异质结PVD旋转靶材装置的制作方法

本申请涉及异质结电池，尤其涉及一种异质结pvd旋转靶材装置。

背景技术：

1、异质结电池是一种高效的光伏电池，其制备过程主要包括制绒清洗、等离子体增强化学气相沉积、物理气相沉积（physical vapor deposition，pvd）和丝网印刷四个工序。物理气相沉积工艺通常在高真空环境下进行，通过外加电场并通入高纯度的工艺气体，气体分子在电场作用下形成等离子体，等离子体轰击靶材表面，将靶材原子撞出并沉积到硅片表面形成薄膜。

2、在现有的异质结pvd工艺中，靶材通常采用圆柱型设计，磁棒安装在圆柱靶材的内部。磁棒表面设置有顶升机构，顶升机构的圆柱滚轮通过连接轴固定在磁棒上。靶材在溅射过程中持续旋转，顶升机构上的圆柱滚轮可以随着靶材旋转而转动，而磁棒不旋转，以确保等离子体可以均匀地作用于靶材表面，从而实现均匀的溅射镀膜。

3、但是，由于靶材持续旋转，连接轴与圆柱滚轮之间存在磨损，导致圆柱滚轮的位置发生变化，圆柱滚轮会在重力作用下与靶材的靶管内壁发生磨损，进而影响靶材的重复使用。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本申请提供一种异质结pvd旋转靶材装置，可以避免圆柱滚轮发生位置变化而导致靶管内壁发生磨损，提高靶材的使用寿命。

2、本申请提供一种异质结pvd旋转靶材装置，包括：磁棒组件，包括磁棒杆；

3、防磨损机构，包括：安装座，为沿所述磁棒杆的轴向相对且间隔布置的两个，所述安装座套设于所述磁棒杆，所述安装座还开设有沿所述磁棒杆的径向延伸的安装空间，所述安装空间为沿所述磁棒杆的周向分布的多个；

4、弹性支撑组件，与所述安装空间相对应，所述弹性支撑组件沿所述磁棒杆的径向可伸缩地设于安装空间；

5、滚柱组件，与所述弹性支撑组件相对应，所述滚柱组件包括连接轴和耐磨柱，所述耐磨柱套设于所述连接轴，所述耐磨柱相对所述连接轴可转动，所述连接轴的两端分别插设于对应的所述安装座的安装空间，并与所述弹性支撑组件支撑配合。

6、在一种可能的实现方式中，所述安装空间沿所述磁棒杆的周向的相对两侧侧壁均设有安装槽；

7、所述连接轴包括：轴本体，所述耐磨柱可转动地套设于所述轴本体；

8、滑动连接部，所述滑动连接部至少位于所述轴本体的轴向一端，所述滑动连接部与所述轴本体垂直，所述滑动连接部的两端分别伸入对应的所述安装槽，所述滑动连接部与所述弹性支撑组件的自由端连接。

9、在一种可能的实现方式中，所述安装槽的槽壁和滑动连接部中的一者设有滑动导向结构，另一者设有滑动配合结构，所述滑动导向结构和所述滑动配合结构导向配合。

10、在一种可能的实现方式中，所述安装槽包括第一槽壁和第二槽壁，所述第一槽壁和所述第二槽壁均开设有沿所述磁棒杆的径向延伸的导向槽，所述导向槽构成所述滑动导向结构，

11、所述滑动连接部沿所述磁棒杆的轴向的两侧分别形成有导向凸起，所述导向凸起与所述导向槽适配，所述导向凸起构成所述滑动配合结构。

12、在一种可能的实现方式中，所述安装座包括固定圈，所述固定圈限定出用于穿过所述磁棒杆的穿孔，所述安装空间位于所述固定圈沿径向的背向所述穿孔的一侧，所述固定圈构成所述安装空间的部分内壁。

13、在一种可能的实现方式中，所述弹性支撑组件包括：

14、伸缩杆，所述伸缩杆的一端与所述固定圈抵接，另一端与所述连接轴连接，所述伸缩杆在伸缩时带动所述滚柱组件沿所述磁棒杆的径向运动。

15、在一种可能的实现方式中，所述弹性支撑组件还包括：

16、弹性复位件，套设于所述伸缩杆的外侧，所述弹性复位件被配置为对所述连接轴具有沿所述磁棒杆的径向向外的预支撑力。

17、在一种可能的实现方式中，所述安装座的外周壁设有垫圈。

18、在一种可能的实现方式中，所述垫圈包括：沿所述磁棒杆的径向从内向外依次布置的基底层和防腐层，所述防腐层由有机互穿网络聚合物涂料构成。

19、在一种可能的实现方式中，所述耐磨柱包括沿自身的径向从内向往依次分布的基层和耐磨层；和/或，所述磁棒组件还包括分别位于所述磁棒杆两端的支撑垫。

20、本申请实施例提供的异质结pvd旋转靶材装置，通过设置多个包括连接轴和耐磨柱的滚柱组件，并使耐磨柱套设于连接轴，且可相对转动，可以减少连接轴与耐磨柱之间的磨损。通过设置可沿磁棒杆径向伸缩的弹性支撑组件，并且使弹性支撑组件与滚柱组件支撑配合，可以在滚柱组件随靶材旋转的过程中，对滚柱组件产生的振动进行缓冲，确保耐磨柱与靶材的接触更加稳定，避免因磨损导致耐磨柱下沉与靶管内发生摩擦，从而提高靶材的使用寿命。

1.一种异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述安装空间沿所述磁棒杆（101）的周向的相对两侧侧壁均设有安装槽（211）；

3.根据权利要求2所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述安装槽（211）的槽壁和滑动连接部（2312）中的一者设有滑动导向结构，另一者设有滑动配合结构，所述滑动导向结构和所述滑动配合结构导向配合。

4.根据权利要求3所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述安装槽（211）包括第一槽壁（2111）和第二槽壁（2112），所述第一槽壁（2111）和所述第二槽壁（2112）均开设有沿所述磁棒杆（101）的径向延伸的导向槽（2113），所述导向槽（2113）构成所述滑动导向结构，

5.根据权利要求1-4中任一项所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述安装座（210）包括固定圈（212），所述固定圈（212）限定出用于穿过所述磁棒杆（101）的穿孔，所述安装空间位于所述固定圈（212）沿径向的背向所述穿孔的一侧，所述固定圈（212）构成所述安装空间的部分内壁。

6.根据权利要求5所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述弹性支撑组件（220）包括：

7.根据权利要求6所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述弹性支撑组件（220）还包括：

8.根据权利要求5所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述安装座（210）的外周壁设有垫圈（213）。

9.根据权利要求8所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述垫圈（213）包括：沿所述磁棒杆（101）的径向从内向外依次布置的基底层（2131）和防腐层（2132），所述防腐层由有机互穿网络聚合物涂料构成。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的异质结pvd旋转靶材装置，其特征在于，所述耐磨柱（232）包括沿自身的径向从内向往依次分布的基层（2321）和耐磨层（2322）；和/或，所述磁棒组件（100）还包括分别位于所述磁棒杆两端的支撑垫（102）。