一种抛光液双桶供回液系统的制作方法

本发明涉及一种抛光液双桶供回液系统，属于硅片生产加工。

背景技术：

1、化学机械抛光（cmp）是一种对半导体材料或是其它类型材料的衬底进行平坦化或是抛光的方法。广泛应用于集成电路（ic）制造业中。化学机械抛光是结合抛光液中化学溶液的腐蚀和磨粒的机械磨削双重作用，使硅片获得极高的平面度和平整度的一项工艺。

2、在硅片等半导体材料的抛光工序中，需要源源不断地向抛光加工机台供给抛光液，而目前对回收利用的抛光液进行换液时，通过人工的方式进行抛光液的排液与配液，费时费力，且排液与配液时需要将机台停止运行且配液稳定性差，会影响抛光工艺的稳定性和产量。因此亟待提出一种自动化程度较高的抛光液供回系统。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种抛光液双桶供回液系统，有效解决人工混液费时费力的问题，实现不停机切换供液桶，提高工作效率，同时提高抛光液配比的稳定性，有助于工艺稳定与产量的提升。

2、为实现上述目的，本使用新型采用以下技术方案：

3、一种抛光液双桶供回液系统，该系统包括：计量桶、第一供液桶、第二供液桶、回收箱，其中，

4、所述计量桶的进口设有原液供液管路，该原液供液管路上设有原液供液阀；所述计量桶的出口设有计量桶供液管路；

5、所述第一供液桶经由第一阀门连接供水管路、经由第一原液阀门连接计量桶供液管路，并通过第一供液管路与机台连接，该第一供液管路上设有第一供液泵、第一过滤器和第一供液阀门；

6、所述第二供液桶经由第二阀门连接供水管路、经由第二原液阀门连接计量桶供液管路，并通过第二供液管路与机台连接，该第二供液管路上设有第二供液泵、第二过滤器和第二供液阀门；

7、所述回收箱的进口连接机台，所述回收箱的出口通过回收管路连接至第一供液桶和第二供液桶，该回收管路上设有回收泵，并经由第三阀门连接第一供液桶、经由第四阀门连接第二供液桶；

8、所述计量桶、第一供液桶、第二供液桶均设有液位传感器。

9、进一步地，所述第一供液桶和所述第二供液桶内分别设有搅拌装置。

10、进一步地，所述第一供液泵的进口连接第一供液桶底部，第一供液泵的出口连接第一过滤器，第一过滤器经第一供液阀门连接至机台；所述第二供液泵的进口连接第二供液桶底部，第二供液泵的出口连接第二过滤器，第二过滤器经第二供液阀门连接至机台；所述回收泵的进口连接至回收箱底部，回收泵的出口通过回收管路连接至第一供液桶和第二供液桶。

11、进一步地，当第一供液桶排空时，通过供水管路向第一供液桶加水，自计量桶向第一供液桶补给原液；计量桶中的原液排入第一供液桶后，第一原液阀门关闭，第一供液桶搅拌装置启动而进行抛光液的混合循环；

12、当第二供液桶排空时，通过供水管路向第二供液桶加水，自计量桶向第二供液桶补给原液；计量桶中的原液排入第二供液桶后，第二原液阀门关闭，第二供液桶搅拌装置启动而进行抛光液的混合循环；

13、当第一供液桶向机台供液时，第一供液泵和第一供液阀门打开进行供液，同时回收泵和第三阀门打开将抛光液回收至第一供液桶；当第二供液桶向机台供液时，第二供液泵和第二供液阀门打开进行供液，同时回收泵和第四阀门打开将抛光液回收至第二供液桶。

14、进一步地，所述计量桶设有计量桶低液位传感器、计量桶中液位传感器和计量桶高液位传感器；所述第一供液桶设有第一供液桶低液位传感器、第一供液桶中液位传感器和第一供液桶高液位传感器；所述第二供液桶设有第二供液桶低液位传感器、第二供液桶中液位传感器和第二供液桶高液位传感器。

15、进一步地，当计量桶中有液时，计量桶低液位传感器和计量桶中液位传感器触发，计量桶高液位传感器未触发；当计量桶中为空时，计量桶低液位传感器、计量桶中液位传感器和计量桶高液位传感器均未触发，原液供液管路阀门打开进行补液，直至计量桶低液位传感器和计量桶中液位传感器触发，计量桶高液位传感器未触发；

16、当第一供液桶有液，第一供液桶低液位传感器、第一供液桶中液位传感器触发，第一供液桶高液位传感器未触发；或者第一供液桶低液位传感器触发，第一供液桶中液位传感器和第一供液桶高液位传感器未触发；

17、当第二供液桶有液，第二供液桶低液位传感器、第二供液桶中液位传感器触发，第二供液桶高液位传感器未触发；或者第二供液桶低液位传感器触发，第二供液桶中液位传感器和第二供液桶高液位传感器未触发。

18、进一步地，所述各个管路阀门均为气控阀门，所述第一供液泵、第二供液泵、回收泵均为气动隔膜泵。

19、进一步地，所述系统设有自动切换使用第一供液桶或第二供液桶为机台供液和回收液的功能，且第一供液桶和第二供液桶可进行自动混液。

20、本实用新型的优点在于：

21、本实用新型所提出的一种抛光液双桶供回液系统，有效解决了人工混液费时费力的问题，实现不停机切换供液桶，提高工作效率，同时提高了抛光液配比的稳定性，有助于工艺稳定与产量的提升。

1.一种抛光液双桶供回液系统，其特征在于，该系统包括计量桶、第一供液桶、第二供液桶、回收箱，其中，

2.根据权利要求1所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于：所述第一供液桶和所述第二供液桶内分别设有搅拌装置。

3.根据权利要求1或2所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于：所述第一供液泵的进口连接第一供液桶底部，第一供液泵的出口连接第一过滤器，第一过滤器经第一供液阀门连接至机台；所述第二供液泵的进口连接第二供液桶底部，第二供液泵的出口连接第二过滤器，第二过滤器经第二供液阀门连接至机台；所述回收泵的进口连接至回收箱底部，回收泵的出口通过回收管路连接至第一供液桶和第二供液桶。

4.根据权利要求1或2所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于：

5.根据权利要求1或2所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于：所述计量桶设有计量桶低液位传感器、计量桶中液位传感器和计量桶高液位传感器；所述第一供液桶设有第一供液桶低液位传感器、第一供液桶中液位传感器和第一供液桶高液位传感器；所述第二供液桶设有第二供液桶低液位传感器、第二供液桶中液位传感器和第二供液桶高液位传感器。

6.根据权利要求5所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于：当计量桶中有液时，计量桶低液位传感器和计量桶中液位传感器触发，计量桶高液位传感器未触发；当计量桶中为空时，计量桶低液位传感器、计量桶中液位传感器和计量桶高液位传感器均未触发，原液供液管路阀门打开进行补液，直至计量桶低液位传感器和计量桶中液位传感器触发，计量桶高液位传感器未触发；

7.根据权利要求1或2所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于：所述各个管路阀门均为气控阀门，所述第一供液泵、第二供液泵、回收泵均为气动隔膜泵。

8.根据权利要求1或2所述的抛光液双桶供回液系统，其特征在于，所述系统设有自动切换使用第一供液桶或第二供液桶为机台供液和回收液的功能，且第一供液桶和第二供液桶可进行自动混液。