一种废气处理用过滤循环水箱的制作方法

本申请涉及半导体废气处理，具体而言，涉及一种废气处理用过滤循环水箱。

背景技术：

1、随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重。

2、排放出的无组织废气多数比空气重，如果排放进大气，经过蔓延后会沉积在地面上，并达到很高的浓度，造成严重的环境污染，危害人体健康。如若遇到火种，将造成火灾，甚至产生爆炸。

3、因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。

4、为了防止废气排放中存在的问题发生，人们通常将其集中起来烧掉，以绝后患，但焚烧废气处理设备在运行过程中，需要使用大量的水降温，造成大量冷却水的资源消耗。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种废气处理用过滤循环水箱，通过循环水对废气喷淋溶解的形式，在喷淋塔以及反应塔进行废气的吸附溶解处理，同时能够监控循环废水的运行压力，以及对循环废水进行过滤，保证循环水对废气的喷淋溶解效果。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供一种废气处理用过滤循环水箱，包括水箱单元，用于接收及外输对废气进行喷淋溶解后的循环废水；

3、所述水箱单元包括能够对循环废水进行循环的循环水泵，所述循环水泵连接有循环水进水管以及循环水出水管，所述循环水出水管连接有三通管，所述三通管的其中一个管口安装有压力传感器，另一个管口连接有过滤分流器，所述过滤分流器用于连接循环水外输管，用以将循环废水外输至喷淋单元；

4、所述过滤分流器连接有循环水排水管。

5、在可选的实施方式中，所述循环水排水管通过活接头连接在所述过滤分流器的下游，且在所述循环水排水管上依次设置有隔膜阀、单向阀以及手阀。

6、在可选的实施方式中，所述水箱单元包括主水箱以及承漏水箱，所述循环水泵设置在所述承漏水箱中，所述承漏水箱中设置有用于安装循环水泵的水泵固定板，所述水泵固定板通过焊接在所述承漏水箱中的定位螺柱固定安装。

7、在可选的实施方式中，所述循环水出水管包括直管段以及活接头，所述三通管通过所述活接头与所述直管段连接。

8、在可选的实施方式中，所述直管段、所述三通管以及所述过滤分流器的管径相同。

9、在可选的实施方式中，所述循环水排水管的管径小于所述循环水出水管的管径。

10、在可选的实施方式中，所述三通管的管口上连接有变径管，所述压力传感器与所述变径管相接。

11、在可选的实施方式中，所述循环水泵的进水口以及所述主水箱的出水口分别连接有活接头，所述循环水进水管连接在所述活接头之间。

12、在可选的实施方式中，所述循环水进水管包括位于所述主水箱内部的延伸管段，所述延伸管段包括水平管段以及连接在水平管段末端朝下设置的弯头。

13、在可选的实施方式中，所述喷淋单元包括反应塔及洗涤塔，所述主水箱上设置有用于连接反应塔及洗涤塔的反应塔进水管口以及洗涤塔进水法兰。

14、通过本申请中的废气处理用过滤循环水箱，能够对废气进行喷淋处理，同时能够结合三通管以及压力传感器监测循环水的系统压力，结合过滤分流器对循环废水进行过滤，并使循环废水分流输送至喷淋单元，保证循环水对废气的喷淋溶解效果。

15、本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

1.一种废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，包括水箱单元，用于接收及外输对废气进行喷淋溶解后的循环废水；

2.根据权利要求1所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述循环水排水管通过活接头连接在所述过滤分流器的下游，且在所述循环水排水管上依次设置有隔膜阀、单向阀以及手阀。

3.根据权利要求1所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述水箱单元包括主水箱以及承漏水箱，所述循环水泵设置在所述承漏水箱中，所述承漏水箱中设置有用于安装循环水泵的水泵固定板，所述水泵固定板通过焊接在所述承漏水箱中的定位螺柱固定安装。

4.根据权利要求3所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述循环水出水管包括直管段以及活接头，所述三通管通过所述活接头与所述直管段连接。

5.根据权利要求4所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述直管段、所述三通管以及所述过滤分流器的管径相同。

6.根据权利要求5所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述循环水排水管的管径小于所述循环水出水管的管径。

7.根据权利要求5所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述三通管的管口上连接有变径管，所述压力传感器与所述变径管相接。

8.根据权利要求5所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述循环水泵的进水口以及所述主水箱的出水口分别连接有活接头，所述循环水进水管连接在所述活接头之间。

9.根据权利要求8所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述循环水进水管包括位于所述主水箱内部的延伸管段，所述延伸管段包括水平管段以及连接在水平管段末端朝下设置的弯头。

10.根据权利要求8所述的废气处理用过滤循环水箱，其特征在于，所述喷淋单元包括反应塔及洗涤塔，所述主水箱上设置有用于连接反应塔及洗涤塔的反应塔进水管口以及洗涤塔进水法兰。