一种半导体制程废气净化处理设备的制作方法

本发明涉及废气净化，具体为一种半导体制程废气净化处理设备。

背景技术：

1、随着我国科技的飞速发展，半导体工业在国民经济中的地位日益提升，然而，在半导体的生产过程中产生的各种化学反应会产生大量废气，这些废气若未经处理直接排出，则会对环境产生严重危害。

2、目前大多数半导体元器件制造车间使用的废气简化处理设备，会将废气导入燃烧室对废气中的有害物质（如全氟化合物）进行高温分解，而后再将高温分解后的废气通过洗涤塔进行洗涤处理后再排出至空气中。

3、但经燃烧室高温分解后的废气中还是会含有部分酸性气体（如hf、hcl等），若不在废弃进入洗涤塔之前对废气中的酸性气体进行中和，则会增加后续洗涤塔的负担，降低了废气净化处理的效率；并且经燃烧室高温分解后，废气中生成的盐类（如nh4f、caso4）容易在排气管管壁形成结垢，若不及时对其进行处理，则会造成排气管路的堵塞，影响后续的废气处理。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体制程废气净化处理设备，解决了上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体制程废气净化处理设备，包括燃烧室，所述燃烧室的表面固定连通有排气管，所述燃烧室的表面固定安装有存料箱，所述存料箱的表面固定连接有两个对称设置的安装块，所述存料箱通过两个所述安装块固定安装有驱动箱，所述驱动箱的内壁转动连接有转杆一，所述转杆一的表面固定连接有连接盘，所述连接盘的表面固定连接有摆动杆，所述摆动杆的端部固定安装有敲击球，所述存料箱的下表面固定连通有连通管一，所述存料箱的下表面固定连接有安装板一，所述存料箱通过所述安装板一固定安装有下料筒，所述连通管一的端部与所述下料筒相固定连通，所述下料筒的表面固定连通有连通管二，所述连通管二的表面固定连通有送料管，所述送料管的端部与所述排气管相固定连通；

3、所述驱动箱内设置有用于根据所述排气管内废气流速调节所述下料筒内下料速度的辅助部件；

4、所述驱动箱内还设置有用于在所述排气管内废气流速达到阈值时，驱动所述敲击球往复敲击所述排气管外壁的振动部件，以用于将所述排气管内壁附着的结垢振下。

5、可选的，所述辅助部件包括转动连接在所述驱动箱内壁的转轴，所述转轴伸入所述排气管的端部固定连接有叶轮，所述转轴伸入所述下料筒的端部固定连接有三个呈圆周阵列分布的推料板。

6、可选的，所述存料箱的内壁固定连接有导料板一和导料板二，所述存料箱的表面开设有出料口。

7、可选的，所述驱动箱的内壁转动连接有连接环，所述驱动箱通过所述连接环转动连接有空心盘，所述转轴的表面固定连接有圆盘，所述圆盘的表面对称开设有两段矩形槽口，所述矩形槽口的内壁设置有弹簧，所述弹簧的端部固定连接有抵接块一，所述空心盘的内壁固定连接有两个对称设置的抵接块二，所述驱动箱的表面开设有供所述摆动杆伸出且摆动的让位槽。

8、可选的，所述空心盘的表面固定连接有多个呈圆周阵列分布的三角齿，所述连接盘的表面固定连接有拨动块。

9、可选的，所述驱动箱的内壁固定安装有圆形壳体，所述转杆一伸入所述圆形壳体的端部设置有卷簧。

10、可选的，所述排气管远离所述燃烧室的端部固定连通有聚气罩，所述燃烧室的表面固定连接有两个对称设置的安装板二，所述燃烧室通过两个所述安装板二固定安装有过滤箱，所述过滤箱的内壁固定安装有过滤框，所述过滤框的内部固定安装有过滤网，所述过滤箱的表面固定连通有出气管。

11、可选的，所述过滤箱的内壁开设有两段对称设置的限位槽，两个所述限位槽的内壁均滑动连接有限位块，两个所述限位块之间共同转动连接有转杆二，所述转杆二的表面固定连接有清理筒。

12、可选的，所述过滤箱的表面设置有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿一个所述限位块且与其相螺纹连接，所述转杆二的表面固定连接有齿轮，所述过滤箱的内壁固定连接有与所述齿轮相啮合的齿条排。

13、可选的，所述过滤箱的表面开设有排污口，所述过滤箱的下表面固定连通有废物箱，所述废物箱的内壁滑动连接有抽屉，所述抽屉的表面固定连接有拉环。

14、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

15、一、本发明通过在排气管内设置叶轮，随着排气管内废气的流通，带动转轴转动，以带动三个推料板在下料筒内转动，并将存料箱内储存的干式吸附粉料通过送料管输入至排气管内，以使得干式吸附粉料与废气中的酸性气体产生化学反应，并将酸性气体变成无毒的caf2颗粒，能够在废气进入洗涤塔之前对气体中的酸性气体进行中和处理，降低了后续洗涤塔工作时的负载，提高了废气净化处理的效率，并且干式吸附粉料的输送量与排气管内的废气流量呈正相关，无需外接电源或传感器即可自动按需投放干式吸附粉料，提升了半导体制程废气净化处理设备整体的净化效率。

