一种防掉落机构的制作方法

本技术涉及半导体搬运设备，尤其是指一种防掉落机构。

背景技术：

1、半导体制造过程中通常通过天车搬运系统来传输晶圆盒，采用晶圆盒运载晶圆的方式能高效完成晶圆的传输、加工和处理。现有的天车取放晶圆盒的过程中，首先天车沿轨道行进到一个工位上，通过天车的抓取机构抓取住该工位上的晶圆盒(抓取位置为晶圆盒顶端的凸台处)，然后抓取机构向上提升以将晶圆盒自该工位处取出；接着天车沿着轨道将晶圆盒搬运至下一个工位的上方，抓取机构下降并将晶圆盒释放至下一个工位上，至此天车完成对晶圆盒的搬运动作。

2、然而，由于抓取机构仅抓取住晶圆盒的顶端，晶圆盒的其他部位处于悬空状态，因此，在提升、搬运、下降的过程中，晶圆盒极易出现晃动甚至摇摆的现象，晶圆盒存在掉落的风险，影响晶圆搬运效率。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术的不足，提供一种防掉落机构，实现稳定支撑晶圆盒，并限制晶圆盒的移动，避免晶圆盒掉落，提升晶圆搬运效率。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

3、本实用新型提供一种防掉落机构，包括至少两个对称布置的安装架和连接于安装架的夹持组件；所述夹持组件包括转动连接于安装架的夹持构件，所述夹持构件连接有限位件，所述夹持构件具有夹持状态和折叠状态；

4、所述夹持构件处于夹持状态时，所述夹持构件支撑晶圆盒底部并防止晶圆盒掉落，所述限位件对晶圆盒的侧面进行限位；

5、所述安装架设置有容置腔，所述夹持构件处于折叠状态时，所述夹持构件和限位件位于容置腔内。

6、其中，所述夹持构件连接有检测片，所述安装架安装有第一检测开关和第二检测开关；

7、夹持构件处于夹持状态时，检测片与第一检测开关对应；

8、夹持构件处于折叠状态时，检测片与第二检测开关对应。

9、其中，所述夹持构件包括联动部件、带动件和防掉件，所述联动部件与安装架连接，所述防掉件与带动件连接，所述限位件安装于带动件，所述联动部件与带动件的一端铰接，所述联动部件安装有滑动体，所述滑动体滑动连接于带动件，施力带动所述联动部件转动时使得带动件摆动，以使得防掉件同步移动；

10、当联动部件转动至夹持状态时，限位件的一端抵紧晶圆盒的一侧，防掉件位于晶圆盒的外侧并用于防止晶圆盒掉落，所述限位件和防掉件作用于晶圆盒的不同侧；

11、当联动部件转动至折叠状态时，防掉件、限位件、带动件和联动部件位于容置腔内。

12、其中，所述联动部件包括第一连杆、第二连杆和相互平行的第一支杆和第二支杆，所述第一连杆和第二连杆相互平行且均铰接于安装架，所述第一连杆的两端分别与第一支杆和第二支杆的一端铰接，所述第二连杆的两端分别与第一支杆和第二支杆的另一端铰接，所述带动件的一端与第一连杆铰接，所述滑动体安装于第二连杆；

13、所述第一连杆和第二连杆与安装架的铰接点的连线与第一支杆和第二支杆平行，所述第一支杆设置有第一支撑部和第二支撑部；

14、夹持构件处于夹持状态时第一支撑部和第二支撑部支撑晶圆盒的底部。

15、其中，所述第一支撑部设置于第一连杆与第一支杆的连接处的顶端，所述第二支撑部设置于第二连杆与第一支杆的连接处的顶端。

16、其中，所述第一连杆包括第一前段和与第一前段连接的第一后段，所述第二连杆包括第二前段和与第二前段连接的第二后段，所述第一前段与第一后段连接处的角度为钝角，所述带动件的一端与第一后段铰接，所述滑动体安装于第二前段。

17、其中，所述第一连杆的转动中心位于第一前段和第一后段的连接处，所述第二连杆的转动中心位于第二前段和第二后段的连接处，所述第一连杆的转动中心连接有第一转轴，所述第二连杆的转动中心连接有第二转轴，所述第一转轴和第二转轴均转动连接于安装架。

