供了一种导风组件100，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
66.切风板122的数量为多个，多个切风板122间隔布置，任两个相邻切风板122之间设有间隙128。
67.本实施例中切风板122的数量为多个，并且多个切风板122间隔布置，任一两个切风板122之间具有间隙128，使得外界空气能够在驱动装置110的作用下，经由间隙128进入硅片清洗装置200，提高了第一导风部件120对于气体的引导效果。
68.在本实施例的一些实施方式中，多个切风板122之间的间隙128大小可以相同，也可以不同。
69.实施例5：
70.如图1所示，本实施例提供了一种导风组件100，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
71.导风组件100还包括过滤装置130。外界空气经过滤装置130过滤后进入硅片清洗装置200。
72.本实施例中导风组件100包括过滤装置130，可以理解地，过滤装置130可以为层流罩，起到过滤外界空气的作用，避免空气中的杂质或者灰尘等经由切风板122进入到硅片清洗装置200内，影响硅片清洗装置200的清洗效果。
73.在本实施例的一些实施方式中，过滤装置130的数量可以为一个，以降低导风组件100的成本。在本实施例的另外一些实施方式中，过滤装置130的数量也可以为多个，以提高对于外界空气的过滤效果，进而提高导风组件100的使用性能。
74.在本实施例的一些实施方式中，过滤装置130可以设置在驱动装置110与切风板122之间，使得外界空气被过滤装置130过滤后流向切风板122，避免切风板122被空气中的杂质堵塞，提高导风组件100的可靠性。
75.在本实施例的另外一些实施方式中，过滤装置130也可以设置在切风板122与硅片清洗装置200的开口210之间，使得切风板122引导气流流向过滤装置130，提高过滤装置130对于空气的过滤效果。
76.在本实施例的一些实施方式中，过滤装置130还可以设置在驱动装置110上方，使
得外界空气在驱动装置110的作用下，被过滤装置130过滤并流向切风板122，进一步提高了过滤装置130对于外界空气的过滤效果，避免空气中的杂质进入驱动装置110，提高导风组件100的使用可靠性。
77.本实施例通过设置过滤装置130，实现了对于外界空气的过滤，避免空气中的杂质或者灰尘等经由切风板122进入到硅片清洗装置200之内，从而影响硅片清洗装置200的清洗效果，进一步提高了硅片清洗装置200的使用性能。
78.实施例6：
79.如图1和图6所示，本实施例提供了一种导风组件100，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
80.导风组件100还包括第二导风部件140。第二导风部件140设置在驱动装置110和第一导风部件120之间。
81.本实施例中导风组件100还包括第二导风部件140，可以理解地，外界空气在驱动装置110的驱动下进入第二导风部件140，并在第二导风部件140的引导下流向第一导风部件120。
82.在本实施例的一些实施方式中，第二导风部件140可以为两端具有开口的管状结构。具体地，第二导风部件140的一端开口与驱动装置110连通，另外一端与第一导风部件120连通，实现外界空气在驱动装置110的作用下进入第二导风部件140，并且在第二导风部件140的引导下经由另一端开口流向第一导风部件120。
83.可以理解地，第二导风部件140的两端开口大小可以相同，也可以不同。在本实施例的一些实施方式中，第二导风部件140与驱动装置110一端连接的开口大于第二导风部件140与第一导风部件120一端连接的开口，使得第二导风部件140自驱动装置110到第一导风部件120逐渐收缩，增加第二导风部件140的进气量，同时加快了第一导风部件120处的空气流速，进而提高洁净空气在硅片清洗装置200内形成的气流屏障的严密性，增强气流屏障对于有害气体的阻挡效果。
84.本实施例通过第二导风部件140，起到引导空气流向第一导风部件120的作用，避免空气向外扩散，确保了硅片清洗装置200的进气量，进一步确保了减少了有害气体对于硅片清洗装置200的氧化腐蚀，提高硅片清洗装置200的使用性能。
85.实施例7：
86.如图1所示，本实施例提供了一种硅片清洗装置200，包括壳体220，和如上述任一实施例的导风组件100，导风组件100设置在壳体220上，因此具有上述任一技术方案的全部有益效果，在此不再赘述。
87.在本实施例的一些实施方式中，导风组件100可以设置在壳体220的上部区域，以使得空气能够在重力的作用下向壳体220内流动，进而提高外界空气进入壳体220的效率。
88.实施例8：
89.如图1所示，本实施例提供了一种硅片清洗装置200，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
90.硅片清洗装置200还包括排风风道230和抽风机240。抽风机240驱动硅片清洗装置200内的空气经由排风风道230排出。
91.本实施例中硅片清洗装置200还包括排风风道230和抽风机240，具体地，壳体220
内的空气能够在抽风机240的作用下经由排风风道230排出，实现了空气在壳体220内的循环，避免了壳体220内气压过大，影响硅片清洗装置200的正常工作。
92.在本实施例的一些实施方式中，排风风道230的数量可以为一个或者多个，以提高空气排出壳体220的效率。
93.实施例9：
94.如图1所示，本实施例提供了一种硅片清洗装置200，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
95.硅片清洗装置200还包括排风阀250。排风阀250将排风风道230与外界环境连通。
