一种基板翻转对中装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种基板翻转对中装置。


背景技术：

2.众所周知，现有的半导体处理是指为了在半导体晶片或者基板等被处理基板上按照规定图案形成半导体层、绝层和半导体层等，而对基板进行的各种处理，要形成半导体元件，需要对基板进行清洗、成膜、刻蚀、氧化、扩散等各种处理，在这些处理中，随着半导体集成电路的精细化和高集成化，生产率和成品率的提高越来越受重视，在各种处理过程中，基板背面的处理越来越受到人们的重视，尤其是基板清洗时，背面的清洗会对成品率产生重要影响，基板背面的污染会降低成品率，成品率的降低会越来越严重，因此越来越多的器件制造厂家要求高集成化的半导体处理系统具有基板双面处理的能力。
3.如对比公开专利“cn103811397b”名为“一种基板翻转对中装置”，包括保持部、翻转驱动部、平移驱动部、控制部、传动机构，其中保持部通过传动机构与平移驱动部连接，所述保持部通过平移驱动部和翻转驱动部的驱动，实现对基板的对中与翻转；所述平移驱动部和翻转驱动部分别与控制部连接，该翻转对中装置在对中过程中容易对基板造成力度过大造成基板损坏等问题，影响生产效率，增加了不必要的生产成本。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种防止损伤基板的基板翻转对中装置。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板翻转对中装置，包括安装台，所述安装台包括第一支架以及第二支架，所述第一支架与第二支架对称安装在所述安装台的两侧，所述第一支架的一侧设有驱动电机，所述驱动电机上设有驱动轴，所述驱动轴向所述第二支架延伸，所述支柱安装在所述第二支架的一侧，所述支柱上设有转轴，所述转轴向所述第一支架延伸，所述转轴的一端以及驱动轴的一端均设有放置板，所述放置板对称一侧设有放置槽，所述放置槽的内部设有与感应器，所述放置板的顶端设有安装板，所述安装板的内部设有液压泵，所述安装板的一侧设有液压口，所述液压泵连通所述液压口，所述液压泵上设有液压柱，所述液压柱的一端设有伸缩柱，所述伸缩柱连通所述液压柱，且所述伸缩柱抵在所述安装板的一侧，所述安装台的内部设有控制主板，所述控制主板与所述驱动电机、液压泵以及感应器之间设有电路线连接。
8.为了更好的控制翻转速率，本实用新型改进有，所述控制主板包括控制模块、转速模块以及感应模块，所述控制模块与所述感应模块以及转速模块之间设有电路线连接。
9.为了方便工作人员输入系统数据，本实用新型改进有，所述安装台的一侧设有数据接口，所述控制主板用于所述数据接口之间设有电路线连接。
10.为了防止水渗入内部，本实用新型改进有，所述数据接口的外侧设有防护罩。
11.为了防止被外部因素腐蚀，本实用新型改进有，所述安装板以及放置板的外表面均涂有防腐层。
12.为了方便工作人员安装该装置，本实用新型改进有，所述安装台的底端设有螺纹孔，所述螺纹孔设有多个。
13.为了方便工作人员调整翻转角度，本实用新型改进有，所述安装板的内部设有角度定位器，所述控制主板与所述角度定位器之间设有电路线连接。
14.为了方便工作人员归位翻转角度，本实用新型改进有，所述安装板的内部设有水平定位器，所述控制主板与所述水平定位器之间设有电路线连接。
15.(三)有益效果
16.与现有技术相比，本实用新型提供了一种基板翻转对中装置，具备以下有益效果：
17.该基板翻转对中装置，通过液压泵将内部的空气进行排出，使液压柱的内部的气压进行收缩，伸缩柱向液压柱内部进行收缩，同时转轴在支柱上进行延长，使两个放置板紧固基板，使基板抵在感应器上，当感应器感应到基板时，控制液压泵停止液压活动，防止力度过大导致基板损伤，减少了不必要的成本费用，通过驱动电机带动驱动轴，使基板通过驱动轴和转轴进行翻转作业，方便工作人员操作，对中精确。
附图说明
18.图1为本实用新型结构示意图；
19.图2为本实用新型结构正视半剖图；
20.图3为本实用新型结构运行流程图。
21.图中：1、安装台；2、第一支架；3、第二支架；4、驱动轴；5、驱动电机；6、转轴；7、伸缩柱；8、液压柱；9、支柱；10、液压泵；11、安装板；12、放置板；13、放置槽；14、液压口；15、控制主板；16、控制模块；17、转速模块；18、感应模块；19、感应器。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1
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3，本实用新型为一种基板翻转对中装置，包括安装台1，所述安装台1包括第一支架2以及第二支架3，所述第一支架2与第二支架3对称安装在所述安装台1的两侧，所述第一支架2的一侧设有驱动电机5，所述驱动电机5上设有驱动轴4，所述驱动轴4向所述第二支架3延伸，所述支柱9安装在所述第二支架3的一侧，所述支柱9上设有转轴6，所述转轴6向所述第一支架2延伸，所述转轴6的一端以及驱动轴4的一端均设有放置板12，所述放置板12对称一侧设有放置槽13，所述放置槽13的内部设有与感应器19，所述放置板12的顶端设有安装板11，所述安装板11的内部设有液压泵10，所述安装板11的一侧设有液压口14，所述液压泵10连通所述液压口14，所述液压泵10上设有液压柱8，所述液压柱8的一端设有伸缩柱7，所述伸缩柱7连通所述液压柱8，且所述伸缩柱7抵在所述安装板11的一侧，所
述安装台1的内部设有控制主板15，所述控制主板15与所述驱动电机5、液压泵10以及感应器19之间设有电路线连接。
24.综上所述，该基板翻转对中装置，在使用时，工作人员通过安装台1的控制主板15进行控制液压泵10、感应器19和驱动电机5，将基板放置在放置槽13中，通过安装板11的液压泵10将内部的空气从液压口14中进行排出，使液压柱8的内部的气压进行收缩，伸缩柱7向液压柱8内部进行收缩，同时转轴6在支柱9上进行延长，使两个放置板12紧固基板，使基板抵在感应器19上，当感应器19感应到基板时，控制液压泵10停止液压活动，防止力度过大导致基板损伤，减少了不必要的成本费用，通过第一支架2上的驱动电机5带动驱动轴4，使基板通过驱动轴4和第二支架3的转轴6进行翻转作业，方便工作人员操作，对中精确。
25.本实施例中，所述控制主板15包括控制模块16、转速模块17以及感应模块18，所述控制模块16与所述感应模块18以及转速模块17之间设有电路线连接，更好的控制翻转速率。
26.本实施例中，所述安装台1的一侧设有数据接口，所述控制主板15用于所述数据接口之间设有电路线连接，方便工作人员输入系统数据。
27.本实施例中，所述数据接口的外侧设有防护罩，防止水渗入内部。
28.本实施例中，所述安装板11以及放置板12的外表面均涂有防腐层，防止被外部因素腐蚀。
29.本实施例中，所述安装台1的底端设有螺纹孔，所述螺纹孔设有多个，方便工作人员安装该装置。
30.本实施例中，所述安装板11的内部设有角度定位器，所述控制主板15与所述角度定位器之间设有电路线连接，方便工作人员调整翻转角度。
31.本实施例中，所述安装板11的内部设有水平定位器，所述控制主板15与所述水平定位器之间设有电路线连接，方便工作人员归位翻转角度。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。