18、其中，所述防掉件包括防掉底板和与防掉底板垂直连接的防掉侧板，所述防掉底板安装于带动件；

19、当联动部件转动至夹持状态时，防掉侧板位于晶圆盒的外侧且防掉侧板与晶圆盒之间具有活动间隙。

20、其中，所述限位件包括限位座和滑动连接于限位座的限位体，所述联动部件转动至夹持状态时，施力使限位体压紧晶圆盒的一侧。

21、其中，所述带动件设置有滑槽，所述滑动体滑动连接于滑槽，所述限位件位于第一连杆和第二连杆之间，所述滑动体和限位体位于第二连杆的两对立侧。

22、本实用新型的有益效果：

23、实际应用时，施力带动夹持构件转动，当所述夹持构件处于夹持状态，所述夹持构件支撑晶圆盒底部并防止晶圆盒掉落，所述限位件对晶圆盒的侧面进行限位，实现稳定支撑晶圆盒，并限制晶圆盒的移动，避免晶圆盒掉落，提升晶圆搬运效率；所述安装架设置有容置腔，所述夹持构件处于折叠状态时，所述夹持构件和限位件位于容置腔内，结构布置紧凑，便于隐藏防掉落机构，节省空间占用。

1.一种防掉落机构，其特征在于，包括至少两个对称布置的安装架(1)和连接于安装架(1)的夹持组件；所述夹持组件包括转动连接于安装架(1)的夹持构件(2)，所述夹持构件(2)连接有限位件(3)，所述夹持构件(2)具有夹持状态和折叠状态；

2.根据权利要求1所述的防掉落机构，其特征在于，所述夹持构件(2)连接有检测片(41)，所述安装架(1)安装有第一检测开关(42)和第二检测开关(43)；

3.根据权利要求1所述的防掉落机构，其特征在于，所述夹持构件(2)包括联动部件(21)、带动件(22)和防掉件(23)，所述联动部件(21)与安装架(1)连接，所述防掉件(23)与带动件(22)连接，所述限位件(3)安装于带动件(22)，所述联动部件(21)与带动件(22)的一端铰接，所述联动部件(21)安装有滑动体(5)，所述滑动体(5)滑动连接于带动件(22)，施力带动所述联动部件(21)转动时使得带动件(22)摆动，以使得防掉件(23)同步移动；

4.根据权利要求3所述的防掉落机构，其特征在于，所述联动部件(21)包括第一连杆(211)、第二连杆(212)和相互平行的第一支杆(213)和第二支杆(214)，所述第一连杆(211)和第二连杆(212)相互平行且均铰接于安装架(1)，所述第一连杆(211)的两端分别与第一支杆(213)和第二支杆(214)的一端铰接，所述第二连杆(212)的两端分别与第一支杆(213)和第二支杆(214)的另一端铰接，所述带动件(22)的一端与第一连杆(211)铰接，所述滑动体(5)安装于第二连杆(212)；

5.根据权利要求4所述的防掉落机构，其特征在于，所述第一支撑部(2131)设置于第一连杆(211)与第一支杆(213)的连接处的顶端，所述第二支撑部(2132)设置于第二连杆(212)与第一支杆(213)的连接处的顶端。

6.根据权利要求4所述的防掉落机构，其特征在于，所述第一连杆(211)包括第一前段(2111)和与第一前段(2111)连接的第一后段(2112)，所述第二连杆(212)包括第二前段(2121)和与第二前段(2121)连接的第二后段(2122)，所述第一前段(2111)与第一后段(2112)连接处的角度为钝角，所述带动件(22)的一端与第一后段(2112)铰接，所述滑动体(5)安装于第二前段(2121)。

7.根据权利要求6所述的防掉落机构，其特征在于，所述第一连杆(211)的转动中心位于第一前段(2111)和第一后段(2112)的连接处，所述第二连杆(212)的转动中心位于第二前段(2121)和第二后段(2122)的连接处，所述第一连杆(211)的转动中心连接有第一转轴(201)，所述第二连杆(212)的转动中心连接有第二转轴(202)，所述第一转轴(201)和第二转轴(202)均转动连接于安装架(1)。

8.根据权利要求3所述的防掉落机构，其特征在于，所述防掉件(23)包括防掉底板(231)和与防掉底板(231)垂直连接的防掉侧板(232)，所述防掉底板(231)安装于带动件(22)；

9.根据权利要求3所述的防掉落机构，其特征在于，所述限位件(3)包括限位座(31)和滑动连接于限位座(31)的限位体(32)，所述联动部件(21)转动至夹持状态时，施力使限位体(32)压紧晶圆盒的一侧。

10.根据权利要求4所述的防掉落机构，其特征在于，所述带动件(22)设置有滑槽(221)，所述滑动体(5)滑动连接于滑槽(221)，所述限位件(3)位于第一连杆(211)和第二连杆(212)之间，所述滑动体(5)和限位体(32)位于第二连杆(212)的两对立侧。