96.本实施例中硅片清洗装置200还包括排风阀250，排风阀250将排风风道230与外界环境连通，进而通过控制排风阀250的开启或者关闭，能够控制壳体220内的空气是否向外排出，提高硅片清洗装置200的使用灵活性。
97.实施例10：
98.如图1所示，本实施例提供了一种硅片清洗装置200，除上述任一实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
99.第一导风部件120引导硅片清洗装置200内的空气流向排风风道230。
100.本实施例中，第一导风部件120能够引导硅片清洗装置200内的空气流向排风风道230，进而促进了空气在硅片清洗装置200内的循环，使得壳体220内的有害气体能够充分地经由排风风道230排出，提高了有害气体排出壳体220的效率，同时减少了壳体220内有害气体的残留量，避免了有害气体长时间停留在壳体220内对壳体220造成氧化腐蚀，延长了壳体220的使用寿命。
101.在本实施例的一些实施方式中，可以设置切风板122向排风风道230的方向倾斜，进而外部洁净空气在导风组件100的作用下进入硅片清洗装置200之后，能够流向排风风道230，从而驱动壳体220内的有害气体向排风风道230方向流动，结构简单，易于实现，降低硅片清洗装置200成本。
102.实施例11：
103.为了解决相关技术中的上述问题，本实施例提供了一种硅片清洗装置200，包括导风组件100。具体地，硅片清洗装置200包括清洗槽260，导风组件100设置在清洗槽260上方，可有效的将有害气体与硅片清洗装置200的金属零件分开隔离，有效防止有害气体气体外泄到硅片清洗装置200的外部。
104.具体地，本实施例中硅片清洗装置200包括壳体220，在壳体220顶部增加一个开口210，导风组件100设置在开口210上。导风组件100包括切风板122、过滤装置130和驱动装置110。切风板122起到调节气体流动方向的作用。
105.在本实施例的一些实施方式中，驱动装置110可以为层流风机或者鼓风机等。驱动装置110通过过滤装置130和切风板122将外部洁净气体引导进入到硅片清洗装置200内部，使得外部洁净气体将槽体前部、左右两侧和上方的有害气体进行切断隔离隔离使之不往前扩散。同时外部洁净气体有助于有害气体被排风风道230排出。
106.如图1和图2所示，本实施例中导风组件100包括驱动装置110、过滤装置130和第一导风部件120。第一导风部件120包括围板124，具体地，围板124的数量可以为多个，并且间隔设置，首尾相连，包围限定出方形结构。
107.围板124之上设有安装槽126，用于安装切风板122。在本实施例的一些实施方式中，如图4所示，安装槽126与围板124长度方向边缘线呈一定角度，切风板122安装在具有一定倾斜角度的安装槽126内，用于调整吹风方向。
108.本实施例中的硅片清洗装置200包括清洗槽260和排风风道230。具体地，硅片清洗装置200内部设置有安装板，安装板一侧区域用于设置管路系统，另外一侧区域设置清洗槽260。排风风道230设置在安装板靠近设置清洗槽260区域一侧，用于对硅片清洗装置200内部的气体进行抽离，使硅片清洗装置200内部的环境进行循环净化。
109.硅片清洗装置200顶部开设有开口210，第一导风部件120设置在开口210处。第一导风部件120上部设置有过滤装置130，过滤装置130上部安装有驱动装置110。在本实施例的一些实施方式中，过滤装置130可以为层流罩，层流罩套设在第二导风部件140之上。
110.可以理解地，驱动装置110受硅片清洗装置200的工控机控制，其风力和风速的大小可通过工控机进行控制。
111.如图1和图5所示，导风组件100设置在清洗槽260区域，硅片清洗装置200的顶板上，且远离安装板一侧。硅片清洗装置200运行时，驱动装置110启动，外界空气通过驱动装置110、过滤装置130和导风组件100进入到硅片清洗装置200的内部，在切风板122的作用下，由导风组件100导入的风成一定倾斜角度，在清洗槽260远离安装板的一端与其对应的硅片清洗装置200之间形成一道风屏障。当硅片清洗装置200中的工艺槽槽盖被打开时，浓度较高或易挥发的溶液所产生的蒸气可被风屏障隔离，防止其在硅片清洗装置200内大面积扩散。此外，风屏障可对蒸气起到一定的推力作用，使蒸气沿硅片清洗装置200抽风道排出硅片清洗装置200外围。
112.在本实施例的一些实施方式中，导风组件100可仅设置在盛有浓度较高或易挥发的清洗槽260对应顶板上方，或在硅片清洗装置200的清洗槽260对应顶板上方均设置。
113.在本实施例的另外一些实施方式中，可以在硅片清洗装置200的槽盖被打开之前，先启动导风组件100，减少不必要的能源消耗。也可以在硅片清洗装置200清洗的整个过程中保持导风组件100的启动状态，提高有害气体排出在硅片清洗装置200的效率。
114.综上，本实用新型实施例的有益效果为：
115.1.外界空气能够通过导风组件100进入到硅片清洗装置200之内，降低硅片清洗装置200内有害气体的浓度，减少有害气体对于硅片清洗装置200的腐蚀，延长硅片清洗装置200的使用寿命；
116.2.通过设置风切板122引导对空气起到引导作用，使得硅片清洗装置200内能够形成气流屏障，避免有害气体向外散发而对用户造成损害，提高硅片清洗装置200的使用安全性。
117.在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
118.本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和
简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。
119.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
120.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。