衍射光波导的制作方法、衍射光波导及近眼显示装置与流程

本申请涉及近眼显示领域，特别涉及一种衍射光波导的制作方法、衍射光波导及近眼显示装置。

背景技术：

1、增强现实（augmented reality，ar）近眼显示装置通常包括光机和衍射光波导，衍射光波导包括若干层光波导层以及至少一层保护层，光波导层的一侧表面设置有光栅。以衍射光波导包括一层光波导层和一层保护层为例，现有技术中，光波导层与保护层组装后，在未受到外力的状态下，光波导层与保护层之间具有间隙层。当该间隙层的气压小于外界气压或衍射光波导受到外力作用时，光波导层与保护层可能产生相对形变，导致影响显示效果的稳定性。

技术实现思路

1、本申请提供一种衍射光波导的制作方法、衍射光波导及近眼显示装置，能够降低衍射光波导中层结构间的相对形变，以便于提升显示效果的稳定性。

2、第一方面，本申请实施例提供一种衍射光波导的制作方法，其包括：在覆盖层的第一表面形成液态粘接层；对所述液态粘接层预固化，使得所述液态粘接层转变为预固化层；图案化所述预固化层，在所述预固化层背离所述覆盖层的表面形成凹槽；将具有光栅的第一光波导层通过所述预固化层与所述覆盖层贴合，其中所述第一光波导层设有所述光栅的第二表面与所述第一表面相向设置，所述光栅与所述凹槽位置对应；固化所述预固化层，使得所述预固化层转变为固态粘接层并将所述第一光波导层与所述覆盖层粘接。

3、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述在覆盖层的第一表面形成液态粘接层包括：通过静电吸附涂布方式、电磁吸附涂布方式或离心力涂布方式在所述覆盖层的第一表面形成厚度均匀的液态粘接层。

4、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述对所述液态粘接层预固化，使得所述液态粘接层转变为预固化层包括：对所述液态粘接层进行提升粘度处理，得到能够在受到预设范围外力下保持形态不变的预固化层。

5、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述图案化所述预固化层，在所述预固化层背离所述覆盖层的表面形成凹槽包括：在所述预固化层背离所述覆盖层的一侧设置图案化掩模，所述图案化掩模具有掩模开口；利用所述图案化掩模对所述预固化层进行刻蚀，在所述预固化层的与所述掩模开口对应区域形成凹槽；剥离所述图案化掩模。

6、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，对所述预固化层进行刻蚀的刻蚀深度为200nm以下，使得所述凹槽的深度为200nm以下。

7、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，在所述将具有光栅的第一光波导层通过所述预固化层与所述覆盖层贴合的步骤中，控制贴合压力和贴合时长，使得预固化层的厚度变化在200nm以内。

8、根据本申请第一方面的前述任一实施方式，所述覆盖层为保护层；或所述覆盖层为第二光波导层。

9、第二方面，本申请实施例提供一种衍射光波导，其通过根据本申请第一方面的前述任一实施方式的衍射光波导的制作方法得到。

10、第三方面，本申请实施例提供一种衍射光波导，其包括：覆盖层，具有第一表面；第一光波导层，具有第二表面，所述第一光波导层在所述第二表面具有光栅；粘接层，所述第一光波导层通过所述粘接层与所述覆盖层贴合并粘接，所述第二表面与所述第一表面相向设置，所述粘接层设置于所述第一光波导层与所述覆盖层之间或设置于所述第一光波导层与所述覆盖层相接区域的外周表面，所述粘接层用于在真空环境下粘合所述第一光波导层与所述覆盖层并消除所述第一光波导层与所述覆盖层贴合面中的空气。

11、第四方面，本申请实施例提供一种衍射光波导，其包括：覆盖层，具有第一表面；第一光波导层，具有第二表面，所述第一光波导层在所述第二表面具有光栅；粘接层，所述第一光波导层通过所述粘接层与所述覆盖层贴合并粘接，所述第二表面与所述第一表面相向设置，所述粘接层设置于所述第一光波导层与所述覆盖层之间，所述粘接层背离所述覆盖层的表面具有凹槽，所述光栅与所述凹槽位置对应，使得所述光栅与所述粘接层表面之间具有间隙。

12、根据本申请第四方面的前述实施方式，所述凹槽的深度为0至200nm。

13、根据本申请第四方面的前述任一实施方式，所述覆盖层为第二光波导层。

14、根据本申请第四方面的前述任一实施方式，所述覆盖层上设有第一对位标记，所述第一光波导层上设有与所述第一对位标记对应的第二对位标记。

15、第五方面，本申请实施例提供一种衍射光波导，其包括：覆盖层，具有第一表面；第一光波导层，具有第二表面，所述第一光波导层在所述第二表面具有光栅；粘接层，所述第一光波导层通过所述粘接层与所述覆盖层贴合并粘接，所述第二表面与所述第一表面相向设置，所述粘接层设置于所述第一光波导层与所述覆盖层相接区域的外周边缘，所述粘接层用于在真空环境下粘合所述第一光波导层与所述覆盖层并消除所述第一光波导层与所述覆盖层贴合面中的空气。

16、根据本申请第五方面的前述实施方式，所述粘接层设置于所述第一光波导层与所述覆盖层相接区域的外周边缘及外周侧区域。

17、第六方面，本申请实施例提供一种近眼显示装置，其包括：光机，用于发射信号光；以及根据本申请前述任一实施方式的衍射光波导，用于传输所述信号光。

18、根据本申请实施例的衍射光波导的制作方法，能够提供一种特定结构的衍射光波导，其中，固态粘接层将第一光波导层与覆盖层全贴合粘接，在衍射光波导受到外力作用下，第一光波导层与覆盖层之间的相对形变更小，从而提升了衍射光波导传输信号光后显示效果的稳定性和可靠性。

1.一种衍射光波导，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的衍射光波导，其特征在于，所述凹槽的深度为0至200nm。

3.如权利要求1所述的衍射光波导，其特征在于，所述覆盖层为第二光波导层。

4.如权利要求1所述的衍射光波导，其特征在于，所述覆盖层上设有第一对位标记，所述第一光波导层上设有与所述第一对位标记对应的第二对位标记。

5.一种衍射光波导，其特征在于，包括：

6.如权利要求5所述的衍射光波导，其特征在于，所述粘接层设置于所述第一光波导层与所述覆盖层相接区域的外周边缘及外周侧区域。

7.一种近眼显示装置，其特征在于，包括：