真空蒸镀装置的制作方法

本发明涉及用于在真空室内使蒸镀材料蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的真空蒸镀装置。

背景技术：

1、这种真空蒸镀装置例如用于在作为被蒸镀物的基板或片状基材的表面形成铝膜或铜膜等薄膜。作为真空蒸镀装置用的蒸镀源，通常已知的是使用蒸镀舟皿的蒸镀源（例如，参见专利文献1）。将水平正交的两个方向作为x轴方向及y轴方向，蒸镀舟皿具有长边在x轴方向上的舟皿主体，在舟皿主体的上表面凹陷设置有空腔。而且，经由分别向空腔的x轴方向前后伸出的电极安装部，由设置在真空室内的电极单元保持。在真空室内还设置有材料供给单元，用于对蒸镀舟皿的空腔从其上方供给线状蒸镀材料。作为蒸镀材料，使用纯度与要形成的薄膜的品质相对应的铝或铜等金属成形为φ1mm～φ5mm的外径的材料。

2、通常作为材料供给单元使用的单元具有：预先卷绕有线状蒸镀材料的卷芯（绕线管）和将卷绕在该卷芯上的蒸镀材料送出的送出机构。在真空气氛的真空室内对被蒸镀物进行蒸镀时，会通过在两电极安装部之间通电，用焦耳热加热蒸镀舟皿。在该状态下，通过送出机构将线状蒸镀材料从卷芯送出，对空腔从其上方供给该送出的蒸镀材料。如此，蒸镀材料在空腔内熔解而润湿扩展，该润湿扩展了的材料蒸发而蒸镀到被蒸镀物上。

3、此处，在被蒸镀物为比较宽的片状基材的情况下，考虑在真空室内沿y轴方向并列设置多个蒸镀舟皿，在片状的基材的一个表面上成膜。此时的蒸镀舟皿的数量通过将基材表面上的成膜速率或基材宽度方向上的膜厚分布纳入考量来决定，对于提高成膜速率的同时提高膜厚分布的均匀性来说，在y轴方向上彼此相邻的蒸镀舟皿相互间的间隙尽可能小是有利的。材料供给单元也只设置各蒸镀舟皿的数量，但为了长时间在片状的基材上成膜，要求能够在各材料供给单元的各卷芯上预先卷绕大量的蒸镀材料（例如10kg），而且，在向各蒸镀舟皿分别供给蒸镀材料时，要求从各卷芯同时送出的蒸镀材料不相干涉。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、【专利文献1】日本专利第7404582号公报

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、鉴于上述情况，本发明的技术问题在于提供一种真空蒸镀装置，其能够在各卷芯上预先卷绕大量的线状蒸镀材料，在向各蒸镀舟皿供给蒸镀材料时，从各卷芯同时送出的蒸镀材料不相干涉，能够顺畅地向以小间隙并列设置的各蒸镀舟皿的空腔分别供给蒸镀材料。

3、解决问题的手段

4、用于使蒸镀材料在真空室内蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的本发明的真空蒸镀装置，具备：将水平正交的两个方向作为x轴方向及y轴方向，在真空室内沿y轴方向隔开间隔设置的多个蒸镀舟皿；以及分别配置在各蒸镀舟皿的x轴方向一侧，对各蒸镀舟皿的空腔从其上方分别供给线状蒸镀材料的材料供给单元；各材料供给单元具有预先卷绕有蒸镀材料的卷芯；以及分别送出卷绕在该卷芯上的蒸镀材料的送出机构；其特征在于，将在y轴方向上隔开间隔排列的各卷芯的列作为卷芯列，具有第1卷芯列和距蒸镀舟皿的x轴方向一端的距离比第1卷芯列长的第2卷芯列，第1卷芯列的各卷芯和第2卷芯列的各卷芯在y轴方向上交替设置，并且使第2卷芯列的各卷芯位于比第1卷芯列更靠上方。

