气胶分流式匀胶装置的制作方法

本发明涉及一种气胶分流式匀胶装置。

背景技术：

1、硅片在涂布光刻胶的时候，为了在硅片表面形成均匀的薄膜，通常采用匀胶机进行涂布，一般匀胶机是将光刻胶滴在硅片表面后，转动硅片在离心力的作用下，光刻胶均匀摊铺在硅片表面，多余的光刻胶会向四周飞溅到容纳硅片的腔体上，未凝固的光刻胶沾到腔体上后会向下滴落到硅片上，导致硅片表面胶分布不均匀，影响产品质量。同时由于胶体的溶剂会挥发，并跟随旋转气流再次接触到硅片上，同时产生的废气影响作业环境。

技术实现思路

1、本发明为了克服上述的不足，提供了一种气胶分流式匀胶装置，能够实现废气和多余胶体分离收集，保障产品质量，减少环境污染。

2、为实现这一目的，本发明所采用的结构是：气胶分流式匀胶装置，包括机体，所述机体中央设置转轴安装座，转轴安装座中央设置空心转轴，空心转轴顶部连接吸盘，底部通过传动结构连接驱动电机，吸盘底部设置有一抽气挡板，抽气挡板底部设置抽气腔体，抽气腔体外侧设置下积液腔，下积液腔上设置上积液腔，上积液腔顶部设置上盖，抽气腔体底部设置多根分抽气管，分抽气管底部和空心转轴底部连接下气腔体，下气腔体通过主抽气管连接抽气机，下积液腔底部连接排废管。

3、所述上积液腔通过多个升降结构与机体连接，所述升降结构包括升降电机，升降电机连接在机体内，升降电机连接丝杆，丝杆顶部连接销轴，销轴穿过下积液腔与上积液腔底部连接。

4、所述丝杆上连接一导向支架，导向支架一端连接丝杆，另一端通过滚轮接触升降电机外壁，导向支架上设置一触板，触板旁设置传感支架，传感支架连接在机体上，传感支架上设置多个传感器。

5、所述抽气挡板为锥体结构，抽气挡板穿套在空心转轴上，抽气挡板的直径大于抽气腔体，小于下积液腔。

6、所述上积液腔为环形结构，下积液腔为纵截面呈u型的环形结构，下积液腔内环与抽气腔体衔接，衔接处设置密封圈，下积液腔外环卡入上积液腔底部。

7、所述上积液腔的内壁呈顶部直径小底部直径大的坡面。

8、所述抽气腔体为环形结构，顶部设置凹槽，抽气腔体套在转轴安装座外侧，抽气腔体的高度底部下积液腔。

9、所述上盖顶部设置有一玻璃盖板，玻璃盖板上设置多个通孔。

10、所述机体内设置有多根立柱，立柱垂直设置，立柱支撑机体内顶部和底部。

11、其有益效果是：本发明结构设计合理巧妙，利用抽气挡板、下积液腔、上积液腔和抽气腔体的结构配合，使飞溅的胶体流入下积液腔，产生的废气从主抽气管排出收集，并且在气流的作用下，避免飞溅的液滴反弹到吸盘上。

1.气胶分流式匀胶装置，包括机体（1），其特征在于，所述机体（1）中央设置转轴安装座（10），转轴安装座（10）中央设置空心转轴（8），空心转轴（8）顶部连接吸盘（4），底部通过传动结构连接驱动电机（9），吸盘（4）底部设置有一抽气挡板（5），抽气挡板（5）底部设置抽气腔体（7），抽气腔体（7）外侧设置下积液腔（6），下积液腔（6）上设置上积液腔（2），上积液腔（2）顶部设置上盖（3），抽气腔体（7）底部设置多根分抽气管（11），分抽气管（11）底部和空心转轴（8）底部连接下气腔体（12），下气腔体（12）通过主抽气管（13）连接抽气机，下积液腔（6）底部连接排废管（14）。

2.根据权利要求1所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述上积液腔（2）通过多个升降结构与机体（1）连接，所述升降结构包括升降电机（16），升降电机（16）连接在机体（1）内，升降电机（16）连接丝杆（17），丝杆（17）顶部连接销轴，销轴穿过下积液腔（6）与上积液腔（2）底部连接。

3.根据权利要求2所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述丝杆（17）上连接一导向支架（18），导向支架（18）一端连接丝杆（17），另一端通过滚轮接触升降电机（16）外壁，导向支架（18）上设置一触板，触板旁设置传感支架（19），传感支架（19）连接在机体（1）上，传感支架（19）上设置多个传感器。

4.根据权利要求1所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述抽气挡板（5）为锥体结构，抽气挡板（5）穿套在空心转轴（8）上，抽气挡板（8）的直径大于抽气腔体（7），小于下积液腔（6）。

5.根据权利要求1所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述上积液腔（2）为环形结构，下积液腔（6）为纵截面呈u型的环形结构，下积液腔（6）内环与抽气腔体（7）衔接，衔接处设置密封圈，下积液腔（6）外环卡入上积液腔（2）底部。

6.根据权利要求5所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述上积液腔（2）的内壁呈顶部直径小底部直径大的坡面。

7.根据权利要求1所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述抽气腔体（7）为环形结构，顶部设置凹槽，抽气腔体（7）套在转轴安装座（10）外侧，抽气腔体（7）的高度底部下积液腔（6）。

8.根据权利要求1所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述上盖（3）

9.根据权利要求1所述的气胶分流式匀胶装置，其特征在于，所述机体（1）内设置有多根立柱，立柱垂直设置，立柱支撑机体（1）内顶部和底部。