一种适用于薄片类产品的CVD涂层工装的制作方法

本技术属于化学气相沉积（cvd）设备，具体涉及一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，尤其适用于厚度0.1-15mm的平面薄片产品在高温cvd环境中的涂层加工。

背景技术：

1、在cvd涂层工艺中，薄片类产品的夹持工装对涂层均匀性、产品良率及生产效率具有决定性影响。现有技术中，薄片产品通常采用螺栓固定或单点球面支撑的方式安装于炉内，存在以下技术缺陷：

2、首先，传统工装的夹持方式存在严重的涂层遮蔽问题及均匀性偏差，传统工装多采用“面接触”或“多螺栓硬连接”的夹持方式，工装与薄片的接触面积过大（典型接触区域超过20mm²），直接导致接触部位无法进行cvd沉积，形成“工艺盲区”。对于尺寸小于100mm的薄片，有效镀膜面积损失率常高达15%～20%；同时，工装结构对反应气体的遮挡效应显著，易在薄片表面形成气流涡流区，使得涂层厚度偏差超过±10%，严重影响产品性能一致性。

3、其次，传统工装的装拆效率与定位精度难以兼顾，螺栓固定式工装需通过逐一拧紧或松开螺纹紧固件实现薄片的固定与拆卸，单片产品的装拆时间常超过30秒；且多次拆装后，螺纹副易磨损，导致工装定位精度下降，进一步加剧涂层位置与厚度的离散性。

4、第三，现有工装的产品兼容性与应用灵活性差，多数工装为“定制化”设计，仅能适配单一规格的薄片产品，当需加工不同尺寸、形状的薄片时，需更换整套工装，改造成本高、周期长，难以满足多品种小批量的生产需求。

5、综上，现有cvd涂层工装在“涂层均匀性保障、装拆效率提升、多规格适配”等方面的不足，已成为制约薄片类产品cvd工艺升级的瓶颈，亟需一种创新型工装方案来突破上述技术局限。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，以解决现有的薄片类产品cvd工装存在涂层遮蔽严重、均匀性差、拆装效率低、定位精度易衰减以及兼容性不足等缺陷。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，包括散气盘，所述散气盘上设有若干散气孔，所述散气盘上设有支撑组件，所述支撑组件包括至少两组支撑柱，支撑柱的下端设有卡柱，所述卡柱插接在散气盘上的散气孔内，所述支撑柱上设有若干插接孔，所述插接孔包括第一插接孔和第二插接孔，第一插接孔和第二插接孔在支撑柱上垂直布置，且第一插接孔和第二插接孔在支撑柱的轴向间隔交错布置；

4、还包括横杆组件，所述横杆组件包括横杆主体，所述横杆主体两端固定连接有插接柱，插接柱可拆卸地插接在所述插接孔内；所述横杆主体两侧均设有若干支臂，每个支臂的端部至少设有一个顶杆，顶杆的端部为尖端，用于支撑薄片产品的背面。

5、进一步地，所述顶杆与支臂螺纹连接。

6、进一步地，所述散气孔上端和下端均设有倒角。

7、进一步地，所述插接孔和插接柱均设有圆角。

8、进一步地，所述卡柱外部设有外螺纹，其下端贯穿散气孔并螺纹连接有连接块。

9、进一步地，所述横杆主体上设有若干套筒，所述支臂插接在所述套筒上，所述套筒一侧设有紧固螺栓，用于锁紧支臂。

10、进一步地，所述横杆主体的两侧均设有导槽，所述套筒一端设有滑块，滑块滑动地安装在导槽内；所述套筒两侧设有卡板，卡板上螺纹连接有锁紧螺栓，用于套筒与横杆主体的锁紧。

11、进一步地，还包括防滑组件，所述防滑组件与横杆组件结构相同，所述防滑组件设置于横杆组件的下部，防滑组件的顶杆抵住薄片产品的正面。

12、本实用新型的有益效果是：

13、（1）本实用新型采用插接式装配工艺，提高了工装拆装的效率和灵活性，且采用端部为尖端的顶杆支撑薄片产品，不仅减小了单点位的接触面积，有效减少了“工艺盲区”，而且避免了螺纹副反复拆装磨损导致的定位偏差。

14、（2）顶杆与支臂采用螺纹连接，便于根据薄片产品在散气盘上放置的角度调整顶杆伸出支臂的长度，使顶杆稳定地支撑薄片产品。

15、（3）在卡柱下端螺纹连接了连接块，利用连接块将支撑柱与散气盘固定，保证了支撑组件的稳定性。

16、（4）通过设置套筒，使得支臂的长度可调，保证了不同尺寸的薄片产品支撑的稳定性，进一步提高了工装的灵活性。

17、（5）套筒连同支臂可在横杆主体上滑动调节，无需更换整套工装，仅需调整套筒的间距即可适应不同尺寸的薄片产品化学气相沉积使用。

18、（6）通过在横杆组件下部设置防滑组件，利用防滑组件的顶杆抵住薄片产品的正面，避免了薄片产品在散气盘上滑动，提高了薄片产品化学气相沉积时的稳定性。

1.一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，包括散气盘(1)，所述散气盘(1)上设有若干散气孔(11)，所述散气盘(1)上设有支撑组件(2)，所述支撑组件(2)包括至少两组支撑柱(21)，支撑柱(21)的下端设有卡柱(24)，所述卡柱(24)插接在散气盘(1)上的散气孔(11)内，其特征在于，所述支撑柱(21)上设有若干插接孔(22)，所述插接孔(22)包括第一插接孔和第二插接孔，第一插接孔和第二插接孔在支撑柱(21)上垂直布置，且第一插接孔和第二插接孔在支撑柱(21)的轴向间隔交错布置；

2.根据权利要求1所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，所述顶杆(34)与支臂(33)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，所述散气孔(11)上端和下端均设有倒角(12)。

4.根据权利要求1所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，所述插接孔(22)和插接柱(32)均设有圆角(23)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，所述卡柱(24)外部设有外螺纹，其下端贯穿散气孔(11)并螺纹连接有连接块(25)。

6.根据权利要求1所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，所述横杆主体(31)上设有若干套筒(35)，所述支臂(33)插接在所述套筒(35)上，所述套筒(35)一侧设有紧固螺栓，用于锁紧支臂(33)。

7.根据权利要求6所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，所述横杆主体(31)的两侧均设有导槽(36)，所述套筒(35)一端设有滑块(37)，滑块(37)滑动地安装在导槽(36)内；所述套筒(35)两侧设有卡板(38)，卡板(38)上螺纹连接有锁紧螺栓(39)，用于套筒(35)与横杆主体(31)的锁紧。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种适用于薄片类产品的cvd涂层工装，其特征在于，还包括防滑组件(4)，所述防滑组件(4)与横杆组件(3)结构相同，所述防滑组件(4)设置于横杆组件(3)的下部，防滑组件(4)的顶杆(34)抵住薄片产品(5)的正面。