静电发电机电极定心和隔震系统相关申请的交叉引用2.本技术要求2019年12月28日提交的题为“electrostatic generator electrode-centering and seismic-isolation system for flywheel-based energy storage modules(用于基于飞轮的储能模块的静电发电机电极定心和隔震系统)”的美国专利申请号16/729,317的优先权,该美国专利申请是2016年7月5日提交的题为“electrostatic gener
多层莫尔目标及其在测量半导体装置的偏移中的使用方法相关申请案的参考2.据此参考2019年7月10日提出申请且标题为“新型的多层光栅叠加光栅叠对测量目标设计(a new multilayer grating over grating overlay measurement target design)”的美国临时专利申请案第62/872,422号,所述美国临时专利申请案的揭示内容据此以引用的方式并入且据此主张其优先权。3.也参考本技术人的与本技术案的标的物相关的以下专利及专利申请案,所述专利及专利申请案的揭