5、根据本发明，通过采用在y轴方向上交替设置第1卷芯列的各卷芯和第2卷芯列的各卷芯的所谓交错排列，与以一列并列设置多个各卷芯的情况相比，可使第1卷芯列和第2卷芯列的各卷芯上能够预先卷绕蒸镀材料的部分变长，进而可增加能够预先卷绕的蒸镀材料的量。而且，由于使距蒸镀舟皿的距离较长的第2卷芯列的各卷芯位于比较靠上方，因此也不会产生从第2卷芯列的各卷芯抽出的蒸镀材料与位于其前方的第1卷芯列的卷芯（卷绕有线状蒸镀材料的卷芯）相干涉的不良情况。另外，优选预先使第2卷芯列的各卷芯从第1卷芯列的卷芯向x轴方向后方远离，但在卷绕在卷芯上的蒸镀材料的重量少的情况下，并不限定于此。由此，能够顺畅地供给到以小间隙并列设置的各蒸镀舟皿的空腔。

6、但是，由于线状蒸镀材料是所谓的消耗品，所以需要定期补充蒸镀材料。此时，将预先卷绕在各卷芯上的蒸镀材料用完后，取下已用完的空卷芯，再次安装预先卷绕有蒸镀材料的卷芯（以下，将其称为“多重卷绕体”），生产率良好。另一方面，由于多重卷绕体有时为10kg左右的重物，因此要求更换作业性良好。在本发明中，可以采用如下结构：在真空室内沿y轴方向竖立设置多个支撑体，在各支撑体上形成从其上端面向下方凹陷并接收卷芯的一部分的接收凹部，从其上方将所述卷芯的一部分嵌插入接收凹部内，从而旋转自如地悬臂支撑该卷芯。由此，仅通过从上下方向向支撑体上插拔，就能够容易地进行多重卷绕体的安装、空卷芯从支撑体的拆卸，特别是在由于排列的蒸镀舟皿较多而需要同时更换多个卷芯的情况下，是有利的。而且，在通过送出机构将卷绕在卷芯上的蒸镀材料送出时，也不会产生阻碍其动作的不良情况。

7、在本发明中，如果将分别形成在接收凹部的x轴方向两侧的支柱臂部中的任意一个比另一个更靠上方延伸，则在取下空卷芯的情况下，将卷芯沿一个支柱臂部抬起，超过另一个支柱臂部的上端时，仅使卷芯向前方移动，卷芯就能够从支撑体上脱离。另一方面，在将多重卷绕体安装在支撑体上时，在比另一个支柱臂部的上端高的位置使卷芯与一个支柱臂部抵接，在该状态下向下方滑动落下时，卷芯从其上方嵌插入接收凹部中，在正规位置被旋转自如地悬臂支撑。由此，特别是作为重物的多重卷绕体的安装变得容易，从而能够提高其更换作业性。为了进一步提高更换作业性，也可以相对于真空室进退自如地构成设置有各支撑体的支撑台。

8、再有，在本发明中，也可以采用如下结构：将供给蒸镀材料时其前端部抵接的空腔内的位置作为着落位置，内部由线状蒸镀材料的一部分穿通的导向管位于蒸镀舟皿上方且位于着落位置与所述卷芯之间，以弯曲成向上方凸起的圆弧状的状态设置。根据本发明，如果在卷芯上预先卷绕蒸镀材料，则根据蒸镀材料种类，会产生所谓的卷绕折痕（弯曲折痕），但在不矫正残留在蒸镀材料中的卷绕折痕的情况下，使其穿通弯曲成圆弧状的导向管，将该插通的蒸镀材料的前端部供给到空腔。由此，在将预先卷绕在卷芯上的蒸镀材料用完之前，向着落位置稳定地供给蒸镀材料，进而，能够以稳定的蒸镀速率对被蒸镀物成膜。

1.一种用于使蒸镀材料在真空室内蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的真空蒸镀装置，

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其特征在于：

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于：