一种显示基板气浮输送装置及显示基板检测设备的制作方法

本申请涉及显示屏光学检测设备，尤其涉及一种显示基板气浮输送装置及显示基板检测设备。

背景技术：

1、在显示屏检测设备的基板输送机构中，常采用气浮板配合输送轮单元的组合形式，气浮板输出正压气流将显示基板悬浮承托，输送轮单元提供水平驱动力实现基板进给输送。

2、现有的一类实施方式中，是在整块气浮板上加工避让孔，供输送轮单元从避让孔向上伸出以接触驱动基板，该方式需要在气浮板板面开设大量异形避让孔，不仅破坏气浮板表面微孔阵列布置，造成局部气膜扰动，还使得气浮板的结构设计、机加工难度增大；为克服该缺陷，在另一类实施方式中，采用输送轮单元自相邻两块气浮板的板间间隙穿行的技术方案，无需在气浮板本体开设避让孔，气浮板板面保持完整，加工得到简化。

3、然而，气浮板向上喷出的正压气流，一部分会经由板间间隙向设备基座侧向下泄放，一部分会从气浮板与显示基板之间悬浮空间的前后两端向外逸出；气流从悬浮空间的前后两端向外逸出属于正常工况，对基板悬浮状态影响较小，气体向下泄漏会造成间隙对应位置局部气压流失，间隙上方基板区域的气膜支撑力不足，引发显示基板局部起伏、抖动，造成成像对焦偏移，进而降低显示屏缺陷的检测准确性。

技术实现思路

1、本申请公开一种显示基板气浮输送装置及显示基板检测设备，以解决或者至少部分解决相关技术中存在的上述技术问题。

2、为了解决上述问题，本申请采用下述技术方案：

3、第一方面，本申请的实施例提供一种显示基板气浮输送装置，显示基板气浮输送装置包括气浮板、输送轮单元、升降机构、驱动机构和气流阻尼结构；其中：

4、多个所述气浮板并排布设，相邻两块所述气浮板之间形成板间间隙，所述输送轮单元对应所述板间间隙布置；

5、所述升降机构与所述输送轮单元相连，所述升降机构用于驱动输送轮单元升降，使所述输送轮单元升起时能够从所述板间间隙伸出以接触显示基板，所述输送轮单元下降时能够完全收纳于所述板间间隙的下方；

6、所述驱动机构与所述输送轮单元传动连接，所述驱动机构用于驱动输送轮单元转动，使所述输送轮单元可依靠摩擦力带动所述显示基板进给移动；

7、所述气流阻尼结构设于所述板间间隙，所述气流阻尼结构用于限制位于所述气浮板上方的气流经由所述板间间隙向下泄放。

8、进一步地，在两个相邻所述气浮板中，至少一个所述气浮板的朝向所述板间间隙的侧壁设置有喷气孔，多个所述喷气孔沿所述板间间隙的长度方向均匀排布，所述喷气孔连通供气源并朝向所述板间间隙喷气以形成所述气流阻尼结构。

9、进一步地，所述喷气孔的喷气方向水平布置，或者，所述喷气孔的喷气方向倾斜向下。

10、进一步地，所述气浮板内部设置有内腔，所述气浮板的上表面开设有用于悬浮承托显示基板的正压孔，所述喷气孔和所述正压孔均与所述内腔相连通，所述内腔连通供气源。

11、进一步地，所述气流阻尼结构包括成对设置的弹性膜片，所述弹性膜片与所述气浮板相连，且所述弹性膜片位于所述板间间隙内，成对设置的所述弹性膜片在自身弹性力作用下相互靠近以对所述板间间隙形成封堵；所述输送轮单元升降移动时可顶开所述弹性膜片实现通行，且在所述输送轮单元脱离所述板间间隙后，所述弹性膜片可依靠自身弹性复位而重新封堵所述板间间隙。

12、进一步地，成对的所述弹性膜片的根部固接于所述气浮板侧壁且靠所述近板间间隙的下部位置，所述弹性膜片的自由端向上倾斜延伸，两个所述弹性膜片的自由端相互搭接。

13、进一步地，所述气流阻尼结构还包括隔断件，所述隔断件与所述气浮板的侧壁可拆卸连接，多个所述隔断件间隔分布于所述板间间隙内，两个相邻所述隔断件之间形成供所述输送轮单元穿行的空隙区域。

14、进一步地，所述隔断件通过榫卯结构装配于两个相邻所述气浮板之间。

15、进一步地，所述隔断件的上表面与所述气浮板的上表面平齐。

16、第二方面，本申请的实施例提供一种显示基板检测设备，显示基板检测设备包括前述的显示基板气浮输送装置。

17、本申请的实施例采用的技术方案能够达到以下有益效果：

18、本申请实施例的显示基板气浮输送装置及显示基板检测设备，通过在板间间隙处设置气流阻尼结构，能够有效抑制气浮板上方正压气流经由板间间隙向下大量泄放，避免板间间隙对应的上方区域出现正压气流支撑不足的问题，从而杜绝显示基板发生局部起伏、晃动偏移的情况，稳定显示基板整体悬浮姿态与输送平整度，有效提升显示基板光学检测的精度与一致性。

1.一种显示基板气浮输送装置，其特征在于，包括气浮板（100）、输送轮单元（200）、升降机构（300）、驱动机构（400）和气流阻尼结构；其中：

2.根据权利要求1所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，在两个相邻所述气浮板（100）中，至少一个所述气浮板（100）的朝向所述板间间隙（500）的侧壁设置有喷气孔（110），多个所述喷气孔（110）沿所述板间间隙（500）的长度方向均匀排布，所述喷气孔（110）连通供气源并朝向所述板间间隙（500）喷气以形成所述气流阻尼结构。

3.根据权利要求2所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，所述喷气孔（110）的喷气方向水平布置，或者，所述喷气孔（110）的喷气方向倾斜向下。

4.根据权利要求2所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，所述气浮板（100）内部设置有内腔，所述气浮板（100）的上表面开设有用于悬浮承托显示基板的正压孔（120），所述喷气孔（110）和所述正压孔（120）均与所述内腔相连通，所述内腔连通供气源。

5.根据权利要求1所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，所述气流阻尼结构包括成对设置的弹性膜片（610），所述弹性膜片（610）与所述气浮板（100）相连，且所述弹性膜片（610）位于所述板间间隙（500）内，成对设置的所述弹性膜片（610）在自身弹性力作用下相互靠近以对所述板间间隙（500）形成封堵；

6.根据权利要求5所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，成对的所述弹性膜片（610）的根部固接于所述气浮板（100）侧壁且靠所述近板间间隙（500）的下部位置，所述弹性膜片（610）的自由端向上倾斜延伸，两个所述弹性膜片（610）的自由端相互搭接。

7.根据权利要求1所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，所述气流阻尼结构还包括隔断件（620），所述隔断件（620）与所述气浮板（100）的侧壁可拆卸连接，多个所述隔断件（620）间隔分布于所述板间间隙（500）内，两个相邻所述隔断件（620）之间形成供所述输送轮单元（200）穿行的空隙区域。

8.根据权利要求7所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，所述隔断件（620）通过榫卯结构装配于两个相邻所述气浮板（100）之间。

9.根据权利要求8所述的显示基板气浮输送装置，其特征在于，所述隔断件（620）的上表面与所述气浮板（100）的上表面平齐。

10.一种显示基板检测设备，其特征在于，包括权利要求1~9任一所述的显示基板气浮输送装置。