16、二、本发明随着制造车间半导体元器件生产速度的增加，产生的废气则会增多，因此燃烧室的功率会增大，以使得排气管内废气的流量增大，而当排气管内的废气流量到达阈值时，在多结构的联动配合下，即可驱动摆动杆端部的敲击球往复撞击排气管使其产生振动，当振动传导至排气管的内壁，即能够将排气管内壁的盐类结垢振下，被振下的结垢会顺着高流速的废气从排气管排出，避免了盐类结垢堵塞排气管，保证了排气管的排气效果，从而保证了废气净化处理设备的长时间使用。

17、三、本发明通过开启电机，带动螺纹杆转动，在多结构的联动配合下，带动清理筒在过滤网表面移动清理的同时进行自转，即能够对掉落至过滤网表面的盐类结垢以及大颗粒杂质进行有效清理，并将其推入排污口内，以能够达到便捷清理过滤网并集中回收废料的效果，保障了废气净化处理设备的长时间稳定运行，实现了高效、智能且低维护的废气净化处理效果，值得推广与使用。

1.一种半导体制程废气净化处理设备，包括燃烧室（1），其特征在于：所述燃烧室（1）的表面固定连通有排气管（2），所述燃烧室（1）的表面固定安装有存料箱（3），所述存料箱（3）的表面固定连接有两个对称设置的安装块（4），所述存料箱（3）通过两个所述安装块（4）固定安装有驱动箱（5），所述驱动箱（5）的内壁转动连接有转杆一（35），所述转杆一（35）的表面固定连接有连接盘（31），所述连接盘（31）的表面固定连接有摆动杆（34），所述摆动杆（34）的端部固定安装有敲击球（14），所述存料箱（3）的下表面固定连通有连通管一（24），所述存料箱（3）的下表面固定连接有安装板一（25），所述存料箱（3）通过所述安装板一（25）固定安装有下料筒（26），所述连通管一（24）的端部与所述下料筒（26）相固定连通，所述下料筒（26）的表面固定连通有连通管二（27），所述连通管二（27）的表面固定连通有送料管（6），所述送料管（6）的端部与所述排气管（2）相固定连通；

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述辅助部件包括转动连接在所述驱动箱（5）内壁的转轴（16），所述转轴（16）伸入所述排气管（2）的端部固定连接有叶轮（15），所述转轴（16）伸入所述下料筒（26）的端部固定连接有三个呈圆周阵列分布的推料板（28）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述存料箱（3）的内壁固定连接有导料板一（17）和导料板二（18），所述存料箱（3）的表面开设有出料口（23）。

4.根据权利要求2所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述驱动箱（5）的内壁转动连接有连接环（37），所述驱动箱（5）通过所述连接环（37）转动连接有空心盘（29），所述转轴（16）的表面固定连接有圆盘（30），所述圆盘（30）的表面对称开设有两段矩形槽口（41），所述矩形槽口（41）的内壁设置有弹簧（39），所述弹簧（39）的端部固定连接有抵接块一（40），所述空心盘（29）的内壁固定连接有两个对称设置的抵接块二（38），所述驱动箱（5）的表面开设有供所述摆动杆（34）伸出且摆动的让位槽（43）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述空心盘（29）的表面固定连接有多个呈圆周阵列分布的三角齿（36），所述连接盘（31）的表面固定连接有拨动块（33）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述驱动箱（5）的内壁固定安装有圆形壳体（32），所述转杆一（35）伸入所述圆形壳体（32）的端部设置有卷簧（42）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述排气管（2）远离所述燃烧室（1）的端部固定连通有聚气罩（7），所述燃烧室（1）的表面固定连接有两个对称设置的安装板二（10），所述燃烧室（1）通过两个所述安装板二（10）固定安装有过滤箱（8），所述过滤箱（8）的内壁固定安装有过滤框（20），所述过滤框（20）的内部固定安装有过滤网（22），所述过滤箱（8）的表面固定连通有出气管（9）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述过滤箱（8）的内壁开设有两段对称设置的限位槽（45），两个所述限位槽（45）的内壁均滑动连接有限位块（44），两个所述限位块（44）之间共同转动连接有转杆二（50），所述转杆二（50）的表面固定连接有清理筒（49）。

9.根据权利要求8所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述过滤箱（8）的表面设置有电机（51），所述电机（51）的输出轴固定连接有螺纹杆（46），所述螺纹杆（46）贯穿一个所述限位块（44）且与其相螺纹连接，所述转杆二（50）的表面固定连接有齿轮（48），所述过滤箱（8）的内壁固定连接有与所述齿轮（48）相啮合的齿条排（47）。

10.根据权利要求9所述的一种半导体制程废气净化处理设备，其特征在于：所述过滤箱（8）的表面开设有排污口（19），所述过滤箱（8）的下表面固定连通有废物箱（11），所述废物箱（11）的内壁滑动连接有抽屉（12），所述抽屉（12）的表面固定连接有拉环（13）。