一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐的制作方法

本技术涉及有机铪溶液存储领域，尤其涉及一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐。

背景技术：

1、在半导体制造、先进材料合成等高新技术领域，有机铪溶液凭借其独特的化学性质与优异的工艺适配性，成为制备高性能薄膜、半导体器件关键结构层等核心环节不可或缺的关键原料。

2、然而，有机铪溶液自身具有较强的挥发性，这一特性给其存储环节带来了一系列亟待解决的技术难题。一方面，在存储过程中，有机铪溶液的持续挥发会直接导致罐内溶液的有效成分含量降低、浓度发生不可控变化，使得溶液偏离预设的工艺参数。当这种浓度失准的溶液投入后续生产时，不仅会增加工艺调试的难度，降低生产效率，更可能引发产品性能不达标、批次间质量差异过大等问题，严重时甚至导致整批次产品报废，造成巨大的经济损失。另一方面，挥发性成分的持续流失会造成原料的无端浪费，尤其有机铪溶液作为高附加值的特种化工原料，其浪费会显著增加企业的生产成本，削弱企业在市场中的竞争优势。

3、因此，亟需研发一种密封性能优异、能够有效阻止有机铪溶液挥发、兼顾安全性的具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐。

技术实现思路

1、为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型提供一种密封性能优异、能够有效阻止有机铪溶液挥发、兼顾安全性的具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐。

2、一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，包括有罐体和安装在罐体顶部进口的密封结构，密封结构包括有盖板、密封气囊、气泵、气管和固定结构，盖板通过固定结构固定在罐体顶部进入口并将其堵住，盖板沿其周向设置有一圈密封气囊，盖板中部嵌入式设置有气泵，气泵的出气口与密封气囊之间通过气管连接。

3、作为上述方案的改进，罐体顶部设置有进料口，盖板盖在进料口上方，罐体底部中心设置有用于排料的出料口，罐体侧面设置有爬梯。

4、作为上述方案的改进，固定结构包括对称设置于盖板底部的固定块以及开设于进料口上的弧形槽，在盖板塞入进料口时固定块穿过弧形槽。

5、作为上述方案的改进，还包括有密封圈，进料口顶部同心开设有密封槽，密封槽内放置有密封圈，盖板盖在进料口上时，将密封圈挤压。

6、作为上述方案的改进，还包括有弹簧和弹板，进料口上套设有弹簧，弹簧底端与罐体连接，弹簧顶端连接有弹板，弹板被进料口贯穿，在盖板固定在进料口上时，固定块压在弹板上方，使弹簧发生形变。

7、作为上述方案的改进，还包括有排气系统、把手和传感器，盖板上设置有排气系统，盖板上对称转动式设有把手，把手旋转路径的盖板上设置有传感器，传感器与排气系统电性连接。

8、作为上述方案的改进，排气系统包括有带有电控阀的泄压管路和安装在泄压管路内的阻拦片。

9、本实用新型具有以下优点：本实用新型通过控制气泵通过气管向密封气囊内充气，使得密封气囊膨胀将盖板与进料口的间隙堵住，以防止罐体内的溶液挥发出去；盖板盖在进料口上时，将密封圈挤压，使得盖板与进料口之间形成二次密封，进一步减少挥发；在拆卸盖板时，向上转动把手，把手经过传感器时，传感器监测到拆卸盖板的信号，控制泄压管路打开，对罐体进行泄压，以防止因为罐体内压力过大导致安全事故发生。

1.一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，包括有罐体（1）和安装在罐体（1）顶部进口的密封结构（2），其特征在于：密封结构（2）包括有盖板（21）、密封气囊（22）、气泵（23）、气管（24）和固定结构，盖板（21）通过固定结构固定在罐体（1）顶部进入口并将其堵住，盖板（21）沿其周向设置有一圈密封气囊（22），盖板（21）中部嵌入式设置有气泵（23），气泵（23）的出气口与密封气囊（22）之间通过气管（24）连接。

2.根据权利要求1所述的一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，其特征在于：罐体（1）顶部设置有进料口（1a），盖板（21）盖在进料口（1a）上方，罐体（1）底部中心设置有用于排料的出料口（1d），罐体（1）侧面设置有爬梯（1e）。

3.根据权利要求2所述的一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，其特征在于：固定结构包括对称设置于盖板（21）底部的固定块（25）以及开设于进料口（1a）上的弧形槽（1b），在盖板（21）塞入进料口（1a）时固定块（25）穿过弧形槽（1b）。

4.根据权利要求3所述的一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，其特征在于：还包括有密封圈（26），进料口（1a）顶部同心开设有密封槽（1c），密封槽（1c）内放置有密封圈（26），盖板（21）盖在进料口（1a）上时，将密封圈（26）挤压。

5.根据权利要求4所述的一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，其特征在于：还包括有弹簧（27）和弹板（28），进料口（1a）上套设有弹簧（27），弹簧（27）底端与罐体（1）连接，弹簧（27）顶端连接有弹板（28），弹板（28）被进料口（1a）贯穿，在盖板（21）固定在进料口（1a）上时，固定块（25）压在弹板（28）上方，使弹簧（27）发生形变。

6.根据权利要求5所述的一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，其特征在于：还包括有排气系统（29）、把手（31）和传感器（32），盖板（21）上设置有排气系统（29），盖板（21）上对称转动式设有把手（31），把手（31）旋转路径的盖板（21）上设置有传感器（32），传感器（32）与排气系统（29）电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种具备防挥发功能的有机铪溶液存储罐，其特征在于：排气系统（29）包括有带有电控阀的泄压管路（291）和安装在泄压管路（291）内的阻拦片（292）。