一种在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置的制作方法

本技术涉及半导体器件清洗设备，尤其涉及一种在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置。

背景技术：

1、在现代工业生产中，尤其是半导体、电子电路、精密制造等领域，对工件表面清洁度和表面性能的要求达到了前所未有的高度。传统的清洗方式，如溶剂清洗、超声波清洗等，暴露出诸多弊端。溶剂清洗不仅会产生大量的化学废液，对环境造成严重污染，而且清洗后溶剂残留难以彻底清除，影响产品质量。超声波清洗虽然在一定程度上提高了清洗效率，但对于微小缝隙、复杂结构工件内部以及纳米级污染物的清洗效果不佳，无法满足高精度工艺的需求。

2、现有的批量式等离子清洗机，自动化程度低，生产效率受限。例如公开号为cn120127032a的中国实用新型公开了一种半导体器件清洗设备及其清洗工艺，包括机架，机架内安装有真空腔体，机架一侧安装有腔门，腔门可盖设于真空腔体敞口的一侧；安装在真空腔体上部的射频匹配器，射频匹配器与机架内的射频电源电性连接，射频匹配器用于向真空腔体内激发等离子；以及安装在真空腔体内的料架，料架用于放置待清洗工件，料架具有至少一层用于放置待清洗工件的空间。料架的阳极板和阴极板采用水平设计，相比于垂直阳极板的设计，其结构简单、重量较轻、可操作性强，向内滑动即可完成阳极板和阴极板的安装，向外滑动即可完成阳极板和阴极板的拆卸，因此能够轻松实现阳极板和阴极板的拆装。该半导体器件清洗设备能够较好的满足等离子清洗的需求。

3、但是该半导体器件清洗设备在清洗工件的过程中需要人工移动工件进出真空腔体，针对形状规格不同的工件进行大批量清洗时，存在效率低下的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的提供一种在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，以解决在针对形状规格不同的工件进行大批量清洗时，存在效率低下的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，包括用于固定的机架，在所述机架上固定铺设的第一支撑板；以及固定在所述机架上的滑轨，所述滑轨的延伸线与所述第一支撑板的延伸线垂直；以及与所述滑轨滑动连接的滑块；以及固定连接在所述滑块上的第二支撑板，所述第二支撑板长度方向的延伸线与第一支撑板长度方向的延伸线平行；以及，安装在所述第一支撑板和所述第二支撑板上的多个轴承，在多个轴承之间安装有用于工件传输的传输皮带，以及连接所述第一支撑板上的所述轴承与所述第二支撑板上的所述轴承进行转动的传动轴，以及驱动所述传动轴的电机；以及，一端与第一支撑板固定连接的滚珠丝杆，所述滚珠丝杆上的螺母与第二支撑板固定连接，以及设置有控制所述滚珠丝杆转动的转动手柄。

3、优选的，还包括至少两跟导向条,所述导向条分别固定连接在所述第一支撑板和所述第二支撑板上，两根所述导向条分别位于远离所述第一支撑板和所述第二支撑板之间中轴线方向，所述导向条位于所述传输皮带远离所述机架的一侧，所述导向条压触所述传输皮带。

4、优选的，所述导向条采用硬质合金材料制成。

5、优选的，在所述机架上还固定有第一气缸，所述第一气缸的上端固定连接有特氟龙缓冲套。

6、优选的，沿着所述传输皮带长度方向延伸线设置有多个传感器。

7、优选的，所述电机为闭环步进电机。

8、优选的，所述轨道传输装置还包括推手组件，用于将工件从传输皮带上移出。

9、优选的，所述推手组件包括直线模组，所述直线模组长度方向的延伸线与所述第一支撑板长度方向的延伸线平行；以及与所述直线模组滑动连接的支撑架，所述支撑架位于传输皮带远离所述机架的一侧；以及与所述支撑架固定连接推手气缸；以及平行铺设在所述直线模组附近的拖链。

10、本实用新型的有益效果是：通过机架和进行固定，将待清洗的工件放置在传输皮带上，启动电机，电机带动传动轴转动，传动轴带动轴承转动，轴承带动传输皮带转动，传输皮带即可将待清洗工件移动至待清洗工位。在遇到规格形状不同的工件时 ，可以手动转动转动手柄，手柄带动带动滚珠丝杆上的螺母发送位移，那么螺母就会带动第二支撑板运动，第二支撑板带动滑块在滑轨上滑动，从而实现对两传输皮带宽度的调整，以适应对不同形状，规则的工件进行运输的作用。以满足大批量工件进行射频等离子清洗的高效率要求。

1.一种一种在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，包括用于固定的机架，其特征在于：在所述机架上固定铺设的第一支撑板；

2.如权利要求1所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：还包括至少两跟导向条,所述导向条分别固定连接在所述第一支撑板和所述第二支撑板上，两根所述导向条分别位于远离所述第一支撑板和所述第二支撑板之间中轴线方向，所述导向条位于所述传输皮带远离所述机架的一侧，所述导向条压触所述传输皮带。

3.如权利要求2所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：所述导向条采用硬质合金材料制成。

4.如权利要求3所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：在所述机架上还固定有第一气缸，所述第一气缸的上端固定连接有特氟龙缓冲套。

5.如权利要求1至4任一所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：沿着所述传输皮带长度方向延伸线设置有多个传感器。

6.如权利要求5所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：所述电机为闭环步进电机。

7.如权利要求6所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：所述轨道传输装置还包括推手组件，用于将工件从传输皮带上移出。

8.如权利要求7所述的在线式射频等离子清洗机的轨道传输装置，其特征在于：所述推手组件包括直线模组，所述直线模组长度方向的延伸线与所述第一支撑板长度方向的延伸线平行；