一种真空多弧离子镀膜控制系统的制作方法

本技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空多弧离子镀膜控制系统。

背景技术：

1、真空离子镀膜，即指在真空气氛中，利用电弧放电使靶材（如钛、铬、锆等）蒸发或溅射，蒸发或溅射出来的部分粒子在气体放电空间中电离、激发以及反应，最终沉积到基体上生成薄膜的一种过程。

2、现有的真空多弧离子镀膜系统在实际应用中仍存在一些不足例如，开关与传感器通常采用独立布线方式，即每个开关或传感器对应至少一根信号线（部分含电源线），以实现与控制系统的一对一连接。随着真空镀膜系统功能的集成化和智能化发展，为满足多工艺参数监测与多执行部件协同控制需求，开关与传感器的数量持续增加，导致系统内线束数量急剧增多。具体表现为：每个开关需单独引出控制信号线，每个传感器需单独引出数据信号线及供电线，大量线束在设备内部密集排布。

3、线束数量过多带来以下问题：一是布线复杂，不利于设备结构的紧凑化设计；二是维护难度大，当开关或传感器出现故障时，需在众多线束中逐一排查对应线路，辨识和定位故障点耗时较长，增加维护人员的操作难度和工作量；四是可靠性降低，长期使用后，线束接头易因振动、老化等因素松动或接触不良，且线束间的摩擦、缠绕可能加速绝缘层磨损，进一步引发系统故障，增加设备停机时间和维护成本。因此，本申请提出了一种真空多弧离子镀膜控制系统。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空多弧离子镀膜控制系统，以解决目前的真空镀膜设备布线复杂的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种真空多弧离子镀膜控制系统，所述控制系统包括：

4、实现总控工作的主控模块；

5、用于阀门开启/关闭的阀控制器，所述阀控制器与所述主控模块之间通过无线连接建立通信链路；

6、传感器，用于获取镀膜设备的工作状态，所述传感器与所述主控模块通过无线连接建立通信链路；

7、自供电模块，设于所述阀控制器一侧并与所述阀控制器电连接以对其供电；

8、与市电相连接的电源模块，用于对所述传感器、主控模块供电。

9、进一步的，所述自供电模块包括：

10、与所述阀控制器电性连接的供电电路；

11、蓄电池，所述供电电路与所述蓄电池电性连接。

12、进一步的，所述自供电模块还包括：

13、电量检测电路，用于实时监测所述蓄电池的电量状态，并将检测数据通过无线通信反馈至主控模块。

14、进一步的，所述自供电模块还包括：

15、自发电组件，用于产生电能；

16、与所述自发电组件和蓄电池电连接的充电电路。

17、进一步的，所述自发电组件包括：

18、叶轮壳，所述叶轮壳上设有与之相切的过渡气管，其内侧设置有与之配合的叶轮，所述过渡气管连接到镀膜设备的气路上；

19、发电机，所述发电机的输入端与所述叶轮转轴固定连接；

20、后处理电路，用于处理所述发电机产生的电能并输出稳定电压的电能，所述后处理电路与所述蓄电池电性连接。

21、进一步的，所述自发电组件还包括：

22、增速机构，所述增速机构与所述叶轮和发电机的输入轴固定连接以传输动力。

23、进一步的，所述增速机构包括互相啮合输入齿轮和输出齿轮，所述输入齿轮和输出齿轮，所述输入齿轮的齿数大于所述输出齿轮的齿数，所述输入齿轮与叶轮转轴连接，输出齿轮与发电机输入轴连接。

24、进一步的，所述发电机可拆卸的连接于所述叶轮壳上，所述输出齿轮上设置有六角孔，所述发电机的输出轴上设置有六角头，所述六角孔与六角头插接配合以实现扭矩传递

25、综上所述，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

26、本实用新型实施例公开的真空多弧离子镀膜控制系统通过设置自供电模块以及无线通信结构减少线材的布置，降低系统布线复杂度，提升设备维护便利性。

1.一种真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述控制系统包括：

2.根据权利要求1所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述自供电模块包括：

3.根据权利要求2所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述自供电模块还包括：

4.根据权利要求3所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述自供电模块还包括：

5.根据权利要求4所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述自发电组件包括：

6.根据权利要求5所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述自发电组件还包括：

7.根据权利要求6所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述增速机构包括互相啮合输入齿轮和输出齿轮，所述输入齿轮和输出齿轮，所述输入齿轮的齿数大于所述输出齿轮的齿数，所述输入齿轮与叶轮转轴连接，输出齿轮与发电机输入轴连接。

8.根据权利要求7所述的真空多弧离子镀膜控制系统，其特征在于，所述发电机可拆卸的连接于所述叶轮壳上，所述输出齿轮上设置有六角孔，所述发电机的输出轴上设置有六角头，所述六角孔与六角头插接配合以实现扭矩传递。