一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布的制作方法

本技术涉及一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，属于缓冲垫用针刺无纺布。

背景技术：

1、半导体晶圆制造过程中，研磨是一个关键步骤，用来平整化晶圆表面。缓冲垫在这个过程中起到支撑和缓冲的作用。传统的缓冲垫使用聚氨酯或者橡胶等材料制作而成，产品的精度不高，导致研磨后的表面不够平整，影响后续工艺。然后是热稳定性，聚氨酯的耐受温度不高于110℃，研磨过程中会产生热量，传统材料可能在高温下变形或性能下降，影响研磨效果。还有材料残留的问题，传统缓冲垫可能在研磨过程中磨损，产生颗粒污染晶圆表面，增加缺陷率。此外，维护和更换频率可能较高，长期使用下维护成本可能上升。并且传统所使用的聚氨酯缓冲垫上设置有供研磨液通过的孔，但是聚氨酯本身所存储的研磨液较小，一旦孔被堵塞会造成干磨。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，可以存储研磨液，并且具有针刺孔和纤维间隙，可供研磨液通过。

2、为解决上述技术问题，本实用新型的目的是这样实现的：

3、本实用新型所涉及的一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，所述缓冲垫针刺无纺布包括经针刺复合的第一pet纤维网和第二pet纤维网；所述第一pet纤维网经过针刺加固；

4、所述缓冲垫针刺无纺布具有直径为0.4-0.45mm的针刺孔，克重为300-350克每平方米，厚度为2.3-2.7mm。

5、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一pet纤维网和第二pet纤维网之间设置有尼龙6纤维网3。

6、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述尼龙6纤维网的截面呈十字形或y字形

7、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一pet纤维网和第二pet纤维网所使用的pet纤维网包括依次设置的第一交叉铺网层、平行铺网层和第二交叉铺网层。

8、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述平行铺网层所使用的涤纶纤维的截面呈十字形或y字形。

9、本实用新型的有益效果是：本实用新型所涉及的一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，较细直径的刺针形成较细的针刺孔，可以使得针刺无纺布的表面平整。所形成的针刺孔和纤维间的间隙，可以存储研磨液，并且使得研磨液容易通过缓冲垫，不会形成干磨。

1.一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，其特征在于，所述缓冲垫针刺无纺布包括经针刺复合的第一pet纤维网（1）和第二pet纤维网（2）；所述第一pet纤维网（1）经过针刺加固；

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，其特征在于，所述第一pet纤维网（1）和第二pet纤维网（2）之间设置有尼龙6纤维网（3）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，其特征在于，所述尼龙6纤维网（3）的截面呈十字形或y字形。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，其特征在于，所述第一pet纤维网（1）和第二pet纤维网（2）所使用的pet纤维网包括依次设置的第一交叉铺网层（11）、平行铺网层（12）和第二交叉铺网层（13）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆研磨缓冲垫针刺无纺布，其特征在于，所述平行铺网层（12）所使用的涤纶纤维的截面呈十字形或y字形。