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用于石英坩埚搬运的装置的制作方法

2021-11-06 03:42:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及坩埚制造技术领域,尤其涉及一种用于石英坩埚搬运的装置。


背景技术:

2.石英玻璃坩埚是太阳能和半导体行业单晶生长过程当中较为重要的一种辅料,由于石英坩埚和硅料直接接触,因此石英坩埚的纯度必须要得到很好的保障和控制。石英坩埚纯度的保障除了选取高纯度原料以为,在生产加工过程当中还必须严格控制杂质污染。因此,石英坩埚在熔制结束以后必须经过喷砂、切割、化学洗净、纯水洗净等复杂后道工序的处理。特别是化学洗净工序,此工序可有效清除石英坩埚熔制后的过程当中带入的杂质。传统的化学洗净,是在特制的pp槽当中加入一定配比的hf酸,然后将石英坩埚口沿朝上浸没酸液当中,酸液需完全淹没石英坩埚。待浸泡特定时间之后,再人为翻动坩埚将其从酸槽当中捞取出来进入下一道工序。随着石英坩埚尺寸的加大,石英坩埚的重量也在不断加重。将石英坩埚放入酸槽及捞取翻动石英坩埚难度在不断加大,之前一个人用双手抱住坩埚外壁借助浮力即可翻动坩埚。随着坩埚外径增大,一个人的双手已无法翻动坩埚,需两人以上进行协助。但是由于石英坩埚光滑圆柱体的外形结构外表面无着力点,员工为方便翻动,会直接抓主坩埚口沿部位进行翻转,这种作业方式会导致坩埚内壁划伤。


技术实现要素:

3.有鉴于此,有必要提供一种方便石英坩埚在酸槽洗净过程当中搬运的用于石英坩埚搬运的装置。
4.一种用于石英坩埚搬运的装置包括下挡板、至少三个连接支柱、上挡板,所述下挡板的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板,所述下挡板的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。
5.优选的,所述用于石英坩埚搬运的装置包括四个连接支柱,相应的,在上挡板上设有四个安装槽,以便于连接支柱穿过。
6.优选的,所述连接支柱的上端设有凸台,所述凸台的直径小于连接支柱的直径,以使上挡板能够架设在连接支柱上,凸台与安装槽套设连接,凸台上设有外螺纹,以通过螺母将上挡板固定,螺母为连接支柱的卡持部。
7.优选的,所述安装槽有四条边,其中两条相正对的边为弧形边,另外两条相正对的边为直线边,两条直线边的间距与凸台的直径相同,其中一个弧形边的直径与凸台的直径相同,另一个弧形边的直径大于凸台的直径。
8.优选的,所述上挡板的边缘设有一个第一方形孔,以便于操作人员抓握。
9.优选的,所述下挡板的边缘设有四个第二方形孔,以便于操作人员抬放。
10.优选的,所述上挡板的中心设有一个圆形通孔,以便于酸液能够进出石英坩埚。
11.优选的,所述连接支柱为可升降支柱。
12.有益效果:本实用新型的用于石英坩埚搬运的装置包括下挡板、至少三个连接支柱、上挡板,所述下挡板的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板,所述下挡板的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。采用本方案的用于石英坩埚搬运的装置在对坩埚进行翻转时,只需要抓住连接支柱即可,操作十分方便,且坩埚的放置和拆卸都非常容易,既提高了员工的工作效率,又减少了工作的劳动强度。
附图说明
13.图1为本实用新型的用于石英坩埚搬运的装置的结构示意图。
14.图中:用于石英坩埚搬运的装置10、下挡板20、第二方形孔201、连接支柱30、凸台301、上挡板40、安装槽401、第一方形孔402。
具体实施方式
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.请参看图1,一种用于石英坩埚搬运的装置10包括下挡板20、至少三个连接支柱30、上挡板40,所述下挡板20的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板40套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板40,所述下挡板20的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。
17.进一步的,所述用于石英坩埚搬运的装置10包括四个连接支柱,相应的,在上挡板40上设有四个安装槽401,以便于连接支柱穿过。
18.进一步的,所述连接支柱的上端设有凸台301,所述凸台301的直径小于连接支柱30的直径,以使上挡板40能够架设在连接支柱30上,凸台301与安装槽401套设连接,凸台301上设有外螺纹,以通过螺母将上挡板40固定,螺母为连接支柱的卡持部。
19.进一步的,所述安装槽401有四条边,其中两条相正对的边为弧形边,另外两条相正对的边为直线边,两条直线边的间距与凸台301的直径相同,其中一个弧形边的直径与凸台301的直径相同,另一个弧形边的直径大于凸台301的直径。
20.当固定石英坩埚时,连接支柱的凸台301位于较小的弧形边内,如此,上挡板40被卡在连接支柱上。当想要将上挡板40从连接支柱上取下时,先松动螺母,然后移动上挡板40,使上挡板40沿着直线边移动到较大的弧形边内,然后向上取出即可。
21.进一步的,所述上挡板40的边缘设有一个第一方形孔402,以便于操作人员抓握。
22.进一步的,所述下挡板20的边缘设有四个第二方形孔201,以便于操作人员抬放。
23.进一步的,所述上挡板40的中心设有一个圆形通孔,以便于酸液能够进出石英坩埚。
24.进一步的,所述连接支柱30为可升降支柱。
25.在一较佳实施方式中,所述连接支柱30由若干段连接杆套设连接。连接杆设有自锁螺纹,通过旋转连接杆,对连接支柱30进行升降。
26.在使用时,将石英坩埚放在下挡板20上,并通过连接支柱将石英坩埚夹紧。之后将上挡板40套设在连接支柱上,并使石英坩埚的上端口紧贴上挡板40,拧紧螺栓。之后两人抓住下挡板20的第二方形孔201,抬起坩埚缓慢放入酸槽中,然后卸掉上挡板40。浸泡时间足够时,抓住连接支柱,然后装好上挡板40将坩埚固定。再进行翻转,将坩埚内部酸液倒出。之后将装置从酸液中拿出。坩埚开口向上放置到地面上。卸掉上挡板40,然后取出坩埚。
27.以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。


技术特征:
1.一种用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:包括下挡板、至少三个连接支柱、上挡板,所述下挡板的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板,所述下挡板的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。2.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述用于石英坩埚搬运的装置包括四个连接支柱,相应的,在上挡板上设有四个安装槽,以便于连接支柱穿过。3.如权利要求2所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述连接支柱的上端设有凸台,所述凸台的直径小于连接支柱的直径,以使上挡板能够架设在连接支柱上,凸台与安装槽套设连接,凸台上设有外螺纹,以通过螺母将上挡板固定,螺母为连接支柱的卡持部。4.如权利要求3所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述安装槽有四条边,其中两条相正对的边为弧形边,另外两条相正对的边为直线边,两条直线边的间距与凸台的直径相同,其中一个弧形边的直径与凸台的直径相同,另一个弧形边的直径大于凸台的直径。5.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述上挡板的边缘设有一个第一方形孔,以便于操作人员抓握。6.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述下挡板的边缘设有四个第二方形孔,以便于操作人员抬放。7.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述上挡板的中心设有一个圆形通孔,以便于酸液能够进出石英坩埚。8.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述连接支柱为可升降支柱。

技术总结
本实用新型的用于石英坩埚搬运的装置包括下挡板、至少三个连接支柱、上挡板,所述下挡板的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板,所述下挡板的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。采用本方案的用于石英坩埚搬运的装置在对坩埚进行翻转时,只需要抓住连接支柱即可,操作十分方便,且坩埚的放置和拆卸都非常容易,既提高了员工的工作效率,又减少了工作的劳动强度。减少了工作的劳动强度。减少了工作的劳动强度。


技术研发人员:邓红 何玉鹏 王建军 李常国 李卫
受保护的技术使用者:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
技术研发日:2020.12.18
技术公布日:2021/11/5
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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